一种硅棒端面研磨机制造技术

本发明专利技术提供了一种硅棒端面研磨机，属于研磨设备技术领域，包括一机架，机架上设有一研磨机构和一夹持机构，研磨机构位于机架的顶部，夹持机构位于机架的底部，研磨机构包括汽缸一，汽缸一的缸体固定于机架的顶部，汽缸一的输出端设有一砂轮，砂轮由一电机驱动；夹持机构包括一底盘，底盘上均匀分布有若干个滑轨，滑轨呈辐射状分布，滑轨上滑动连接一滑块，滑块由汽缸二驱动，汽缸二的缸体固定于底盘的外侧，汽缸二的输出端固定于滑块的一端，滑块的另一端设有一推杆。本发明专利技术结构简单，设计合理，使用方便，能够稳定的固定硅棒，可将硅棒的两个端面研磨成平面，有利于后期加工出精度更高的硅棒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及研磨设备
，具体是一种硅棒端面研磨机。
技术介绍
硅棒在加工时需要将硅棒的两端夹紧，然后在滚磨机上进行研磨，得到圆柱状结构的硅棒。但是加工前的硅棒的两个端面不是平面，而是不均匀的，与夹具接触时不是面面接触，而是点面接触，这样在研磨过程中硅棒固定不稳定，导致研磨出来的硅棒的圆度不够，甚至研磨出横截面为椭圆状的硅棒。因此在硅棒研磨之前需要将其两个端面研磨成平面，以解决上述问题。本专利技术提供了一种硅棒端面研磨机，能够稳定的固定硅棒，可将硅棒的两个端面研磨成平面，有利于后期加工出精度更高的硅棒。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提供提供了一种结构简单，设计合理，使用方便，能够稳定的固定硅棒，可将硅棒的两个端面研磨成平面，有利于后期加工出精度更高的硅棒的硅棒端面研磨机。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种硅棒端面研磨机，包括一机架，所述机架上设有一研磨机构和一夹持机构，所述研磨机构位于机架的顶部，所述夹持机构位于机架的底部，所述研磨机构包括汽缸一，所述汽缸一的缸体固定于机架的顶部，所述汽缸一的输出端设有一砂轮，所述砂轮由一电机驱动；所述夹持机构包括一底盘，所述底盘上均匀分布有若干个滑轨，所述滑轨呈辐射状分布，所述滑轨上滑动连接一滑块，所述滑块由汽缸二驱动，所述汽缸二的缸体固定于底盘的外侧，所述汽缸二的输出端固定于滑块的一端，所述滑块的另一端设有一推杆。进一步地，所述砂轮为碗状结构。进一步地，所述砂轮的内部为铝基合金材质，外表面为金刚砂材质。进一步地，所述滑块为横截面为燕尾型。进一步地，所述底盘上均匀分布有三个滑轨。进一步地，所述推杆的自由端设有一推板。进一步地，所述推板的横截面为圆弧形结构，所述推板的凹面朝向底盘的圆心设置。进一步地，所述推板的凸面上设有一固定板，所述固定板上设有固定孔。进一步地，所述推杆的自由端设有一插槽和插孔，所述插孔贯穿插槽，所述插孔的方向垂直于插槽，所述固定板插入插槽内，并由螺栓穿过插孔与固定孔进行固定。进一步地，所述底盘的中心设有一缓冲垫。相对于现有技术，本专利技术具有以下优势：本专利技术硅棒端面研磨机，结构简单，设计合理，使用方便，能够稳定的固定硅棒，可将硅棒的两个端面研磨成平面，有利于后期加工出精度更高的硅棒。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术的结构示意图。图2为本专利技术的夹持机构的结构示意图，图3为本专利技术的滑轨与滑块配合的结构示意图。图4为本专利技术的推杆的结构示意图。图5为本专利技术的推板的结构示意图。图6为本专利技术的推杆与推板配合的结构示意图。图中：1、机架；2、汽缸一；3、砂轮；4、电机；5、底盘；6、滑轨；7、滑块；8、汽缸二；9、推杆；10、推板；11、固定板；12、固定孔；13、插槽；14、插孔；15、螺栓；16、缓冲垫。