清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置制造方法及图纸

技术编号:14427530 阅读:128 留言:0更新日期:2017-01-13 13:18
本实用新型专利技术公开一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置,清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含滚轮。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头,且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内,且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。当滚轮朝一旋转方向转动,刮除单元位于一区域内,区域的第一边界为一通过滚轮轴心的铅垂面,区域的第二边界是第一边界沿所述旋转方向旋转45度角所形成的一通过滚轮轴心的边界面。

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置
技术介绍
传统搬移玻璃基板的方式例如是透过多个并排滚轮的转动,而将玻璃基板带动至特定的位置,以便对玻璃基板进行后续的处理。然而,当滚轮转动并移动玻璃基板的载板时,滚轮难免因摩擦载板而于滚轮表面产生污染物(如微粒、摩擦生成物),且扬起的污染物可能会掉落在玻璃基板上,导致玻璃基板在后续制程中造成交叉污染。
技术实现思路
本技术的一目的在于提供一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置,藉以解决先前技术所述的问题,意即,移除并送走污染物,减少污染物掉落在玻璃基板上的机会,进而降低玻璃基板在后续制程中造成交叉污染的机会。依据本技术的一实施方式,此种清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含可转动的滚轮,滚轮具有一轴心。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头,且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内,且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。当滚轮朝一旋转方向转动,刮除单元位于一区域内,区域的第一边界为一通过所述轴心的铅垂面,区域的第二边界是铅垂面沿所述旋转方向旋转45度角所形成的一通过所述轴心的边界面。在本技术一或多个实施方式中,刮除单元具有接触面。接触面接触滚轮,接触面的长轴方向平行滚轮的轴心。在本技术一或多个实施方式中,刮除单元包含本体及包覆层。包覆层包覆本体,且包覆层的硬度小于滚轮的硬度。在本技术一或多个实施方式中,滚轮容纳于抽气口内,使得滚轮于其垂直方向上的投影面积位于抽气口内。在本技术一或多个实施方式中,抽气口为弧面,且弧面的弧度相同于滚轮的弧度。依据本技术的另一实施方式,此种高温制程装置包含腔室、加热器、进气部、排气部及清洁装置。腔室具有内部空间。加热器对内部空间加热。进气部位于内部空间内,且进气部提供气体。排气部位于内部空间内,且排气部排出所述气体。清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含可转动的滚轮。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头,且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内,且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。刮除单元位于一区域内,此区域的第一边界为一通过滚轮轴心的铅垂面,区域的第二边界是以第一边界为依据,而以顺时针方向或逆时针方向旋转45度角所形成的一通过所述轴心的边界面。在本技术一或多个实施方式中,滚轮以顺时针方向转动时,第二边界以第一边界为依据,而以顺时针方向旋转45度角形成边界面。在本技术一或多个实施方式中,滚轮以逆时针方向转动时,第二边界以第一边界为依据,而以逆时针方向旋转45度角形成边界面。在本技术一或多个实施方式中,刮除单元的硬度小于滚轮的硬度。在本技术一或多个实施方式中,刮除单元为刮刀。刮刀具有本体与包覆层,且包覆层位于本体的外表面。本体为氧化铝,包覆层为陶瓷材料。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述,但不作为对本技术的限定。附图说明图1绘示依据本技术一实施方式的清洁装置的侧视图;图2绘示图1的局部的放大示意图;图3绘示图2的侧视图;图4绘示依据本技术一实施方式的刮除单元的立体图;图5绘示依据本技术一实施方式的高温制程装置的侧视图;以及图6绘示图4沿AA线段的剖视图。其中,附图标记10:清洁装置100:输送平台110:滚轮110A:轴心120:端面130:圆周面140:底座200:吸气模块210:抽气泵220:管路230:吸嘴头231:抽气口232:弧面300:刮除单元300A:长轴方向310、311:第一长侧面311A:长轴方向320、321:第二长侧面330:短端面350:本体360:包覆层400:特定区域410:铅垂面420:边界面500:第一净空区600:第二净空区700:高温制程装置710:腔室711:内部空间720:加热器730:进气部740:排气部750:入口760:出口C:载板D1:第一旋转方向D2:第二旋转方向L1、L2:长度M:局部P:投影面积S:基板X、Y、Z:轴具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术技术方案进行详细的描述,以更进一步了解本技术的目的、方案及功效,但并非作为本技术所附权利要求保护范围的限制。以下将以图式揭露本技术的多个实施方式,为明确说明起见,许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而,熟悉本领域的技术人员应当了解到,在本技术部分实施方式中,这些实务上的细节并非必要的,因此不应用以限制本技术。此外,为简化图式起见,一些习知惯用的结构与元件在图式中将以简单示意的方式绘示之。另外,为了便于读者观看,图式中各元件的尺寸并非依实际比例绘示。图1绘示依据本技术一实施方式的清洁装置10的侧视图。图2绘示图1的局部M的放大示意图。图3绘示图2的侧视图。请参阅图1与图2所示,清洁装置10包含输送平台100、吸气模块200与多个刮除单元300。输送平台100包含多个可独立转动的滚轮110。这些滚轮110彼此间隔地并列。每一滚轮110具有一穿过本身的轴心110A(即自转轴,如Y轴),使得滚轮110得以沿其轴心110A朝第一旋转方向D1(图中为顺时针方向)旋转,以依序带动一物体(例如用以承载基板S的载板C)沿X轴的方向移动。于本实施方式中,滚轮110可透过马达与齿轮组来带动旋转,但本技术不以此为限。吸气模块200包含抽气泵210、管路220与多个吸嘴头230。抽气泵210透过管路220分别连接这些吸嘴头230,而每一吸嘴头230的一侧具有抽气口231,且抽气口231面对且位置对应于滚轮110。于本实施方式中,刮除单元300位于吸嘴头230的抽气口231内,并且介于滚轮110与吸嘴头230之间。请参阅图1与图2,刮除单元300是定位于吸嘴头230,且可接触于滚轮110表面,故,当滚轮110朝第一旋转方向D1旋转时,刮除单元300得以刮除滚轮110表面所附着的污染物(如微粒、摩擦生成物等),且被刮除的污染物得以迅速从抽气口231被抽气泵210带走。更具体地,在本实施方式中,刮除单元300被配置于滚轮110与吸嘴头230之间的一特定区域400中,此特定区域400具有相对的第一边界与第二边界。请参阅图2,第一边界为一通过所述轴心110A的铅垂面410。第二边界是以铅垂面410为依据,而以第一旋转方向D1(顺时针方向)旋转45度角所形成的一边界面420,且边界面420亦通过所述轴心110A。于另一实施方式中,滚轮110则以逆时针方向所转动(未提供图示说明),其中第一边界依旧为通过轴心110A的铅垂面410。第二边界则是以铅垂面410为依据,而依逆时针方向旋转45度角所形成的一边界面,且边界面亦通过所述轴心110A。在本实施方式中,滚轮110与抽气口231之间更具有第一净空区500与第二净空区600。特定区域400分别紧邻于第一净空区500与第二净空区600,使得特定区域400位于第一净空区500与第二净空区600之间,且第一净空区500大于第二净空区600。更具体地,第一净空区500的范围为以上述铅垂面410为起点,沿着相反所述第一旋转方向D1的第二旋转方向D2(逆时针方向)开始旋转90度角后所形成的区域。第二净空区600的范围为以上述边界面420为起点,本文档来自技高网...
清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置

