一种等离子刻蚀机制造技术

技术编号:14600987 阅读:42 留言:0更新日期:2017-02-09 04:08
本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机,包括箱体和隔板,所述隔板将箱体的内腔分为上腔室和下腔室,所述上腔室内通过支架安装有盒体,所述箱体的外侧分别安装有溶液箱和气泵,且溶液箱和气泵与盒体通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体上安装有喷头,所述支架上安装有发热灯,所述隔板的上端安装有托盘,所述下腔室内安装有集液箱,集液箱与托盘通过管道相连接,且管道上安装有电磁阀,所述下腔室内安装有真空泵,真空泵与上腔室通过管道相连接。本实用新型专利技术可单独进行某一种的刻蚀工作,起到一物两用的好处,节省购置一台机器的成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏刻蚀
,尤其涉及一种等离子刻蚀机。
技术介绍
湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说,就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念,它是一种纯化学刻蚀,具有优良的选择性,刻蚀完当前薄膜就会停止,而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性,所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀,横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度。这样一来,上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差,也就无法高质量地完成图形转移和复制的工作,因此随着特征尺寸的减小,在图形转移过程中基本不再使用。目前,湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节,而在图形转移中干法刻蚀已占据主导地位。但是市场上却没有一种可满足湿法和干法刻蚀同时工作的装置,对此我们推出一种等离子刻蚀机。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种等离子刻蚀机。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:设计一种等离子刻蚀机,包括箱体和隔板,所述隔板将箱体的内腔分为上腔室和下腔室,所述上腔室内通过支架安装有盒体,所述箱体的外侧分别安装有溶液箱和气泵,且溶液箱和气泵与盒体通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体上安装有喷头,所述支架上安装有发热灯,所述隔板的上端安装有托盘,所述下腔室内安装有集液箱,集液箱与托盘通过管道相连接,且管道上安装有电磁阀,所述下腔室内安装有真空泵,真空泵与上腔室通过管道相连接,所述上腔室的一侧设有加气口,所述箱体的外侧安装有射频电源,所述射频电源的外侧安装有射频电感线圈,所述托盘内安装有静电吸盘,且所述射频电源分别与射频电感线圈和静电吸盘电连接。优选的,所述盒体上安装有压力表。优选的,所述箱体的外侧安装有控制器。本技术提出的一种等离子刻蚀机,有益效果在于:该等离子刻蚀机,上腔室内用于对光伏板的刻蚀工作,通过冲入气体反应溶液喷射在托盘内待刻蚀的光伏板上,使光伏板与反应溶液接触更完全,刻蚀效果更好,再通过真空泵对上腔室的空气进行抽离,使上腔室内保持一个干燥和真空的状态,加气口加入反应气体,开启射频电源进行再次的刻蚀工作,使刻蚀的效果更好,且还可单独进行某一种的刻蚀工作,起到一物两用的好处,节省购置一台机器的成本。附图说明图1为本技术提出的一种等离子刻蚀机的结构示意图。图中:箱体1、隔板2、上腔室3、下腔室4、托盘5、集液箱6、真空泵7、静电吸盘8、盒体9、溶液箱10、气泵11、发热灯12、支架13、喷头14、射频电源15、射频电感线圈16、加气口17、控制器18。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。参照图1,一种等离子刻蚀机,包括箱体1和隔板2,隔板2将箱体1的内腔分为上腔室3和下腔室4,上腔室内用于对光伏板的刻蚀工作,上腔室3内通过支架13安装有盒体9,箱体1的外侧分别安装有溶液箱10和气泵11,溶液箱10和气泵11与盒体9通过管道相连接,且两个管道上均安装有电磁阀。盒体9上安装有喷头14,支架13上安装有发热灯12,隔板2的上端安装有托盘5,下腔室4内安装有集液箱6,集液箱6与托盘5通过管道相连接,管道上安装有电磁阀,通过气泵11充入气体使反应溶液喷射在托盘5内待刻蚀的光伏板上,使光伏板与反应溶液接触更完全,刻蚀效果更好,集液箱6用于将托盘5内的溶液进行收集,发热灯12用于将光伏板和托盘5进行烘干,便于再次的刻蚀工作。下腔室4内安装有真空泵7,真空泵7与上腔室3通过管道相连接,上腔室3的一侧设有加气口17,箱体1的外侧安装有射频电源15,射频电源15的外侧安装有射频电感线圈16,托盘5内安装有静电吸盘8,且射频电源15分别与射频电感线圈16和静电吸盘8电连接。真空泵7对上腔室3的空气进行抽离,使上腔室3内保持一个干燥和真空的状态,加气口17加入反应气体,开启射频电源15进行再次的刻蚀工作,使刻蚀的效果更好,且还可单独进行某一种的刻蚀工作,起到一物两用的好处,节省购置一台机器的成本。进一步的,盒体9上安装有压力表,用于对盒体9的压力进行显示,使用更加安全。进一步的,箱体1的外侧安装有控制器,用于对该装置本体的参数录入,使刻蚀工作更简便,刻蚀效果更好。结构原理:上腔室3内的盒体9通过溶液箱10加入反应溶液,再通过气泵11冲入气体,使溶液形成雾状喷射在托盘5内待刻蚀的光伏板上,使光伏板与反应溶液接触更完全,刻蚀效果更好,通过集液箱6将托盘5内的反应溶液收集出来,再通过加热灯12进行光伏板的烘干,同时真空泵7对上腔室3的空气进行抽离,使上腔室3内保持一个干燥和真空的状态,在通过加气口17加入反应气体,开启射频电源15进行再次的刻蚀工作,使刻蚀的效果更好更完全。以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网
...

【技术保护点】
一种等离子刻蚀机,包括箱体(1)和隔板(2),所述隔板(2)将箱体(1)的内腔分为上腔室(3)和下腔室(4),其特征在于,所述上腔室(3)内通过支架(13)安装有盒体(9),所述箱体(1)的外侧分别安装有溶液箱(10)和气泵(11),且溶液箱(10)和气泵(11)与盒体(9)通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体(9)上安装有喷头(14),所述支架(13)上安装有发热灯(12),所述隔板(2)的上端安装有托盘(5),所述下腔室(4)内安装有集液箱(6), 集液箱(6)与托盘(5)通过管道相连接,且管道上安装有电磁阀,所述下腔室(4)内安装有真空泵(7), 真空泵(7)与上腔室(3)通过管道相连接,所述上腔室(3)的一侧设有加气口(17),所述箱体(1)的外侧安装有射频电源(15),所述射频电源(15)的外侧安装有射频电感线圈(16),所述托盘(5)内安装有静电吸盘(8),且所述射频电源(15)分别与射频电感线圈(16)和静电吸盘(8)电连接。

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机,包括箱体(1)和隔板(2),所述隔板(2)将箱体(1)的内腔分为上腔室(3)和下腔室(4),其特征在于,所述上腔室(3)内通过支架(13)安装有盒体(9),所述箱体(1)的外侧分别安装有溶液箱(10)和气泵(11),且溶液箱(10)和气泵(11)与盒体(9)通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体(9)上安装有喷头(14),所述支架(13)上安装有发热灯(12),所述隔板(2)的上端安装有托盘(5),所述下腔室(4)内安装有集液箱(6),集液箱(6)与托盘(5)通过管道相连接,且管...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙显强
申请(专利权)人:温州市赛拉弗能源有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1