声波器件、滤波器和分波器制造技术

声波器件、滤波器和分波器。一种声波器件包括：压电基板；第一叉指换能器，其位于压电基板上；以及第二叉指换能器，其位于压电基板上并且与第一叉指换能器串联连接，其中，第一叉指换能器和第二叉指换能器共享一个公共汇流条作为第一叉指换能器的两个汇流条中的第一汇流条和第二叉指换能器的两个汇流条中的第一汇流条，并且公共汇流条的宽度不大于传播通过第一叉指换能器和第二叉指换能器的声波的波长的两倍，公共汇流条不连接到隔着间隙面对与第一叉指换能器和第二叉指换能器的两个汇流条中的第二汇流条连接的电极指的前端的虚设电极指。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的特定方面涉及声波器件、滤波器和分波器(duplexer)。
技术介绍
在用于诸如移动电话终端的无线通信设备的滤波器和分波器中采用声波器件。作为声波器件，已知包括具有位于压电基板上的一对梳形电极的叉指换能器(IDT)的表面声波(SAW)器件。另外，为了改进功率持久性，已知连续地划分单个SAW器件，如在日本特开2001-285025号公报和日本特开2001-24471号公报中公开的。另外，为了改进谐振器中的表面声波的限制，已知在各个梳形电极中的电极指之间提供虚设电极指，如在日本特开2003-198317号公报中公开的。另选地，已知使用不同模式下的波的多模式类型的表面声波器件、或者在多个阶段连接所述多模式类型的表面声波器件，如在日本特开平5-129884号公报、日本特开平6-37585号公报、日本特开平10-32463号公报、日本特开2000-323935号公报以及日本特开2001-127587号公报中公开的。当单个声波器件被连续地划分以改进功率持久性时，器件尺寸增加。
技术实现思路
根据本专利技术的一方面，提供了一种声波器件，该声波器件包括：压电基板；第一IDT，其位于所述压电基板上并且包括多个电极指和两个汇流条(busbar)；以及第二IDT，其位于所述压电基板上，包括多个电极指和两个汇流条，并且与所述第一IDT串联连接，其中，所述第一IDT和所述第二IDT共享一个公共汇流条作为所述第一IDT的所述两个汇流条中的第一汇流条和所述第二IDT的所述两个汇流条中的第一汇流条，所述公共汇流条的宽度不大于传播通过所述第一IDT和所述第二IDT的声波的波长的两倍，并且所述公共汇流条不连接到隔着间隙面对与所述第一IDT的所述两个汇流条中的第二汇流条连接的电极指的前端的虚设电极指，并且不连接到隔着间隙面对与所述第二IDT的所述两个汇流条中的第二汇流条连接的电极指的前端的虚设电极指。根据本专利技术的另一方面，提供了一种滤波器，该滤波器包括：以上声波器件。根据本专利技术的另一方面，提供一种分波器，该分波器包括：以上滤波器。附图说明图1的(a)是根据第一实施方式的SAW器件的俯视图，并且图1的(b)是(a)中的区域A的放大图；图2是根据第一比较示例的SAW器件的俯视图；图3是根据第一实施方式的第一变形例的SAW器件的俯视图；图4示出根据第一实施方式的第一变形例的SAW器件的频率特性的仿真结果；图5示出根据第一实施方式的第一变形例的使用SAW器件的梯形滤波器的通过特性(passcharacteristic)的仿真结果；图6是根据第一实施方式的第二变形例的SAW器件的俯视图；图7A是根据第一实施方式的第三变形例的SAW器件的俯视图，并且图7B是图7A中的区域A的放大图；图8是根据第一实施方式的第四变形例的SAW器件的俯视图；图9A示出第一实施方式的第四变形例的SAW器件的频率特性的测量结果，并且图9B是图9A中的区域A的放大图；图10是第一实施方式的第四变形例的SAW器件的反射特性的史密斯圆图；图11是根据第二实施方式的SAW器件的俯视图；图12示出根据第三实施方式的滤波器；图13A是示出第三实施方式的滤波器的通过特性的图(第1条)，并且图13B是图13A中的通带的放大图；图14A是示出第三实施方式的滤波器的通过特性的图(第2条)，并且图14B是图14A的通带的放大图；图15示出根据第三实施方式的第一变形例的滤波器；以及图16示出根据第四实施方式的分波器。具体实施方式在下文中，将参照附图给出本专利技术的实施方式的描述。第一实施方式图1的(a)是根据第一实施方式的SAW器件的俯视图，并且图1的(b)是(a)中的区域A的放大图。如图1的(a)和(b)中所示，第一实施方式的SAW器件100包括在压电基板10上的第一IDT20、串联连接至第一IDT20的第二IDT40、以及在表面声波的传播方向上位于第一IDT20和第二IDT40的两侧的反射器60。压电基板10由例如诸如铌酸锂(LiNbO3)或钽酸锂(LiTaO3)的压电材料制成。第一IDT20、第二IDT40以及反射器60可以由例如单层金属膜(诸如铝(Al)或铜(Cu))或者主要由Al构成的合金制成。另选地，第一IDT20、第二IDT40以及反射器60可以由多层金属膜制成，多层金属膜包括位于单层金属膜(诸如Al或Cu)或者主要由Al构成的合金下面的金属(诸如钛(Ti)或铬(Cr))。第一IDT20包括一对梳形电极。所述梳形电极中的第一梳形电极包括电极指22a、虚设电极指24、以及连接到电极指22a和虚设电极指24的汇流条26a。例如，电极指22a和虚设电极指24被另选地定位。汇流条26a连接至输入/输出端子28。所述梳形电极中的第二梳形电极包括电极指22b和连接到电极指22b的汇流条26b。电极指22b被定位成使得电极指22b的前端隔着间隔52面对虚设电极指24的前端。另一方面，汇流条26b不连接至电极指22b之间的虚设电极指。因此，电极指22a被定位成使得电极指22a的前端隔着间隙52面对汇流条26b。以相同方式，第二IDT40包括一对梳形电极。所述梳形电极中的第一梳形电极包括电极指42a、虚设电极指44以及连接到电极指42a和虚设电极指44的汇流条46a。例如，电极指42a和虚设电极指44被另选地定位。汇流条46a连接至输入/输出端子28。所述梳形电极中的第二梳形电极包括电极指42b和连接至电极指42b的汇流条46b。电极指42b被定位成使得电极指42b的前端隔着间隙52面对虚设电极指44的前端。另一方面，汇流条46b不连接至电极指42b之间的虚设电极指。因此，电极指42a被定位成使得电极指42a的前端隔着间隙52面对汇流条46b。第一IDT20和第二IDT40共享作为汇流条26b和汇流条46b的单个公共汇流条50，汇流条26b是第一IDT20的两个汇流条中的一个汇流条，汇流条46b是第二IDT40的两个汇流条中的一个汇流条。公共汇流条50是浮置电极。第一IDT20的电极指22a、22b的节距与第二IDT40的电极指42a、42b的节距相同。第一IDT20的线与间隔比(此后称为L/S比)(其是电极指22a、22b的宽度与相邻的电极指22a、22b之间的距离的比率)与第二IDT40的L/S比(其是电极指42a、42b的宽度与相邻的电极指42a、42b之间的距离的比率)相同。开口长度W1(其是第一IDT20的电极指本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波器件，所述声波器件包括：压电基板；第一叉指换能器，其位于所述压电基板上并且包括多个电极指和两个汇流条；以及第二叉指换能器，其位于所述压电基板上，包括多个电极指和两个汇流条，并且与所述第一叉指换能器串联连接，其中，所述第一叉指换能器和所述第二叉指换能器共享一个公共汇流条作为所述第一叉指换能器的所述两个汇流条中的第一汇流条和所述第二叉指换能器的所述两个汇流条中的第一汇流条，所述公共汇流条的宽度不大于传播通过所述第一叉指换能器和所述第二叉指换能器的声波的波长的两倍，并且所述公共汇流条不连接到隔着间隙面对与所述第一叉指换能器的所述两个汇流条中的第二汇流条连接的所述电极指的前端的虚设电极指，并且不连接到隔着间隙面对与所述第二叉指换能器的所述两个汇流条中的第二汇流条连接的所述电极指的前端的虚设电极指。

