用于蒸发器源的承载器装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。此外，本发明专利技术涉及一种蒸发器装置，其具有所述类型的承载器装置和布置在其中的蒸发器源(10)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于蒸发器源的承载器装置，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理。蒸发器源尤其被构造用于蒸发金属、例如铜并被设计用于一个或多个基底的表面覆层过程。此外，本专利技术涉及一种蒸发器装置，该蒸发器装置具有承载器装置和布置在该承载器装置中的蒸发器源。
技术介绍
由现有技术以多种多样的设计方案已知了用于例如在表面覆层或表面处理过程中提供蒸气态材料的热蒸发源。因此，US2010/0285218A1例如示出了具有接收多个坩埚的壳体的蒸发器，该壳体与具有多个出流喷嘴的蒸气分配器处于流体连通。在此情况下，在结构方面，接收坩埚的壳体单元需要例如与沿纵向延伸的蒸气分配器连接。在此情况下必须确保：足够地加热从坩埚延伸直至各个出流喷嘴的出流路径，以便从坩埚出来的蒸气没有在坩埚壳体内壁或蒸气分配器壳体内壁上冷凝，这可能损害出流行为。对于蒸发在正常条件下具有2000℃以上的比较高的沸点的特定金属、例如铜而言，被证实难以设计这样一种蒸发器源，该蒸发器源在尽可能大的整个表面提供均匀的空间蒸发分配。用于蒸发器源的材料必须是耐高温的并具有适当的导热能力。此外必须尽可能避免蒸发器源结构内部的可能的热桥，并就此而言使蒸发器源的各个区段或区域之间的连接部位或接口最小化。因此，本专利技术的一个目的是提供一种热脱耦装置，其尽可能有效地且尽可能简单地在用于表面处理过程的过程室中具有蒸发器源。此外应当使蒸发器源、必要时还有与该蒸发器源在流体技术上连接的蒸气分配器能够以尽可能小的设备耗费布置在过程室中以及相对于机械应力、尤其是冲击、震动或振荡受保护。
技术实现思路
该目的利用根据权利要求1的用于蒸发器源的自承式承载器装置以及利用根据权利要求9的蒸发器装置来解决。在此情况下，有利的设计方案分别是从属权利要求的主题。在第一方面就此而言设置了用于蒸发器源的自承式承载器装置或承载结构，所述蒸发器源尤其被构造用于至少一个基底的表面处理。承载器装置具有底部和与该底部连接的侧壁结构。在此，底部和侧壁结构构成一个接收部，蒸发器源可以插入到该接收部中或在该接收部中可接收所述蒸发器源。此外，底部和侧壁结构由石墨纤维材料构成。用于蒸发器源的承载器装置或承载结构能够实现蒸发器源在承载器装置的底部上的安装。就此而言，底部提供了用于蒸发器源的支撑面。由此，蒸发器源的重力可以完全被底部接收并被传递到与该底部连接的侧壁结构中。这点能够实现：提供用于蒸发器源的悬挂式布置，而不必在蒸发器源上安置用于悬挂式布置的可能的紧固器具。替代于此地，可以通过将蒸发器源定位在承载器装置的接收部中而实现用于蒸发器源的悬挂式接收部，在该悬挂式接收部的情况下，可能的紧固器具没有被布置或安置在蒸发器源本身上，而是被布置或安置在承载器装置上、尤其是侧壁结构的上部的、背离底部的区段上。此外，承载器装置可以提供用于蒸发器源的机械保护功能。尤其当蒸发器源例如具有单体的石墨壳体时，蒸发器源可以对冲击比较敏感。通过在由底部和侧壁结构构成的接收部中使用整个蒸发器源可以广泛地保护蒸发器源不受外部影响、尤其是机械应力、例如冲击和震动的影响。由石墨纤维材料制成底部和侧壁结构的设计方案不仅在承载器装置的热负载能力方面，而且出于重量和稳定性原因也是有利的。按照一改进方案，承载器装置的底部具有通孔，布置在承载器装置接收部中的蒸发器源与待设置在承载器装置之外的蒸气分配器之间的流体技术上的连接部可被贯穿引导穿过该通孔。该通孔尤其中心地布置或布置在底部的中央或居中的区域中。通过蒸发器源与蒸气分配器之间的穿过通孔贯穿伸出的流体技术上的连接部，也可以实现蒸发器源和蒸气分配器的一个、必要时甚至是唯一的一个，机械连接部。设置在承载器装置的底部中的通孔能够实现蒸发器源与蒸气分配器之间的不仅流体技术上的耦接部，而且机械的、传递负载的耦接部。在此情况下，通孔没有邻接到侧壁结构上，而是完全处于承载器装置的底部中。因为不仅蒸发器源，而且蒸气分配器具有比底部的通孔更大的几何伸展部，所以在装配技术上有利的是，当至少一个蒸发器源已经处于承载器装置接收部中时，才构成蒸发器源与蒸气分配器的机械的和流体技术上的连接部。按照另一设计方案，由经碳纤维加强的复合材料来制作自承式承载器装置的底部和侧壁结构中的至少一个。这类复合材料具有单个的碳纤维或石墨纤维，单个的碳纤维或石墨纤维通常被埋入到由另外的材料、例如耐温材料或材料混合物构成的基质中。按照另一设计方案，有利地设置由CFC复合材料、即经碳材料加强的碳材料制成底部和侧壁结构中的至少一个。就此而言，底部和/或侧壁结构的至少一个区域可以由CFC复合材料制成。CFC复合材料或CFC原料由碳材料纤维或石墨纤维制成，碳材料纤维或石墨纤维被埋入到由纯碳材料制成基质中。纤维赋予复合材料高的机械稳定性，而由碳材料制成的基质可以接收从外部起作用的力并将它们在微观结构中进行分配。CFC复合材料是极度耐温和耐热冲击的。此外，这种复合材料可以接收机械负载，从而使得布置在承载器装置中的蒸发器源可以被有效地广泛保护而不受外部作用的机械影响，例如冲击和震动的影响。