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1-6所示，一种硅棒端面研磨机，包括一机架1，机架1上设有一研磨机构和一夹持机构，研磨机构位于机架1的顶部，夹持机构位于机架1的底部，研磨机构包括汽缸一2，汽缸一2的缸体固定于机架1的顶部，汽缸一2的输出端设有一砂轮3，砂轮3为碗状结构，砂轮3的内部为铝基合金材质，外表面为金刚砂材质，砂轮3由一电机4驱动；夹持机构包括一底盘5，底盘5的中心设有一缓冲垫16，底盘5上均匀分布有三个滑轨6，滑轨6呈辐射状分布，滑轨6上滑动连接一滑块7，滑块7为横截面为燕尾型，滑块7由汽缸二8驱动，汽缸二8的缸体固定于底盘5的外侧，汽缸二8的输出端固定于滑块7的一端，滑块7的另一端设有一推杆9，推杆9的自由端设有一推板10，推板10的横截面为圆弧形结构，推板10的凹面朝向底盘5的圆心设置，推板10的凸面上设有一固定板11，固定板11上设有固定孔12，推杆9的自由端设有一插槽13和插孔14，插孔14贯穿插槽13，插孔14的方向垂直于插槽13，固定板11插入插槽13内，并由螺栓15穿过插孔14与固定孔12进行固定。本实施例的工作过程：使用时，将硅棒置于底盘5中心的缓冲垫16上，启动三个汽缸二8，汽缸二8驱动滑块7向硅棒移动，推板10的圆弧面与硅棒的外表面接触，硅棒在三个推板10的作用下处于垂直稳定的状态，此时启动汽缸一2，汽缸一2驱动砂轮3与硅棒的上端面接触，启动电机4，电机4驱动砂轮3对硅棒的上端面进行研磨，上端面研磨完毕之后，将硅棒的上下端反过来安装，采用上述同样的方法，对硅棒的另一端面进行研磨。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅棒端面研磨机，其特征在于：包括一机架，所述机架上设有一研磨机构和一夹持机构，所述研磨机构位于机架的顶部，所述夹持机构位于机架的底部，所述研磨机构包括汽缸一，所述汽缸一的缸体固定于机架的顶部，所述汽缸一的输出端设有一砂轮，所述砂轮由一电机驱动；所述夹持机构包括一底盘，所述底盘上均匀分布有若干个滑轨，所述滑轨呈辐射状分布，所述滑轨上滑动连接一滑块，所述滑块由汽缸二驱动，所述汽缸二的缸体固定于底盘的外侧，所述汽缸二的输出端固定于滑块的一端，所述滑块的另一端设有一推杆。

【技术特征摘要】
1.一种硅棒端面研磨机，其特征在于：包括一机架，所述机架上设有一研磨机构和一夹持机构，所述研磨机构位于机架的顶部，所述夹持机构位于机架的底部，所述研磨机构包括汽缸一，所述汽缸一的缸体固定于机架的顶部，所述汽缸一的输出端设有一砂轮，所述砂轮由一电机驱动；所述夹持机构包括一底盘，所述底盘上均匀分布有若干个滑轨，所述滑轨呈辐射状分布，所述滑轨上滑动连接一滑块，所述滑块由汽缸二驱动，所述汽缸二的缸体固定于底盘的外侧，所述汽缸二的输出端固定于滑块的一端，所述滑块的另一端设有一推杆。2.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机，其特征在于：所述砂轮为碗状结构。3.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机，其特征在于：所述砂轮的内部为铝基合金材质，外表面为金刚砂材质。4.根据权利要求1所述的硅棒端面研磨机，...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛佳伟，薛佳勇，王海军，
申请(专利权)人：天津众晶半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12