用于真空腔体的密封装置制造方法及图纸

技术编号:14535875 阅读:193 留言:0更新日期:2017-02-02 21:34
本实用新型专利技术公开了一种用于真空腔体的密封装置,在真空腔体的开口的内侧相对设置支撑块,用于支撑密封齿座,密封齿座上设有密封齿;密封齿座向真空腔体内延伸10-100cm,优选向真空腔体内延伸30cm;支撑块通过焊接固定在真空腔体的开口的内侧。同一密封齿座上相邻密封齿的齿间距为5-15mm。本实用新型专利技术能有效阻隔外部气体进入设备内部,可减少所需配置真空泵的数量,从而达到减少成本的目的;减少真空泵的维护成本,有效阻隔携带有灰尘、杂质等的外部气体进入腔体中,从而减少设备维护周期,提高设备产能。

Sealing device for vacuum chamber

The utility model discloses a sealing device for a vacuum chamber, the relative supporting block is arranged in a vacuum cavity of the inner side of the opening, to support the sealing tooth, tooth sealing seat is provided with a sealing tooth; tooth seat to seal the vacuum cavity extending 10-100cm, preferably extends 30cm to the vacuum cavity; supporting block is fixed on the vacuum welding the opening of the inner side of the cavity. The tooth spacing of adjacent sealing teeth on the same sealing tooth seat is 5-15mm. The utility model can effectively prevent external air into the inside of the device can reduce the number of required configuration of the vacuum pump, so as to reduce the cost; reduce the maintenance cost of the vacuum pump, the effective barrier to carry external gas dust and impurities into the cavity, thereby reducing the equipment maintenance cycle, improve the equipment capacity.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于密封设备
,具体涉及一种用于真空腔体的密封装置
技术介绍
迷宫密封由若干个依次排列的密封齿组成,齿与密封件形成一系列节流间隙与膨胀空间,气体经过节流间隙时,速度增大,接着在膨胀室中突然膨胀,产生漩涡,气体能量被消耗。如此,气体经过多个曲折的通道,经多次节流而产生很大阻力,使气体难于泄露,达到密封目的。迷宫密封是气相介质的主要密封形式之一,经过长时间发展,其结构上有了很大的改进,使得密封效果大大加强,并且开发出多种形式的迷宫密封,应用广泛。目前,对于连续式真空镀膜设备,因待镀膜原料,从进入镀膜设备到开始镀膜,再到最后的出料,整个过程不进行原料的裁切,待镀膜原料贯穿整个镀膜设备,故而设备的进出料口虽然采取一定的密封措施,但由于需要持续的进出料,密封效果不理想。为了达到工艺要求的真空环境,必须增加真空泵的数量、配置高性能的真空泵,成本大幅增加。同时,通过上述方式虽可满足工艺要求的真空条件,但外部气体依然先进入设备内部,而后被真空泵抽除,气体中附带的杂质将对镀膜设备腔体内的洁净度产生一定的影响,导致膜层的质量下降。
技术实现思路