【技术保护点】
一种清洁装置,其特征在于,包含:一输送平台,包含一滚轮,且该滚轮具有一轴心;一吸气模块,包含一抽气泵与一吸嘴头,该抽气泵连接该吸嘴头,且该吸嘴头具有一抽气口;以及一刮除单元,该刮除单元位于该抽气口内,且该刮除单元介于该滚轮与该吸嘴头之间,其中,当该滚轮朝一旋转方向转动,该刮除单元位于一区域内,该区域的一第一边界为一通过该轴心的铅垂面,该区域的一第二边界是以该第一边界为依据,而以该旋转方向旋转45度角所形成的一通过该轴心的边界面。

【技术特征摘要】
1.一种清洁装置,其特征在于,包含:一输送平台,包含一滚轮,且该滚轮具有一轴心;一吸气模块,包含一抽气泵与一吸嘴头,该抽气泵连接该吸嘴头,且该吸嘴头具有一抽气口;以及一刮除单元,该刮除单元位于该抽气口内,且该刮除单元介于该滚轮与该吸嘴头之间,其中,当该滚轮朝一旋转方向转动,该刮除单元位于一区域内,该区域的一第一边界为一通过该轴心的铅垂面,该区域的一第二边界是以该第一边界为依据,而以该旋转方向旋转45度角所形成的一通过该轴心的边界面。2.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,该刮除单元具有一接触面,该接触面接触该滚轮,其中该接触面的一长轴方向平行该滚轮的该轴心。3.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,该刮除单元包含:一本体;以及一包覆层,包覆该本体,其中该包覆层的硬度小于该滚轮的硬度。4.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,该滚轮容纳于该抽气口内,使得该滚轮于一垂直方向上的投影面积位于该抽气口内。5.如权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,该抽气口为一弧面,且该弧面的弧度相同于该滚轮的弧度。6.一种高温制程装置,其特征在于,包含:一腔室,具有一内部空间;一加热器,用以对该内部空间加热;一进...

【专利技术属性】
技术研发人员:施宗君陈旗煌魏文勇林佳勋韩建玉
申请(专利权)人:友达光电昆山有限公司友达光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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