The invention relates to the use of evaporation element and its manufacturing method of vacuum evaporation of aluminum thin film, in particular to C/h BN composite evaporation boat and manufacturing method of the composite coating, the boat body evaporation boat made of C/h BN composites, the C/h BN composites by six multilayer boron nitride and graphite heater alternately from top to bottom stacked and by hot pressing into a whole, which is characterized in that the boat body surface is six square with evaporation trough boron nitride sintered layer, the bottom of the boat body for the Shi Mofa body, Shi Mofa body surface coated with a layer of at least anti-oxidation thermal resistance coating. The resistivity of the evaporation boat of the invention is relatively stable, the heating is stable, and the sputtering of the evaporation material is avoided due to the uneven local heating. At the same time, because the six boron nitride sintered layer protects the boat body, the service life is prolonged. The oxidation resistant thermal insulation coating of the invention greatly reduces the heat radiation heat energy loss of the graphite heating body in the vacuum environment, and has the function of saving electric energy.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空蒸发镀铝薄膜用蒸发元件及其制作方法,具体涉及一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟及其制造方法。
技术介绍
用蒸发材料(金属、特别是铝)涂覆基材最常用的方法是在高真空环境下采用物理沉积蒸镀法。使用的方法是将蒸发材料接触蒸发舟表面,蒸发材料受热便熔化并气化或升华,将待涂覆的基材通过蒸发舟上方,蒸发材料作为薄的蒸发材料层沉积在基材表面上。为了产品需要的恒定蒸气流,将蒸发舟直接通电加热到1450~1650℃,连接输入蒸发材料,使其在蒸发舟表面液化、气化或升华,并在高真空环境中蒸发,在镀膜设备的蒸镀系统中设置一列蒸发舟,使得在基材上涂敷厚度均匀的蒸发材料层。二硼化钛/氮化硼/氮化铝复合导电陶瓷蒸发舟是目前绝大多数镀膜设备的标准配置。该导电陶瓷蒸发舟由于高温铝腐蚀,其使用寿命一般只有12-16小时,最高不会超过20小时。由于该蒸发舟的不均匀腐蚀,同时也由于被蒸发的铝液也参与导电发热,到蒸发舟寿命的中后期容易造成铝液飞溅、烧穿基材、形成针孔的问题。其原因是:现有的蒸发舟在使用过程中,部分舟体表面因高温出现的微裂纹导致逐渐腐蚀,在蒸发过程中留下裂纹或空穴,这样熔融的蒸发材料(特别是活性铝液)会渗入这些裂纹或空穴中,使蒸发舟的电阻发生变化,并导致蒸发舟致密度下降,导致局部散热不均,使得蒸发过程中蒸发材料在蒸发舟表面润湿铺展不良,引起蒸发材料发生溅射现象,从而影响镀膜质量并缩短了蒸发舟的使用寿命,同时高温下蒸发舟表面由于热辐射也散失较多的热能,能耗较高。
技术实现思路
根据以上现有技术的不足,本专利技术所要解决的技术问题是:1.改善蒸发舟高温使用中产生裂纹或空穴的 ...
【技术保护点】
一种镀膜用C/h‑BN复合蒸发舟,该复合蒸发舟的舟体由C/h‑BN复合材料制成,所述C/h‑BN复合材料由多层六方氮化硼和石墨发热体自上而下交替叠放并通过热压烧结成一整体,其特征在于:所述舟体表层为带有蒸发槽的六方氮化硼烧结层,所述舟体底层为石墨发热体,该石墨发热体表面至少涂覆一层抗氧化热阻涂层。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟,该复合蒸发舟的舟体由C/h-BN复合材料制成,所述C/h-BN复合材料由多层六方氮化硼和石墨发热体自上而下交替叠放并通过热压烧结成一整体,其特征在于:所述舟体表层为带有蒸发槽的六方氮化硼烧结层,所述舟体底层为石墨发热体,该石墨发热体表面至少涂覆一层抗氧化热阻涂层。2.根据权利要求1所述一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟,其特征在于:所述舟体表层两端设有防止蒸发材料溢流到电极端的隔流槽,其宽度为2~5mm,深1~2mm。3.根据权利要求1所述一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟,其特征在于:所述抗氧化热阻涂层厚度为50~400μm。4.根据权利要求3所述一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟,其特征在于:所述抗氧化热阻涂层是金属涂层或氧化锆涂层。5.一种制备权1所述一种镀膜用C/h-BN复合蒸发舟的方法,其特征在于具有以下步骤:(1)按重量百分比计算,取90﹪~99﹪BN、0~7﹪CaO、0.5﹪~3﹪B2O3、0.5﹪~3﹪Y2O3或取45﹪~99﹪BN、0﹪~45﹪AlN、0~7﹪CaO、0.5﹪~3﹪B2O3、0.5﹪~3﹪Y2O3作为原料,将上述原料粉碎成颗粒为100~200目的粉体并进行混合;(2)将混合后的粉体搅拌15~20分钟,再与酒精以重量百分比1:1.5~2的比例混合并搅拌10~15小时,将所述混合搅拌和的粉料在60~70℃加热10~15小时,烘干粉料并去除粉料中的酒...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。