用超短激光脉冲在光学透明薄层上打出精密孔的装置制造方法及图纸

技术编号:14614320 阅读:90 留言:0更新日期:2017-02-10 01:29
所提出的是一种使用超短激光脉冲在光学透明薄层上打精密孔的装置,在该装置中用高数值孔径的物镜透过折射系数大于1.5的介质容量使激光辐射聚焦。这种装置用超短激光脉冲能在厚度达100微米的薄层上形成直径达5微米的孔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用超短激光脉冲在光学透明薄层上打出精密孔的装置,包括超短激光脉冲源、物镜和薄层,其中物镜在空气中的数值孔径不小于0.33,薄层的厚度为100微米,光线的运行形成光学系统,其特征在于,所述装置包含对于激光辐射而言折射系数不小于1.5的透明介质,薄层位于介质的一侧,因而在傍轴近似下物镜的焦点在薄层前面,物镜的临界边缘射束的焦点在薄层后面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢尔盖·卡仁诺维奇·瓦尔达贝多夫阿列克谢伊·扎哈洛维奇·奥比金达尼尔·瓦连京诺维奇·加宁
申请(专利权)人:光学系统有限责任公司
类型:新型
国别省市:俄罗斯;RU

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