光学测定装置以及光学测定方法制造方法及图纸

光学测定装置的控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于通过由第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光而输出的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，该照射区域是样本随着旋转体的旋转而经过的区域。控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将使光源按照第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到照射区域，并且基于通过使第一检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行测定的光学测定装置以及光学测定方法。
技术介绍
已知一种在树脂膜、半导体基板之类的基材上使用任意的成膜工艺来形成膜(多数情况下为薄膜)的处理。提出了一种对使用这种成膜技术制作出的材料的膜厚之类的特性值进行测定的方法。例如，日本特开2013-019854号公报(专利文献1)公开了以下一种方法：在被调节为与外部相比低湿度的测定室内将振荡器与检测单元连接并使该振荡器振荡，由此测定薄膜的膜厚。另外，还已知一种对使用如上述那样的成膜技术制作出的材料的特性进行光学测定的技术。通过采用光学测定方法，不仅能够测定膜厚，还能够测定透射率/反射率、消光系数、折射率之类的各种光学特性值。专利文献1：日本特开2013-019854号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题作为成膜技术之一，存在以下一种成膜工艺：在旋转体的外周面或旋转平面配置一个或多个工件(以下也称为“样本”。)，并且一边使该旋转体旋转一边使膜生长。在以往的测定方法中，无法在这种成膜工艺中实时地测定样本的光学特性。因此，期望一种能够对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行现场(in-situ)测定的光学测定装置以及光学测定方法。用于解决问题的方案按照本专利技术的某个方面，提供一种对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行测定的光学测定装置。光学测定装置包括：光源；第一检测部，其输出所接收到的光的特性值；第二检测部，其具有比第一检测部的响应速度高的响应速度，输出所接收到的光的强度；以及控制部。控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于通过由第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光而输出的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，该照射区域是样本随着旋转体的旋转而经过的区域。在此，第一定时信息是用于定义与各样本的位置对应地使第一检测部的测定有效化的期间的信息。控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将使光源按照第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到照射区域，并且基于通过使第一检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息。在此，第二定时信息是用于定义从光源产生脉冲状的光的期间的信息。控制部在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，使第一检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化，并且使光源按照第二定时信息周期性地产生脉冲状的光，由此针对各个样本获取从第一检测部输出的特性值。优选的是，控制部根据从第二检测部输出的强度取极大值或极小值的旋转体的位置来决定第一定时信息。更加优选的是，控制部将由光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且除了使第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光以外，还使第一检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光，基于针对同一样本的第一检测部的输出与第二检测部的输出之间的时间上的偏差来校正第一定时信息。优选的是，控制部使由光源产生脉冲状的光的定时为多个且互不相同，并且将第一检测部的输出变得更大的定时决定为第二定时信息。优选的是，还包括位置检测部，该位置检测部用于检测旋转体的预先决定的位置，其中，该位置成为定义第一定时信息和第二定时信息的基准。更加优选的是，使用经过时间来定义第一定时信息和第二定时信息，该经过时间是在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下的从检测出旋转体的预先决定的位置起经过的时间。优选的是，光学测定装置还包括：第一组光纤，其被配置为各自的端面沿旋转体的轴向排列，与光源进行光学连接；以及第二组光纤，其被配置为各自的端面沿旋转体的轴向排列，与第一检测部或第二检测部进行光学连接。按照本专利技术的另一方面，提供一种利用检测部对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行测定的光学测定方法。光学测定方法包含以下步骤：在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于所照射出的该光的反射光或透射光的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，该照射区域是样本随着旋转体的旋转而经过的区域；在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将使光源按照第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到照射区域，并且基于通过使检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息；以及，在旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，使检测部的测定按照第一定时信息周期性地有效化，并且使光源按照第二定时信息周期性地产生脉冲状的光，由此针对各个样本获取从检测部输出的特性值。专利技术的效果根据本专利技术，能够对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行现场测定。附图说明图1是表示包括本实施方式所涉及的光学测定装置的成膜系统的结构的示意图。