待设置用于自承式承载器装置的CFC复合材料和通常由石墨制作的或制成的蒸发器源是耐高温的，从而使得利用这类蒸发器源或相应的蒸发器装置可以为基底的表面处理产生金属蒸气、例如还有铜蒸气。此外，金属应当具有适合用于对应的使用和应用目的的导热能力。按照另一设计方案，底部具有平面矩形底部板的形状。在此，侧壁结构与底部的侧边缘连接。通常，侧壁结构具有与底部板的几何结构相应的侧壁板。在底部板为矩形设计的情况下，尤其设置有四个侧壁板，这些侧壁板可以成对地、尤其是在装配位置上相对置地具有大致类似的或甚至一致的几何结构。侧壁板也可以具有基本上矩形的几何形状。通过侧壁板与底部板的侧边缘的连接可以构成底部板与侧壁结构之间的传递负载的连接，从而使得由布置在接收部中的源传递到底部板上的重力可以被导出到侧壁板并由此到侧壁结构上。此外可以考虑，侧壁板也不仅分别与底部板连接，而且上下叠置地彼此连接。这尤其涉及沿侧壁结构的周向方向彼此贴靠邻接的侧壁板。通常，底部板和全部的侧壁板由一种并相同的材料、尤其是CFC复合材料来制作。按照另一设计方案，在所述底部和在所述侧壁结构上构造有彼此对应的并能彼此嵌接的以及彼此间隔开的突起部和贯通部。借助于突起部和贯通部可将底部通过插接连接与侧壁结构连接。此外也可以通过彼此的相应插接连接来连接侧壁结构的各个并彼此贴靠邻接的侧壁板。因此，例如底部板具有沿着至少一个侧边缘向外、例如垂直于边缘延伸部伸出的、但处在底部平面延续部中的突起部。侧壁结构的能与所述侧边缘连接的侧壁板与突起部的位置和几何结构相应地分别具有单个的贯通部，突起部可插入到这些贯通部中。这些突起部也可以完全贯穿侧壁结构的贯通部，从而使得它们在侧壁结构的或对应的侧壁板的外侧面上前伸。贯通部以突起部的完全贯穿还能够实现设置一个或多个保险器具。例如，如果突起部具有扣眼或通孔，其在最终装配位置中与侧壁结构的外侧面抵对而处，那么例如通常由耐高温材料、例如石墨或CFC复合材料制成的各个紧固销可以被插入到那些通孔或扣眼中。由此可以阻止突起部穿过贯通部被拉回并可以以这种方式有效地阻止底部从侧壁结构的自动脱开。彼此对应的突起部和贯通部可以任意本文档来自技高网...

【技术保护点】
自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.23 DE 102014007522.21.自承式承载器装置，其用于蒸发器源(10)，所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理，其中，所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84)，其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85)，所述蒸发器源(10)可插入到所述接收部中，并且其中，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)由石墨纤维材料构成。2.按照权利要求1所述的承载器装置，其中，所述底部(82)具有一个通孔(86)，所述蒸发器源(10)与所述蒸气分配器(50)之间的流体技术上的连接部(68)可被贯穿引导穿过所述通孔。3.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其中，底部(82)和侧壁结构(84)中的至少一个由经碳纤维加强的复合材料来制作。4.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其中，底部(82)和侧壁结构(84)中的至少一个由CFC复合材料来制作。5.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其中，所述底部(82)被构造为平面矩形底部板的形式，并且所述侧壁结构具有邻接到所述底部板的侧边缘(82a、82b、82c、82d)上的并能与其连接的侧壁板(84a、84b、84c、84d)。6.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其中，在所述底部(82)和在所述侧壁结构(84)上构造有彼此对应的并能彼此嵌接的以及彼此间隔开的突起部(83)和贯通部(87)，借助于它们，所述底部(82)和所述侧壁结构(84)可通过彼此的插接连接来连接。7.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其中，所述侧壁结构(84)具有向外和/或向上从所述侧壁结构(84)伸出的至少两个保持区段(88)，所述至少两个保持区段用于所述承载器装置的悬挂式布置。8.按照前述权利要求中任一项所述的承载器装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·乌尔温登，E·格罗斯，U·恩勒特，A·索格，A·斯特劳布，P·冯比斯马克，M·皮施，L·科诺斯，A·马里恩菲尔德，
申请(专利权)人：曼兹铜铟镓硒技术公司，巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心ZSW，
类型：发明
国别省市：德国;DE