【技术特征摘要】
2014.10.16 JP 2014-211899;2015.07.07 JP 2015-136541.一种声波器件，所述声波器件包括：
压电基板；
第一叉指换能器，其位于所述压电基板上并且包括多个电极指和两个汇流条；以
及
第二叉指换能器，其位于所述压电基板上，包括多个电极指和两个汇流条，并且
与所述第一叉指换能器串联连接，
其中，所述第一叉指换能器和所述第二叉指换能器共享一个公共汇流条作为所述
第一叉指换能器的所述两个汇流条中的第一汇流条和所述第二叉指换能器的所述两
个汇流条中的第一汇流条，
所述公共汇流条的宽度不大于传播通过所述第一叉指换能器和所述第二叉指换
能器的声波的波长的两倍，并且
所述公共汇流条不连接到隔着间隙面对与所述第一叉指换能器的所述两个汇流
条中的第二汇流条连接的所述电极指的前端的虚设电极指，并且不连接到隔着间隙面
对与所述第二叉指换能器的所述两个汇流条中的第二汇流条连接的所述电极指的前
端的虚设电极指。
2.根据权利要求1所述的声波器件，其中，
所述第一叉指换能器的所述两个汇流条中的所述第二汇流条连接到被定位成隔
着间隙面对连接到所述公共汇流条的所述电极指的前端的虚设电极指，并且所述第二
叉指换能器的所述两个汇流条中的所述第二汇流条连接到被定位成...

【专利技术属性】
技术研发人员：兼田泰文，黑柳琢真，月馆均，伊形理，先滩薰，三浦道雄，竹崎徹，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP