一种晶圆烘干机制造技术

技术编号:14329537 阅读:24 留言:0更新日期:2017-01-01 19:54
本实用新型专利技术涉及晶圆清洗烘干技术领域,具体公开了一种晶圆烘干机,包括机架和设于机架上的烘干室,所述烘干室的上方设有热风送风装置,用于向烘干室内输送热风,所述机架上还设有动力传送带,所述动力传送带贯穿烘干室,用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室,还包括冷风送风装置,固定在所述烘干室的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带,所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩,固定于所述冷风送风装置上,所述导流罩上设有气体导流孔。本实用新型专利技术能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低,不会烫伤操作人员,方便操作人员取片,提高效率。

一种晶圆烘干机

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆清洗烘干

技术介绍
晶圆烘干机在使用过程中温度较高(烘干室内温度在75-80度之间),烘干室出料后的硅片及花篮篮筐温度较高,能够导致操作人员烫伤。卸料时操作人员只穿戴聚乙烯手套不能直接操作,必须在聚乙烯手套内再穿戴一较厚的隔热手套,因而影响操作人员手感,不易掌握力度,时有破片现象发生。同时聚乙烯手套因热度较高损坏较快,造成浪费和成本增大。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆烘干机,能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低,不会烫伤操作人员,方便操作人员取片,提高效率。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种晶圆烘干机,包括机架和设于机架上的烘干室,所述烘干室的上方设有热风送风装置,用于向烘干室内输送热风,所述机架上还设有动力传送带,所述动力传送带贯穿烘干室,用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室,还包括冷风送风装置,固定在所述烘干室的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带,所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩,固定于所述冷风送风装置上,所述导流罩上设有气体导流孔。所述导流罩包括弧形面板,所述气体导流孔沿弧形面板的弧度自上而下成排布置在弧形面板上。所述气体导流孔为矩形。采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术冷风送风装置通过导流罩导流对动力传送带上的晶圆及花篮喷吹冷气降温,能够即时快速的降低晶圆和花篮的温度,避免温度较高烫伤操作人员,同时方便操作人员取片,能够提高取片效率,不会导致传送带上物料积压,使烘干机的工作能力提高。经实践,应用本技术后操作人员用聚乙烯手套的损耗率大幅降低,节约成本。附图说明图1是本技术晶圆烘干机的主视图;图2是图1所示晶圆烘干机的右视图。其中,1、机架;2、烘干室;3、动力传送带;4、花篮;5、冷风送风装置;6、热风送风装置;7、导流罩;8、气体导流孔。具体实施方式为了解决晶圆烘干机出料温度较高导致卸料取片不便的技术问题,本技术公开了一种晶圆烘干机,通过采用在出料口用冷风吹扫晶圆及花篮的技术手段,能够即时使晶圆和花篮降温,方便操作人员卸料,提高效率。为了能够更加清楚地描述本技术,下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。一种晶圆烘干机,包括机架1和设于机架1上的烘干室2,烘干室2的上方设有热风送风装置6,用于向烘干室2内输送热风,机架1上还设有动力传送带3,动力传送带3贯穿烘干室2,用于传送承载晶圆的花篮4穿过烘干室2,还包括冷风送风装置5,固定在烘干室2的出口上部外侧,其送风口冲向烘干室2出口外侧的动力传送带3,冷风送风装置5的送风口外侧设有导流罩7,固定于冷风送风装置5上,导流罩7上设有气体导流孔8。冷风送风装置5的送风口斜向布置,并由与之固定的导流罩7封闭,冷风经导流罩7上的气体导流孔8吹出,吹向动力传送带3,承载晶圆的花篮4经烘干室2出料后,在动力传送带3上传送同时被冷风吹扫,温度降低。导流罩7包括弧形面板,气体导流孔8沿弧形面板的弧度自上而下成排布置在弧形面板上。弧形面板增大冷风气流的吹扫面积,弧形面板上部的气体导流孔8吹导流冷风气流扫动力传送带3的远端,弧形面板下部的气体导流孔8导流冷风气流吹扫动力传送带3的近端,使冷风气流沿出料方向能够覆盖较长的动力传送带3,延长冷风对晶圆的冷却时间,避免冷风短时、大流量的对晶圆吹扫,防止晶圆温降过快,同时起到良好的降温效果。气体导流孔8为矩形,沿导流罩7的弧度自上而下成排布置。矩形的长边与花篮4内晶圆垂直,使得冷风气流不会直接喷吹在晶圆面上,由晶圆侧方吹过,避免晶圆因风力损伤。以上对本技术进行了详细介绍,本技术中应用具体个例对本技术的实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术,应当指出,对于本
的技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可对本技术进行若干改进,这些改进也落入本技术权利要求的保护范围内。本文档来自技高网
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一种晶圆烘干机

【技术保护点】
一种晶圆烘干机,包括机架(1)和设于机架(1)上的烘干室(2),所述烘干室(2)的上方设有热风送风装置(6),用于向烘干室(2)内输送热风,所述机架(1)上还设有动力传送带(3),所述动力传送带(3)贯穿烘干室(2),用于传送承载晶圆的花篮(4)穿过烘干室(2),其特征在于:还包括冷风送风装置(5),固定在所述烘干室(2)的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室(2)出口外侧的动力传送带(3),所述冷风送风装置(5)的送风口外侧设有导流罩(7),固定于所述冷风送风装置(5)上,所述导流罩(7)上设有气体导流孔(8)。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘干机,包括机架(1)和设于机架(1)上的烘干室(2),所述烘干室(2)的上方设有热风送风装置(6),用于向烘干室(2)内输送热风,所述机架(1)上还设有动力传送带(3),所述动力传送带(3)贯穿烘干室(2),用于传送承载晶圆的花篮(4)穿过烘干室(2),其特征在于:还包括冷风送风装置(5),固定在所述烘干室(2)的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员:王会敏何京辉李立伟张立涛张稳尚玉晓
申请(专利权)人:邢台晶龙电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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