图2是表示构成本实施方式所涉及的光学测定装置的控制部的结构的示意图。图3是用于说明本实施方式所涉及的第一测定方法的示意图。图4是表示实施本实施方式所涉及的第一测定方法中的预测定(1)时的各部的时间波形的图。图5是用于说明本实施方式所涉及的第一测定方法的预测定(2)中的调整内容的图。图6是用于说明本实施方式所涉及的第一测定方法的预测定(2)中的调整结果的图。图7是表示通过本实施方式所涉及的第一测定方法中的预测定获取的定时信息的一例的图。图8是表示本实施方式所涉及的第一测定方法中的主测定时的各部的时间波形的图。图9是表示通过本实施方式所涉及的第一测定方法中的主测定获取的测定结果的一例的图。图10是表示本实施方式所涉及的第一测定方法中的处理过程的流程图。图11是用于说明本实施方式所涉及的成膜系统中使用的光纤探头的功能的图。图12是表示本实施方式所涉及的成膜系统中使用的光纤探头的截面构造的示意图。图13是用于说明本实施方式所涉及的第二测定方法的示意图。图14是表示从本实施方式所涉及的第二测定方法中的光纤探头照射的入射光的示意图。图15是用于说明本实施方式所涉及的第二测定方法的预测定(1)的内容的图。图16是表示本实施方式所涉及的第二测定方法中的处理过程的流程图。图17是表示本实施方式所涉及的成膜系统中使用的光纤探头的其它截面构造的示意图。图18是表示包括本实施方式所涉及的光学测定装置的成膜系统的结构的示意图。具体实施方式参照附图来详细说明本专利技术的实施方式。此外，对图中的相同或相当的部分标注相同标记且不重复进行其说明。<A.成膜系统的装置结构>首先，对包括本实施方式所涉及的光学测定装置的成膜系统的装置结构进行说明。图1是表示包括本实施方式所涉及的光学测定装置10的成膜系统1的结构的示意图。参照图1，成膜系统1实现在真空环境下在样本2上形成膜的工艺。成膜系统1包括光学测定装置10和真空腔室100。在真空腔室100内配置有旋转滚筒102，该旋转滚筒102是被驱动机构(未图示)驱动进行旋转的旋转体。在旋转滚筒102的侧面配置有一个或多个样本2。样本2既可以规则地配置，也可以不规则地配置。在成膜工艺开始前，从抽吸口110放出真空腔室100的内部存在的气体，维持为由压力低于大气压(真空腔室100外的压力)的气体填充的状态(工业意义上的真空状态)。在该状态下，一边使旋转滚筒102以预先决定的固定的旋转速度(规定旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学测定装置，对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行测定，该光学测定装置具备：光源；第一检测部，其输出所接收到的光的特性值；第二检测部，其具有比所述第一检测部的响应速度高的响应速度，输出所接收到的光的强度；以及控制部，其中，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由所述光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于通过由所述第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光而输出的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，所述照射区域是所述样本随着所述旋转体的旋转而经过的区域，所述第一定时信息是用于定义与各样本的位置对应地使所述第一检测部的测定有效化的期间的信息，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为所述规定值的状态下，将使所述光源按照所述第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到所述照射区域，并且基于通过使所述第一检测部的测定按照所述第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息，其中，所述第二定时信息是用于定义从所述光源产生脉冲状的光的期间的信息，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为所述规定值的状态下，使所述第一检测部的测定按照所述第一定时信息周期性地有效化，并且使所述光源按照所述第二定时信息周期性地产生脉冲状的光，由此针对各个样本获取从所述第一检测部输出的特性值。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学测定装置，对配置于旋转体的一个或多个样本的光学特性进行测定，该光学测定装置具备：光源；第一检测部，其输出所接收到的光的特性值；第二检测部，其具有比所述第一检测部的响应速度高的响应速度，输出所接收到的光的强度；以及控制部，其中，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为规定值的状态下，将由所述光源产生的固定强度的光照射到照射区域，并且基于通过由所述第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光而输出的强度随时间的变化来获取第一定时信息，其中，所述照射区域是所述样本随着所述旋转体的旋转而经过的区域，所述第一定时信息是用于定义与各样本的位置对应地使所述第一检测部的测定有效化的期间的信息，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为所述规定值的状态下，将使所述光源按照所述第一定时信息周期性地产生的脉冲状的光照射到所述照射区域，并且基于通过使所述第一检测部的测定按照所述第一定时信息周期性地有效化而输出的结果来获取第二定时信息，其中，所述第二定时信息是用于定义从所述光源产生脉冲状的光的期间的信息，所述控制部在所述旋转体的旋转速度被控制为所述规定值的状态下，使所述第一检测部的测定按照所述第一定时信息周期性地有效化，并且使所述光源按照所述第二定时信息周期性地产生脉冲状的光，由此针对各个样本获取从所述第一检测部输出的特性值。2.根据权利要求1所述的光学测定装置，其特征在于，所述控制部根据从所述第二检测部输出的强度取极大值或极小值的所述旋转体的位置来决定所述第一定时信息。3.根据权利要求2所述的光学测定装置，其特征在于，所述控制部将由所述光源产生的固定强度的光照射到所述照射区域，并
\t且除了使所述第二检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光以外，还使所述第一检测部接收所照射出的该光的反射光或透射光，基于针对同一样本的所述第一检测部的输出与所述第二检测部的输出之间的时间上的偏差来校正所述第一定时信息。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：水口勉，
申请(专利权)人：大塚电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP