一种X射线感测器及其制作方法技术

本发明专利技术关于一种X射线感测器及其制作方法。X射线感测器包括感测基板及铅玻璃基板。感测基板上设置有复数个感测单元。铅玻璃基板具有相对的第一面与第二面，第一面固定于感测基板上，第二面上具有与复数个感测单元一一对应的复数个凹槽，铅玻璃基板还包括：第一反射层，该第一反射层设置于复数个凹槽的侧壁；闪烁体荧光粉，该闪烁体荧光粉填充于该复数个凹槽中；以及第二反射层，该第二反射层设置于该第二面上。本发明专利技术的X射线感测器通过在闪烁体荧光粉与复数个感测单元之间增加铅玻璃的方式，可有效地阻隔X射线对于复数个感测单元的损伤；并且由于铅玻璃具有较高的穿透率及高折射率，还可有效地减少因光散射导致的光学干扰。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种X射线感测器及其制作方法，尤其涉及一种低损伤的X射线感测器及其制作方法。
技术介绍
X射线影像是医疗诊断的一个重要工具。数字X射线成像正日益取代传统的摄影X射线胶片。数字X射线成像有两个重要的参考指标，分别为影响影像质量的敏感度与分辨率。闪烁体的厚度越厚越有利于增加敏感度；但闪烁体发出的可见光会造成光学干扰，影像的分辨率会下降。为解决上述问题，业内将闪烁体做成微结构的方式来提升影像质量的敏感度与分辨率，请参照图1。X射线感测器100包括感测基板110、复数个感测单元120、粘着层130、玻璃基板140、反射层150、复数个闪烁体160以及白色树脂(例如聚对苯二甲酸乙二醇酯)层170。复数个闪烁体160与复数个感测单元120一一对应，不会因为光散射而产生光学干扰。但是X射线经过闪烁体160时，只会被闪烁体160吸收一部分，而相当大的一部分X射线会直接照射到复数个感测单元120上，这样会造成复数个感测单元120的损伤。
技术实现思路
为解决上述X射线直接照射感测单元导致感测单元受损的问题，本专利技术提供一种X射线感测器。上述的X射线感测器包括：感测基板，其上设置有复数个感测单元；以及铅玻璃基板，该铅玻璃基板具有相对的第一面与第二面，该第一面固定于该感测基板上，该第二面上具有与该复数个感测单元一一对应的复数个凹槽，该铅玻璃基板还包括：第一反射层，该第一反射层设置于该复数个凹槽的侧壁；闪烁体荧光粉，该闪烁体荧光粉填充于该复数个凹槽中；以及第二反射层，该第二反射层设置于该第二面上。作为可选的技术方案，该复数个凹槽的底面与该第一面的距离小于100微米。作为可选的技术方案，该闪烁体荧光粉具有4.5-5.0wt％的硫氧化钆。作为可选的技术方案，该闪烁体荧光粉的高度范围为50-300微米。作为可选的技术方案，该第一反射层的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬，该第二反射层的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬。作为可选的技术方案，该第一反射层的厚度范围为100-300微米，该第二反射层的厚度范围为100-300微米。作为可选的技术方案，该X射线感测器还包括：高分子膜，该高分子膜覆盖于该第二反射层上；或者该高分子膜包覆该铅玻璃基板；或者该高分子膜包覆该铅玻璃基板及该感测基板。作为可选的技术方案，该高分子膜的材质为环氧基树脂、丙烯酸基树脂、聚酰亚胺树脂或者硅基树脂。本专利技术还提供一种X射线感测器的制作方法，该制作方法包括：提供感测基板，该感测基板具有复数个感测单元；提供铅玻璃基板，该铅玻璃基板具有相对的第一面与第二面；固定该第一面与该感测基板；于该第二面上镭射形成与该复数个感测单元一一对应的复数个凹槽；于该复数个凹槽的侧壁斜角蒸镀第一反射层；于该复数个凹槽填充闪烁体荧光粉；于该第二面蒸镀第二反射层；以及于该第二反射层包覆高分子层。作为可选的技术方案，该闪烁体荧光粉的填充方式为刮刀方式。相比于现有技术，本专利技术的X射线感测器通过在闪烁体荧光粉与复数个感测单元之间增加铅玻璃的方式，可有效地阻隔X射线对于复数个感测单元的损伤；并且由于铅玻璃具有较高的穿透率及高折射率，还可有效地减少因光散射导致的光学干扰。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1为现有技术的X射线感测器的示意图；图2为本专利技术的X射线感测器的示意图。具体实施方式请参照图2，图2为本专利技术的X射线感测器的示意图。X射线感测器200包括感测基板210及铅玻璃基板220。感测基板210上设置有复数个感测单元211。铅玻璃基板220具有相对的第一面2201与第二面2202。第一面2201固定于感测基板210上，例如，在本实施方式中，X射线感测器200还包括粘着层230，第一面2201可通过粘着层230固定于感测基板210上，当然，在其他实施方式中，也可为其他固定方式，只需满足能将第一面2201固定于感测基板210上即可。铅玻璃基板220的第二面2202上具有与复数个感测单元211一一对应的复数个凹槽221。铅玻璃基板220还包括第一反射层222、闪烁体荧光粉223以及第二反射层224。