【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及根据权利要求1的通用部分的一种用于确定衬底上的涂层的屏障效应的方法,以及根据权利要求14的通用部分的一种用于确定衬底上的涂层的屏障效应的装置。在材料科学中,衬底被理解为指有待处理的材料。衬底的表面经常被处理或被涂覆。在本专利申请中,衬底包括具有其屏障效应有待确定的涂层的本体。衬底因此可以具体地包括由均质材料构成的基座本体,在该衬底上已经涂敷有涂层但是其自身并不旨在作为其屏障效应的测试对象。术语涂层在生产技术中被理解为指根据DIN8580的用于将牢固粘附的无定形材料层涂敷于工件的表面上的生产工艺的主群组。术语涂层既指相应的工艺又指涂敷层自身。涂层可以由薄层或厚层或者多个互连层构成。涂层法根据层应用的类型而被分类为化学、机械、热学和热机械方法。在本专利申请中,屏障被理解为指障碍物。因此,涂层的屏障效应是涂层作为对介质的障碍物的效应的量度。这种介质可以是流体,即,气体或液体。本专利技术涉及一种方法,借助于该方法,可以在合适的衬底上对以下各层的屏障品质进行测量以及定量评估:具体为汽相沉积层(例如,借助于物理气相沉积(physicalgas-phasedeposition)或物理气相沉积(physicalvapordeposition,PVD)涂敷的层)、借助于化学反应沉积的层(例如,通过等离子体增强式化学汽相沉积PECVD或等离子体诱发型化学汽相沉积PICVD)、通过阴极沉淀或溅射涂敷的层、或者电化沉积层或漆层。从DE10012446A1中已知一种用于测量塑料壁上的涂层的透气性的方法。US8,266,944B2描述了一种用于评估塑料树脂的耐刮擦性的方法 ...
【技术保护点】
一种用于针对介质(16,17)确定涂层(4)的屏障效应的方法,该方法包括以下步骤:a)提供衬底(1),该衬底在其表面上具有该涂层(4),该衬底在与该介质(16,17)相接触时经历体积变化,或者在衬底(1)的表面上提供该涂层,该衬底在与该介质(16,17)相接触时经历体积变化,b)对具有该涂层(4)的该衬底(1)进行调节处理,c)从该衬底(1)的该表面(6)的第一部分中去除该涂层(4),其中,该涂层(4)保留在该衬底(1)的该表面的第二部分上,并且其中,该表面(6)的该第一部分在由保留在该表面的该第二部分上的该涂层(4)界定的第一方向上具有延伸物(L),d)在该第一方向上的路径上确定该涂层(4)的表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第一高度轮廓,e)将该保留的涂层(4)的该表面和该衬底(1)的该表面(6)的该第一部分暴露至该介质(16,17),f)在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第二高度轮廓和/或在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.26 DE 102014219496.21.一种用于针对介质(16,17)确定涂层(4)的屏障效应的方法,该方法包括以下步骤:a)提供衬底(1),该衬底在其表面上具有该涂层(4),该衬底在与该介质(16,17)相接触时经历体积变化,或者在衬底(1)的表面上提供该涂层,该衬底在与该介质(16,17)相接触时经历体积变化,b)对具有该涂层(4)的该衬底(1)进行调节处理,c)从该衬底(1)的该表面(6)的第一部分中去除该涂层(4),其中,该涂层(4)保留在该衬底(1)的该表面的第二部分上,并且其中,该表面(6)的该第一部分在由保留在该表面的该第二部分上的该涂层(4)界定的第一方向上具有延伸物(L),d)在该第一方向上的路径上确定该涂层(4)的表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第一高度轮廓,e)将该保留的涂层(4)的该表面和该衬底(1)的该表面(6)的该第一部分暴露至该介质(16,17),f)在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上的第二高度轮廓和/或在该第一方向上的该路径上确定该涂层(4)的该表面在该衬底(1)的该表面的该第二部分和该表面(6)的该第一部分上关于该之前确定的高度轮廓的第一高度轮廓差(H)。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据步骤c)对该涂层(4)的去除是使用刮擦工具、具体为金刚石刮擦工具(7,29)执行的,该金刚石刮擦工具被引导在该第一方向上去除材料。3.如以上权利要求之一所述的方法,其特征在于,该表面(6)的该第一部分在第二方向上具有延伸物(B),并且其特征在于,该表面(6)的该第一部分在该第一方向上的该延伸物(L)至少比该表面(6)的该第一部分在该第二方向上的该延伸物(B)大十倍。4.如以上权利要求之一所述的方法,其特征在于,在根据步骤d)确定该第一高度轮廓之前,该表面的不完全与该衬底(1)的该表面(6)的该第一部分相同但是不具有该涂层的第三部分配备有对于该介质(16,17)而言不可渗透的屏障。5.如以上权利要求之一所述的方法,其特征在于,根据步骤d)确定该第一高度轮廓和/或根据步骤f)确定该第二高度轮廓和/或该第一高度轮廓差是使用干涉仪(30)执行的。6.如以上权利要求之一所述的方法,其特征在于,系列步骤e)和f)被重复执行。7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,系列步骤e)和f)被重复执行直到终止准则被满足。8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,针对第一高度轮廓差(H)是在步骤f)中确定的情况,该终止准则为该第一高度轮廓差(H...
【专利技术属性】
技术研发人员:A诺伊费尔,
申请(专利权)人:卡尔蔡司光学国际有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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