【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,属于机械设备
技术介绍
涂布机使用的光刻胶(光阻)经过VCD(真空干燥机台)动作变为气态药剂,由高压泵处理后,由气态形式转变为液态形式,重新供给到药液供给端,起到循环使用功能;目前使用的涂布药剂无回收系统,只有循环系统,如果药剂供给端处于满状态或者不供给状态,则会将循环的药剂直接从废液端口排出,对材料造成浪费,故本专利技术针对药剂直接从废液端排出的问题设计解决;现有技术在药剂回收中存在设计上的缺陷导致药剂从废液端口排出,浪费材料加之药剂材料价格较高,药剂采购费用较高而且每个月消耗量极大,造成公司营运费用增加。现有的循环系统没有考量药剂回收的状况,仅仅是在机台侧需要使用时进行供给,在不需要使用时直接排出,造成不必要的浪费。
技术实现思路
本专利技术提出的是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,其目的是在原有的涂布机药剂循环系统的基础上增加药剂回收系统,在涂布机不需要使用时,将排出的药剂回收存放,在机台侧需要使用时进行供给,从而将药剂有效回收,达到可控及合理利用,降低不必要的消耗,经测算单月降低成本30%,一年节省成本200万元。本专利技术的技术解决方案:具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统;其中真空干燥装置连接高压冷却泵,高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统,药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口,药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。其工作方法如下:(1)光刻胶经过真空干燥装置作业后转变为气态形式存在,经 ...
【技术保护点】
具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,其特征在于,包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统;其中真空干燥装置连接高压冷却泵,高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统,药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口,药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。
【技术特征摘要】
1.具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,其特征在于,包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统;其中真空干燥装置连接高压冷却泵,高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统,药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口,药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。2.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,其特征在于,所述的药剂循环系统包括4个药剂储存系统、药液信号控制药液供给开关、光刻胶输出口;其中4个药剂储存系统由4个电磁阀-气动阀-电磁阀并联连接而成,4个中的A-1药剂储存系统和A-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接A药液信号控制药液供给开关,B-1药剂储存系统和B-2药剂储存系统分别通过1个气动阀、一个电磁阀连接B药液信号控制药液供给开关,A药液信号控制药液供给开关和B药液信号控制药液供给开关分别连接光刻胶输出口。3.根据权利要求1所述的具有药剂回收系统的光刻胶涂布机,其特征在于,所述的药剂回收系统包括1个C药剂储存系统,所述C药剂储存系统的输入端通过1个气动阀、一个电磁阀连接废液排出口前的电磁阀,C药剂储存系统的输出端通过1个电磁阀、一个气动阀连...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐飞,彭建中,李亚明,高广修,吴昌龙,张良,
申请(专利权)人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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