The invention provides a method and a device for analyzing electronic grade hydrogen chloride. The analysis device of the electronic grade hydrogen chloride, which is characterized in that includes a first pre column, the first second columns, analysis of pre separation column, second column, tenth valves, Twentieth valves, a certain amount of ring, second loop and pulse discharge ionization detector. The invention uses the chromatographic column separation system to separate the trace impurities in the hydrogen chloride, and detects the trace impurities by the pulse discharge ionization detector, and the detection limit can be as low as 10ppb. In addition, the method has the advantages of high accuracy, short analysis time, low consumption and high sensitivity.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种测定电子级氯化氢中痕量杂质浓度的方法。
技术介绍
电子级氯化氢气体主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。随着电子行业的高速发展,对氯化氢中杂质含量的要求越来越严格,目前应用于电子行业的氯化氢纯度在5N(99.999%)左右,即使极微量的杂质气体进入工序中也可能导致最终的电子元器件产品质量下降。如何准确可靠的测定氯化氢中痕量杂质是氯化氢生产和应用中所要面对的主要问题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的是一种电子级氯化氢的分析装置和方法,检测下限可以达10ppb。为了达到上述目的,本专利技术提供了一种电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,包括第一预分离柱、第一分析柱、第二预分离柱、第二分析柱、第一十通阀、第二十通阀、第一定量环、第二定量环和脉冲放电离子化检测器,在初始状态时,第一十通阀的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,5号口与6号口连通,7号口与8号口连通,9号口与10号口连通,第二十通阀的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,5号口与6号口连通,7号口与8号口连通,9号口与10号口连通,在检测状态时,第一十通阀的1号口与10号口连通,2号口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号口与7号口连通,8号口与9号口连通,第二十通阀的1号口与10号口连通,2号口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号 ...
【技术保护点】
一种电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,包括第一预分离柱(3)、第一分析柱(4)、第二预分离柱(5)、第二分析柱(6)、第一十通阀(7)、第二十通阀(8)、第一定量环(9)、第二定量环(10)和脉冲放电离子化检测器(12),在初始状态时,第一十通阀(5)的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,5号口与6号口连通,7号口与8号口连通,9号口与10号口连通,第二十通阀(6)的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,5号口与6号口连通,7号口与8号口连通,9号口与10号口连通,在检测状态时,第一十通阀(5)的1号口与10号口连通,2号口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号口与7号口连通,8号口与9号口连通,第二十通阀(6)的1号口与10号口连通,2号口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号口与7号口连通,8号口与9号口连通;第一十通阀(7)的1号口和第二十通阀(8)的1号口分别连接第一分析柱(4)的进口和第二分析柱(6)的进口,第一分析柱(4)的出口和第二分析柱(6)的出口连接脉冲放电离子化检测器的进口,第一十通阀(7)的10号口和第二十通阀(8)的10号口分别连接第一预分离柱(3)的进 ...
【技术特征摘要】
1.一种电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,包括第一预分离柱(3)、
第一分析柱(4)、第二预分离柱(5)、第二分析柱(6)、第一十通阀(7)、第二
十通阀(8)、第一定量环(9)、第二定量环(10)和脉冲放电离子化检测器(12),
在初始状态时,第一十通阀(5)的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,
5号口与6号口连通,7号口与8号口连通,9号口与10号口连通,第二十通阀
(6)的1号口与2号口连通,3号口与4号口连通,5号口与6号口连通,7号
口与8号口连通,9号口与10号口连通,在检测状态时,第一十通阀(5)的1
号口与10号口连通,2号口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号口与7号
口连通,8号口与9号口连通,第二十通阀(6)的1号口与10号口连通,2号
口与3号口连通,4号口与5号口连通,6号口与7号口连通,8号口与9号口
连通;第一十通阀(7)的1号口和第二十通阀(8)的1号口分别连接第一分析
柱(4)的进口和第二分析柱(6)的进口,第一分析柱(4)的出口和第二分析
柱(6)的出口连接脉冲放电离子化检测器的进口,第一十通阀(7)的10号口
和第二十通阀(8)的10号口分别连接第一预分离柱(3)的进口和第二预分离
柱(5)的进口,第一预分离柱(3)的出口和第二预分离柱(5)的出口分别连
接第一十通阀(7)的4号口和第二十通阀(8)的4号口,第一十通阀(7)的
3号口和第二十通阀(8)的3号口连接反吹排放管路,第二十通阀(8)的7号
口连接取样管路,第二十通阀(8)的6号口连接第一十通阀(7)的7号口,第
一定量环(9)的两端分别连接第一十通阀(7)的5号口和8号口,第二定量环
(10)的两端分别连接第二十通阀(10)的5号口和8号口。
2.如权利要求1所述的电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,所述的第
一预分离柱(3)和第二预分离柱(5)为长1m,内径1/8”,内装HaysepR的
填充柱。
3.如权利要求1所述的电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,所述的第
一分析柱(4)为长3m,内径1/8”,内装5A分子筛的填充柱。
4.如权利要求1所述的电子级氯化氢的分析装置,其特征在于,所述的第
...
【专利技术属性】
技术研发人员:周庆美,李东升,
申请(专利权)人:上海正帆科技股份有限公司,合肥正帆电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。