基于以上描述的问题,本技术提供一种用于真空腔体的密封装置,可以在设备原先的密封条件基础上,有效的改善因进出料口不能完全密封而导致的相关问题,且不会对设备正常运转造成影响。本技术采取的技术方案如下:用于真空腔体的密封装置,在真空腔体的开口的内侧相对设置支撑块,用于支撑密封齿座,密封齿座上设有密封齿。密封齿座向真空腔体内延伸10-100cm。密封齿座优选向真空腔体内延伸30cm。密封齿座向真空腔体内延伸的距离以及相邻密封齿之间的间距根据待密封的真空腔体设备的大小选择。支撑块通过焊接的方式固定在真空腔体的开口的内侧。同一密封齿座上相邻密封齿的齿间距为5-15mm。优选间距为10mm。有益效果:本技术提供的用于真空腔体的密封装置,能有效阻隔外部气体进入设备内部,在相同的真空环境要求下,可减少所需配置真空泵的数量,降低所需配置真空泵的要求,从而达到减少成本的目的;另外也降低了真空泵的负载,减少真空泵的维护成本,同时真空泵出现故障的几率也相应变小;有效阻隔携带有灰尘、杂质等的外部气体进入腔体中,腔体内环境更加清洁,从而减少设备维护周期,间接增加设备利用率,提高设备产能。附图说明图1用于真空腔体的密封装置结构示意图;其中:1-待镀膜原料,2、2’-密封齿座,3、3’-密封齿,4、4’-支撑块,5-真空腔体。具体实施方式以下实施例是对本技术的进一步解释说明,以便于本领域技术人员的理解,密封齿座向真空腔体内延伸的距离以及相邻密封齿之间的间距根据待密封的真空腔体设备的大小选择,本实施例以连续式真空镀膜设备为示例,在其端口进行密封。实施例1如图1所示,用于真空腔体的密封装置,在真空腔体5的开口的内侧相对设置支撑块4和4’,支撑块4用于支撑密封齿座2,支撑块4垂直于真空腔体5的开口的内侧壁,密封齿座2上分布有密封齿3,相邻密封齿3之间的间距10mm,支撑块4’用于支撑密封齿座2’,密封齿座2’上分布有密封齿3’,相邻密封齿3’之间的间距10mm,密封齿座2向真空腔体内延伸30cm,密封齿座2’向真空腔体内延伸30cm;使用时,将待镀膜原料1放置于真空腔体中,此时待镀膜原料1处于密封齿3与密封齿3’的中间位置,待镀膜原料1与相对的密封齿之间就形成了对称的两个迷宫密封。当制程开始后,设备腔体内部处于真空状态,腔体外部气压远远大于腔体内部,此时在进出口处如果没有迷宫密封,虽然设备本身有一定的密封措施,但不能完全密封,则腔体外部将有大量气体灌入腔体中,大大增加了真空泵的负载,并且会严重影响设备腔体内的真空环境,从而降低膜层质量。而如果在入口处增加迷宫密封,则能很好的阻挡腔体外部的气体进入腔体中,减轻真空泵的负载,从而降低真空泵运行及维护等费用;同时腔体内真空环境得到很大改善,使膜层质量得到提高,并且能减少设备维护周期,增加设备运行时间,提高设备产能。实施例2如图1所示,用于真空腔体的密封装置,在真空腔体5的开口的内侧相对设置支撑块4和4’,支撑块4用于支撑密封齿座2,支撑块4垂直于真空腔体5的开口的内侧壁,密封齿座2上分布有密封齿3,相邻密封齿3之间的间距5mm,支撑块4’用于支撑密封齿座2’,密封齿座2’上分布有密封齿3’,密封齿座2向真空腔体内延伸10cm,密封齿座2’向真空腔体内延伸10cm;使用时,将待镀膜原料1放置于真空腔体中,此时待镀膜原料1处于密封齿3与密封齿3’的中间位置,待镀膜原料1与相对的密封齿之间就形成了对称的两个迷宫密封。实施例3如图1所示,用于真空腔体的密封装置,在真空腔体5的开口的内侧相对设置支撑块4和4’,支撑块4用于支撑密封齿座2,支撑块4垂直于真空腔体5的开口的内侧壁,密封齿座2上分布有密封齿3,相邻密封齿3之间的间距15mm,支撑块4’用于支撑密封齿座2’,密封齿座2’上分布有密封齿3’,密封齿座2向真空腔体内延伸100cm,密封齿座2’向真空腔体内延伸100cm。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于真空腔体的密封装置,其特征在于:在真空腔体(5)的开口的内侧相对设置支撑块(4,4’),用于支撑密封齿座(2,2’),密封齿座(2,2’)上设有密封齿(3,3’)。

【技术特征摘要】
1.用于真空腔体的密封装置,其特征在于:在真空腔体(5)的开口的内侧相对设置支撑块(4,4’),用于支撑密封齿座(2,2’),密封齿座(2,2’)上设有密封齿(3,3’)。
2.根据权利要求1所述的用于真空腔体的密封装置,其特征在于:密封齿(3,3’)的相邻齿间距为5-15mm。
3.根据权利要求1所述的用于真空腔体的密封装置,其特征在于:密封齿座(2,2’)向真空腔体内延...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄贤双毕磊
申请(专利权)人:南京汉能薄膜太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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