【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种具有良好孔掩蔽性能和良好的分辨率的,可进行碱溶液显影的干膜抗蚀剂及其层压体。
技术介绍
印刷电路板的制造方法主要有掩膜法和图形电镀法两种。掩膜法是用保护层保护用于搭载接头的铜通孔,经过蚀刻、去膜形成电路。图形电镀法通过电镀法在通孔中电镀铜,再通过镀锡焊料保护,经过去膜、蚀刻形成电路。在这些方法中,都要求感光性树脂组合物具有优异的掩孔性能。同时,随着电子设备向着轻薄短小的方向发展,其所搭载的印刷电路板、引线框架等图形的线条尺寸也越来越小,基板和已经形成图形的树脂组合物接触面积也处于变小的趋势,为了以更高良品率制造这种窄间距的线路图形,这就要求干膜抗蚀剂具有良好的分辨率。专利WO01/092958使用可光交联的氨基甲酸酯结构的寡聚物,获得了很好的孔掩蔽性能,但氨基甲酸酯结构的寡聚物的使用,降低了其显影性。专利US8101339使用了在分子结构中引入烷氧基的三(2-羟乙基)异氰脲酸酯丙烯酸酯,以降低三(2-羟乙基)异氰脲酸酯丙烯酸酯本身的脆性,提高干膜掩孔能力和抗化性。专利US7517636报道一种新型干膜,这种干膜具有良好的掩孔能力和显影性能。通过提高干膜抗蚀剂组合物中所含有的碱可溶性树脂的分子量,或者增加组合物中的可聚合单体的用量,可以提高孔的掩蔽性能,但往往伴随的不利情况是分辨率的下降。特别是,在图形曝光、显影后,在未曝光的图形靠近曝光部分的侧边根部,由于线路过细造成冲洗死角等原 ...
【技术保护点】
一种具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蚀剂,其特征在于,包括第一组分和第二组分,所述第一组分由50~70重量份重均分子量为80000~160000的含羧基的碱可溶性聚合物、15~45含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、0.5~10重量份的光引发剂和0~5重量份的助剂组成;所述第二组分由50~70重量份重均分子量为30000~120000的含羧基的碱可溶性聚合物、15~45含有乙烯基的不饱和键单体或寡聚物、0.5~10重量份的光引发剂、0.1~2重量份结构式I的化合物、以及0~5重量份的助剂组成;所述第一组合物中含羧基的碱可溶性聚合物比第二组合物中含羧基的碱可溶性聚合物的重均分子量大;或者相同质量的第一组分和第二组分中,第一组合物中的乙烯基的数量大于第二组合物中乙烯基的数量。其中,R1、R2、R3、R4、R5均选自H、COOH、OH,且R1、R2、R3、R4、R5中至少包含一个OH基团或COOH基团。
【技术特征摘要】
1.一种具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蚀剂,其特征在于,包括第一组分和第二组
分,所述第一组分由50~70重量份重均分子量为80000~160000的含羧基的碱可溶性聚合
物、15~45含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、0.5~10重量份的光引发剂和0~5重量份的
助剂组成;所述第二组分由50~70重量份重均分子量为30000~120000的含羧基的碱可溶
性聚合物、15~45含有乙烯基的不饱和键单体或寡聚物、0.5~10重量份的光引发剂、0.1~
2重量份结构式I的化合物、以及0~5重量份的助剂组成;所述第一组合物中含羧基的碱可
溶性聚合物比第二组合物中含羧基的碱可溶性聚合物的重均分子量大;或者相同质量的第
一组分和第二组分中,第一组合物中的乙烯基的数量大于第二组合物中乙烯基的数量。
其中,R1、R2、R3、R4、R5均选自H、COOH、OH,且R1、R2、R3、R4、R5中至少包含一个OH基团或
COOH基团。
2.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂,其特征在于,所述第一组分和第二组分中的含羧
基的碱可溶性聚合物的酸含量在80-400mgKOH/g,更优选为100-300mgKOH/g。
3.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂,其特征在于,所述的助剂由孔雀石绿等染料、无
色结晶紫等光成色剂、成色热稳定剂、增塑剂、颜料、填料、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、流平剂、
剥离促进剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂中的一种或多种按照任意配比组成。
4.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂,其特征在于,所述含羧基的碱可溶性聚合物,由
一种或多种含羧基的共聚单元单体与一种或多种不含羧基基团的共聚单元单体按照任意
配比共聚而得;其中,含羧基的聚合物的共聚单元单体可以选自以下含有羧基的酸:衣康
酸、巴豆酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸半酯、顺丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸
酐等;不含羧基基团的共聚单元可以选自:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)
丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙
烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲
基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羟基丁酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二
醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸
乙酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸乙酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸丙酯、N,N-二乙基(甲基)丙
烯酸丙酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸丁酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酰
胺、N-羟甲基-丙烯酰胺、N-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯氧基乙基
(甲基)丙烯酸酯、(烷氧基化)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李志强,李伟杰,严晓慧,黄森彪,韩传龙,周光大,林建华,
申请(专利权)人:杭州福斯特光伏材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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