第一反射层222设置于复数个凹槽221的侧壁，闪烁体荧光粉223填充于复数个凹槽221中；第二反射层224设置于第二面2202上，第二反射层224用以提高亮度。凹槽(非贯穿槽)221形成于第二面2202上，即凹槽221的底面并不会接触第一面2201，也就是说闪烁体荧光粉223填充完毕后，闪烁体荧光粉223与复数个感测单元211间隔有一定厚度的铅玻璃，如此，由于铅的原子序数较大，上述的一定厚度的铅玻璃可对未被闪烁体荧光粉223吸收的X射线形成有效的阻隔，从而减少X射线对于复数个感测单元211的损伤。在本实施方式中，复数个凹槽221的底面与第一面2201的距离小于100微米，如此，再加上铅玻璃的较高的穿透率及高折射率，可有效地减少因光散射导致的光学干扰。在本实施方式中，闪烁体荧光粉223具有4.5-5.0wt％的硫氧化钆。作为闪烁体荧光粉223的溶剂混合物，可选择具有45-50wt％的去离子水、40-45wt％的异丙醇、1.5wt％的表面活性剂、4.5-5.0wt％的聚乙烯醇的混合物，当然在其他实施方式中，溶剂混合物也可不同。在本实施方式中，闪烁体荧光粉223的高度范围为50-300微米。在本实施方式中，第一反射层222的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬，第二反射层224的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬，第一反射层222与第二反射层224的材质可相同或不同，端视实际需求而定。在本实施方式中，第一反射层222的厚度范围为100-300微米，第二反射层224的厚度范围为100-300微米，第一反射层222与第二反射层224的厚度可相同或不同，端视实际需求而定。在本实施方式中，X射线感测器200还包括高分子膜(未示出)，高分子膜覆盖于第二反射层224上；或者高分子膜包覆铅玻璃基板220；又或者高分子膜同时包覆铅玻璃基板220及感测基板210。高分子膜用以对X射线感测器200形成有效的保护。高分子膜的材质可以为环氧基树脂、丙烯酸基树脂、聚酰亚胺树脂或者硅基树脂。此外，本专利技术还提供上述X射线感测器200的制作方法，制作方法包括：提供感测基板210，感测基板210具有复数个感测单元211；提供铅玻璃基板220，铅玻璃基板220具有相对的第一面2201与第二面2202；固定第一面2201与感测基板210；于第二面2202上镭射形成与复数个感测单元211一一对应的复数个凹槽221；于复数个凹槽221的侧壁斜角蒸镀第一反射层222；于复数个凹槽中填充闪烁体荧光粉223；于第二面2202蒸镀第二反射层224；以及于第二反射层224上包覆高分子层。上述闪烁体荧光粉223的填充方式可采用刮刀的填充方式。实际操作中，固定第一面2201与感测基板210这一步骤可与镭射凹槽221、斜角蒸镀第一反射层222、填充闪烁体荧光粉223及蒸镀第二反射层224的顺序互换，使用者可根据实际需要自行选择。综上所述，本专利技术的X射线感测器通过在闪烁体荧光粉与复数个感测单元之间增加铅玻璃的方式，可有效地阻隔X射线对于复数个感测单元的损伤；并且由于铅玻璃具有较高的穿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线感测器，其特征在于，该X射线感测器包括：感测基板，其上设置有复数个感测单元；以及铅玻璃基板，该铅玻璃基板具有相对的第一面与第二面，该第一面固定于该感测基板上，该第二面上具有与该复数个感测单元一一对应的复数个凹槽，该铅玻璃基板还包括：第一反射层，该第一反射层设置于该复数个凹槽的侧壁；闪烁体荧光粉，该闪烁体荧光粉填充于该复数个凹槽中；以及第二反射层，该第二反射层设置于该第二面上。

【技术特征摘要】
1.一种X射线感测器，其特征在于，该X射线感测器包括：感测基板，其上设置有复数个感测单元；以及铅玻璃基板，该铅玻璃基板具有相对的第一面与第二面，该第一面固定于该感测基板上，该第二面上具有与该复数个感测单元一一对应的复数个凹槽，该铅玻璃基板还包括：第一反射层，该第一反射层设置于该复数个凹槽的侧壁；闪烁体荧光粉，该闪烁体荧光粉填充于该复数个凹槽中；以及第二反射层，该第二反射层设置于该第二面上。2.如权利要求1所述的X射线感测器，其特征在于，该复数个凹槽的底面与该第一面的距离小于100微米。3.如权利要求1所述的X射线感测器，其特征在于，该闪烁体荧光粉具有4.5-5.0wt％的硫氧化钆。4.如权利要求1所述的X射线感测器，其特征在于，该闪烁体荧光粉的高度范围为50-300微米。5.如权利要求1所述的X射线感测器，其特征在于，该第一反射层的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬，该第二反射层的材质为铝、银、铜、镍、钛、镁、铂、金或铬。6.如权利要求1所述的X射线感...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈德铭，赖颖辉，黄胜国，王腾岳，李仁智，
申请(专利权)人：友达光电昆山有限公司，友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32