The utility model discloses a sealing device for a vacuum chamber, the relative supporting block is arranged in a vacuum cavity of the inner side of the opening, to support the sealing tooth, tooth sealing seat is provided with a sealing tooth; tooth seat to seal the vacuum cavity extending 10-100cm, preferably extends 30cm to the vacuum cavity; supporting block is fixed on the vacuum welding the opening of the inner side of the cavity. The tooth spacing of adjacent sealing teeth on the same sealing tooth seat is 5-15mm. The utility model can effectively prevent external air into the inside of the device can reduce the number of required configuration of the vacuum pump, so as to reduce the cost; reduce the maintenance cost of the vacuum pump, the effective barrier to carry external gas dust and impurities into the cavity, thereby reducing the equipment maintenance cycle, improve the equipment capacity.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于密封设备
,具体涉及一种用于真空腔体的密封装置。
技术介绍
迷宫密封由若干个依次排列的密封齿组成,齿与密封件形成一系列节流间隙与膨胀空间,气体经过节流间隙时,速度增大,接着在膨胀室中突然膨胀,产生漩涡,气体能量被消耗。如此,气体经过多个曲折的通道,经多次节流而产生很大阻力,使气体难于泄露,达到密封目的。迷宫密封是气相介质的主要密封形式之一,经过长时间发展,其结构上有了很大的改进,使得密封效果大大加强,并且开发出多种形式的迷宫密封,应用广泛。目前,对于连续式真空镀膜设备,因待镀膜原料,从进入镀膜设备到开始镀膜,再到最后的出料,整个过程不进行原料的裁切,待镀膜原料贯穿整个镀膜设备,故而设备的进出料口虽然采取一定的密封措施,但由于需要持续的进出料,密封效果不理想。为了达到工艺要求的真空环境,必须增加真空泵的数量、配置高性能的真空泵,成本大幅增加。同时,通过上述方式虽可满足工艺要求的真空条件,但外部气体依然先进入设备内部,而后被真空泵抽除,气体中附带的杂质将对镀膜设备腔体内的洁净度产生一定的影响,导致膜层的质量下降。
技术实现思路
基于以上描述的问题,本技术提供一种用于真空腔体的密封装置,可以在设备原先的密封条件基础上,有效的改善因进出料口不能完全密封而导致的相关问题,且不会对设备正常运转造成影响。本技术采取的技术方案如下:用于真空腔体的密封装置,在真空腔体的开口的内侧相对设置支撑块,用于支撑密封齿座,密封齿座上设有密封齿。密封齿座向真空腔体内延伸10-100cm。密 ...
【技术保护点】
用于真空腔体的密封装置,其特征在于:在真空腔体(5)的开口的内侧相对设置支撑块(4,4’),用于支撑密封齿座(2,2’),密封齿座(2,2’)上设有密封齿(3,3’)。
【技术特征摘要】
1.用于真空腔体的密封装置,其特征在于:在真空腔体(5)的开口的内侧相对设置支撑块(4,4’),用于支撑密封齿座(2,2’),密封齿座(2,2’)上设有密封齿(3,3’)。
2.根据权利要求1所述的用于真空腔体的密封装置,其特征在于:密封齿(3,3’)的相邻齿间距为5-15mm。
3.根据权利要求1所述的用于真空腔体的密封装置,其特征在于:密封齿座(2,2’)向真空腔体内延...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄贤双,毕磊,
申请(专利权)人:南京汉能薄膜太阳能有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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