【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微电子机械系统的
,特别是基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统。
技术介绍
在微波研究中,微波功率是表征微波信号的一个重要参数。在微波信号的产生、传输及接收各个环节的研究中,微波功率的检测是必不可少的。最常见的微波功率检测器是基于热电转换原理的微波功率传感器,它把微波信号通过负载电阻转化成热,然后再利用热电堆的Seebeck效应把此热转换成与待测微波功率成正比的直流电压输出。传统微波功率传感器的缺点在于测量的信号幅度比较小,测量幅度较大的信号需要外置的耦合器或者衰减器。近20多年来,随着MEMS技术的飞速发展,对MEMS悬臂梁结构进行了深入的研究,使得采用MEMS悬臂梁结构实现微波功率检测成为可能。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,而提供一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统,可对微波信号的功率进行精确测量,测量信号的幅度范围大、而且便于集成。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案:根据本技术提出的一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统,包括衬底,衬底上设有共面波导CPW信号线,CPW信号线的两侧分别设有CPW地线,每根CPW地线旁各设有电容检测第一端口和电容检测第二端口,每根CPW地线上均设有2个桥墩,每个桥墩上分别设有一个MEMS悬臂梁,这4个MEMS悬臂梁的长度是不同的,MEMS悬臂梁的下方设有传感电极,传感电极与其同侧的电容检测第一端口之间设有膜桥,膜桥的下方设有连接线,传感电极通过连接线与其同侧的电容检测第一端口连接,CPW地线与其同侧的电容检测第二端口连接,连接线上、MEMS悬臂 ...
【技术保护点】
一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统,其特征在于,包括衬底,衬底上设有共面波导CPW信号线,CPW信号线的两侧分别设有CPW地线,每根CPW地线旁各设有电容检测第一端口和电容检测第二端口,每根CPW地线上均设有2个桥墩,每个桥墩上分别设有一个MEMS悬臂梁,这4个MEMS悬臂梁的长度是不同的,MEMS悬臂梁的下方设有传感电极,传感电极与其同侧的电容检测第一端口之间设有膜桥,膜桥的下方设有连接线,传感电极通过连接线与其同侧的电容检测第一端口连接,CPW地线与其同侧的电容检测第二端口连接,连接线上、MEMS悬臂梁下方的CPW信号线上、传感电极上均设有绝缘介质层。
【技术特征摘要】
1.一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统,其特征在于,包括衬底,衬底上设有共面波导CPW信号线,CPW信号线的两侧分别设有CPW地线,每根CPW地线旁各设有电容检测第一端口和电容检测第二端口,每根CPW地线上均设有2个桥墩,每个桥墩上分别设有一个MEMS悬臂梁,这4个MEMS悬臂梁的长度是不同的,MEMS悬臂梁的下方设有传感电极,传感电极与其同侧的电容检测第一端口之间设有膜桥,膜桥的下方设有连接线,传感电极通过连接线与其同侧的电容检测第一端口连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:高波,武乐乐,张艺菲,王德波,
申请(专利权)人:南京邮电大学,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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