【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空泵隔振领域，尤其涉及一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置。
技术介绍
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽。其中真空泵在应用于灵敏仪器时，如扫描电子显微镜，泵转动产生的振动会影响仪器的正常运行，于是，在真空泵与真空腔之间多设置阻振机构，常规的阻尼机构的示意图如图2，其中真空泵(1A)通过密封机构连接到真空室(图中未示出)，密封机构包括连接真空泵和真空腔的金属波纹管(2A)及围绕金属波纹管设置的橡胶环(3A)，而该阻尼机构能够吸收较大部分的振动，但是金属波纹管传输的振动，仍足以影响灵敏的仪器的正常运作。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种有效提高隔振效果的设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置。本技术是通过以下技术方案予以实现：一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆及设于支撑托杆与稳定凸缘之间的...
【技术保护点】
一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆及设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重。
【技术特征摘要】
1.一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置，其特征在
于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双
层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆
及设于支撑托杆与稳定凸缘...
【专利技术属性】
技术研发人员：于少鹏，邸士强，汤萍，赵东君，王新鹏，赵沙沙，
申请(专利权)人：绿菱电子材料天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。