平板基座支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体，所述支撑体的一端中心开设圆柱状的卡槽，另一端具有正八边形的连接头，该连接头与支撑体为一体成型。本实用新型专利技术通过固定支撑体与连接头的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性；通过去除支撑体与连接头的装配公差，相当于提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，减少了备件损耗；通过增加连接头内切圆半径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体与连接头接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体硅外延领域，尤其是涉及一种平板基座支撑装置。
技术介绍
厚度均匀性是硅外延生产的主要控制参数，随着外延产品的质量要求不断提高，设备的精确度要求也变得越来越苛刻。现有技术中的平板基座支撑装置，譬如，意大利LPE(LiquidPhaseEpitaxial，液相外延)公司的PE3061D外延炉的平板基座支撑装置，支撑体与连接头分离，由于装配间隙的存在，支撑体与连接头在轴向上的旋转自由度未固定，导致基座在惯性下不能精确定位，从而引起硅片搭边或贴边，进而影响硅片的厚度均匀性。在水平方向上，支撑体上表面与连接头下表面存在装配公差，不能有效保证平行度。在实际生产中，为了精确保证安装在连接头上端基座的水平，支撑体的垂直度将减小，从而导致支撑体底部边缘应力集中，容易崩边，损坏支撑体。连接头安装在支撑体内，由于接触半径较小，在旋转力矩不变的情况下，接触处的扭力较大，易导致疲劳损坏，缩短支撑体的寿命。现有平板基座支撑装置如图1、图2所示。连接头与支撑体的分离，增加了它们之间接触部位的清洁难度，降低了硅片外延后的表面质量。设备维护时，连接头与支撑体的随机搭配，维护质量存在不确定性。因此，亟待解决上述问题。
技术实现思路
技术目的：本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种平板基座支撑装置，来改善外延片厚度均匀性，降低设备备件的损耗，节约成本。技术方案：本技术公开了一种平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体，所述支撑体的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽，另一端具有正八边形的连接头，该连接头与支撑体为一体成型。进一步，所述连接头的内切圆直径为32～32.2mm其中，所述支撑体的长度为363～365mm。优选的，所述连接头的长度为8.5～9.5mm。其中，在进行装配时，所述连接头嵌入式地与所需安装的平板基座的底部八角衬套相连接。有益效果：本技术与现有技术相比，其优点为：本技术通过固定支撑体与连接头的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性；通过去除支撑体与连接头的装配公差，相当于提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，减少了备件损耗；通过增加连接头内切圆半径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体与连接头接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命；通过将连接头与支撑体设置为一体，降低了它们之间接触部位的清洁难度，提高了硅片外延后的表面质量；通过将连接头与支撑体设置为一体，减少了设备维护时连接头与支撑体的随机搭配，提高了维护质量。附图说明图1为现有平板基座支撑装置装配图；图2为现有平板基座支撑装置的纵剖面图；图3为本技术平板基座支撑装置的纵剖面图；图4为本技术的实施例的纵剖面构造图。具体实施方式下面结合附图对本技术的技术方案作进一步说明。如图3、图4所示，为了解决现有技术外延片厚度均匀性差、设备备件寿命较短的问题，本技术所述的平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体1，所述支撑体1的一端中心开设圆柱状的卡槽2，另一端具有正八边形的连接头3，该连接头3与支撑体1为一体成型。通过固定支撑体1与连接头3的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性；通过去除支撑体1与连接头3的装配公差，相当于提高了支撑体1在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体1底部崩边的可能性，减少了备件损耗。其中，支撑体1的长度为363～365mm，连接头3的长度为8.5～9.5mm。其中，连接头3的内切圆直径为32～32.2mm，增加连接头3内切圆直径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体1与连接头3接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。在进行装配时，所述连接头3嵌入式地与所需安装的平板基座底部八角衬套相连接。支撑体具有连接头的一端为上表面，该上表面为平面，嵌入式地与所需安装的平板基座底部八角衬套相连接；设有卡槽的一端表面为支撑体的下表面，该下表面与伺服电机金属托盘相连接。实施例1本技术所述的平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体1，所述支撑体1的一端中心开设圆柱状的卡槽2，另一端具有正八边形的连接头3，该连接头3与支撑体1为一体成型。其中，支撑体1的长度为364mm，直径50mm。连接头与支撑体设置为一体，固定了轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性。连接头与支撑体设置为一体消除了水平方向上的装配公差，在精确保证连接头上端基座水平的情况下，有效提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，节约了成本；连接头与支撑体设置为一体，降低了它们之间接触部位的清洁难度，提高了硅片外延后的表面质量；连接头与支撑体设置为一体，减少了设备维护时连接头与支撑体的随机搭配，提高了维护质量。连接头3的长度为9mm，连接头3的内切圆直径为32mm，通过增加支撑体与连接头接触处的直径，在旋转力矩不变的情况下，有效降低了支撑体与连接头接触处的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。如图4所示，本技术平板基座支撑装置安装在平板式外延炉中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板基座支撑装置，其特征在于：包括由石英制成的圆柱状的支撑体(1)，所述支撑体(1)的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽(2)，另一端具有正八边形的连接头(3)，该连接头(3)与支撑体(1)为一体成型。

【技术特征摘要】
1.一种平板基座支撑装置，其特征在于：包括由石英制成的圆柱状的支撑体(1)，所述
支撑体(1)的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽(2)，另一端具有正八边
形的连接头(3)，该连接头(3)与支撑体(1)为一体成型。
2.根据权利要求1所述的平板基座支撑装置，其特征在于：所述连接头(3)的内切圆直
径为32～32.2mm。
3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：施国政，亚历山大·金德尔，何晶，马利行，冯永平，
申请(专利权)人：南京国盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32