一种碳化硅单晶炉用监控系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种监控系统，具体涉及一种单晶炉用监控系统。
技术介绍
目前，在碳化硅单晶炉上还没有比较稳定、控制精确的监控系统，一般都是比较单一的功能模块，不能满足高要求使用场合。
技术实现思路
专利技术目的：本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种控制精确，运行平稳的碳化硅单晶炉用监控系统。技术方案：为了解决上述技术问题，本技术所述的一种碳化硅单晶炉用监控系统，它包括主控制器，在所述主控制器一侧连接设有压力模块和温度模块，它们与报警模块相连，所述报警模块与故障定位模块相连，所述故障定位模块与主控制器相连，在所述主控制器另一侧连接设有远程控制模块和显示模块。在所述主控制器上连接设有能耗计量模块。所述主控制器与备用控制器相连。有益效果：本技术与现有技术相比，其显著优点是：本技术整体结构设置合理，设置主控制器和备用控制器，确保整体运行平稳可靠，压力模块、温度模块与报警模块相连，压力和温度的异常可以及时报警提示，故障定位模块可以快速寻找并且定位故障位置，方便工作人员解决故障，设置远程控制模块，可以实现远程操控，设置能耗计量模块，可以有效节约能耗，本系统控制精确，可以满足各种使用要求。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。如图1所示，本技术所述的一种碳化硅单晶炉用监控系统，它包括主控制器1，在所述主控制器1一侧连接设有压力模块2和温度模块3，它们与报警模块4相连，所述报警模块4与故障定位模块5相连，所述故障定位模块5与主控制器1相连，在所述主控制器1另一侧连接设有远程控制模块6和显示模块7；在所述主控制器1上连...
【技术保护点】
一种碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：它包括主控制器（1），在所述主控制器（1）一侧连接设有压力模块（2）和温度模块（3），它们与报警模块（4）相连，所述报警模块（4）与故障定位模块（5）相连，所述故障定位模块（5）与主控制器（1）相连，在所述主控制器（1）另一侧连接设有远程控制模块（6）和显示模块（7）。
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：它包括主控制器（1），在所述主控制器（1）一侧连接设有压力模块（2）和温度模块（3），它们与报警模块（4）相连，所述报警模块（4）与故障定位模块（5）相连，所述故障定位模块（5）与主控制器（1）相连，在所述主控制器（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁玉平，闫鹏，袁佳斌，
申请(专利权)人：江苏拜尔特光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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