用于侧向检测的泄露传感器制造技术

一种用于侧向检测的泄露传感器，其包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成的；以及传感器层，通过将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物按照预定的图案涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部。所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。因此，即使传感器没有恰好位于泄露液体下方，传感器也会与液体接触，并由此能够检测液体泄漏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能够通过侧向检测来检测液体泄漏的泄露传感器，且尤其涉及如下的用于侧向检测的泄露传感器，其中，即使没有恰好位于泄漏液体下方，该泄露传感器也与掉落并流到地面上的液体接触，并由此检测液体泄漏。
技术介绍
通常，在半导体制造工艺中使用许多化学物质。例如，在半导体制造工艺中使用清洁溶液、感光溶液、显影溶液及刻蚀溶液，其中，在晶片的切割与抛光工艺之后的清洁操作中使用清洁溶液，在晶片的感光工艺中使用感光溶液，在晶片的显影工艺中使用显影溶液，并且在晶片的刻蚀工艺中使用刻蚀溶液。这些化学物质经由输送管被输送到用于执行各个工艺的现场位置。由于输送管的缺陷或劣化，化学物质可能泄漏到输送管外部。由于泄露的化学物质对半导体制造现场中的其它器件或部件具有不利影响，因此有必要检测输送管中的泄露并快速采取相应措施。在检测输送管中的泄漏物的方法中，将正性(+)电线与负性(-)电线并联设置，并将吸收剂设置于电线之间，然后测量由泄露的化学物质引起的电阻变化。使用这种方法的传感器被称作线型泄露传感器。这里，在线型泄露传感器的泄漏物检测方法中，正性(+)电线(或电导体)及负性(-)电线(或电导体)设置在从输送管延伸并且收集从输送管泄露的化学物质的排水管处，并由此测量是否发生泄漏。韩国专利申请公开第10-2007-005234号公开了线型泄露传感器的示例。同时，还存在有区域型泄露传感器，该区域型传感器具有比线型泄露传感器更宽的泄漏检测区域。区域型泄露传感器通过将多条(+)导线及(-)导线布置成相互交叉或将一对(+)导线及(-)导线布置成Z形图案(zigzag pattern)来形成预定的检测区域。日本专利申请公开第1989-171340号公开了这种区域型泄露传感器的示例。这里，区域型泄露传感器与落下的泄露液体接触，并由此能够检测液体泄漏。然而，在这种检测方法中，泄露传感器应当直接布置在预期出现泄漏的部位的下方，并且当泄露液体没有下落在泄露传感器的上表面时，则出现不能检测到泄漏的问题。即，传统的区域型泄露传感器的问题在于，在泄漏传感器正好位于液体泄漏位置的情况之外的情况下，除非泄漏并流到地面上的液体的量足以到达所述泄漏传感器的上表面，否则不能检测到泄漏的发生。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供用于侧向检测的泄露传感器，即使没有恰好位于泄露液体下方，其也能够与流到地面上的液体接触，并由此能够检测液体泄漏。根据本专利技术的方面，提供一种泄露传感器，所述泄露传感器包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成；以及传感器层，通过将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物按照预定的图案涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部，其中，所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。由尤其是氟基树脂的树脂形成的保护层可连接到所述传感器层的上表面。所述泄露传感器可包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过至少一个所述传感器模块，使得所述至少一个传感器模块的所述传感器层横向地暴露于外部，并且布置在所述基底层下方的所述传感器层向上暴露于外部，以由此形成所述泄露传感器的泄露检测部；并且其中，在最底部的所述传感器模块中，未形成所述通槽。泄露传感器可以包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过所述保护层和所有的所述传感器模块，使得所述传感器模块横向地暴露于外部，以形成所述泄露传感器的泄露检测部。具有预定区域的容纳槽可形成在最下部的所述传感器模块的下表面处，并且用于将所述基底层粘附到另一结构或底部的胶带粘附到所述容纳槽。所述基底层和所述传感器层可被以预定温度塑性加工预定的时间以形成所述传感器模块，并且所述传感器模块连接到另一传感器模块并彼此上下布置。可通过以所述预定温度将所述传感器模块塑性加工所述预定的时间来执行所述传感器模块之间的连接。所述保护层的边缘可比所述传感器层更加向外地延伸。在下面的附图及说明书中说明一个以上的实施例的细节。从说明书、图及权利要求书中，其它特征将变得明显。附图说明将参照下面的附图来详细说明实施例，在附图中，相同的附图标记表示相同的元件，并且其中：图1是示意性示出根据本专利技术第一实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；图2是根据本专利技术第一实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的部分剖开的分解立体图；图3是示意性示出根据本专利技术第二实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；图4是示意性示出根据本专利技术第三实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；图5是根据本专利技术第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的剖开的分解立体图，并且图示出了上表面泄漏检测装置；图6是根据本专利技术第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的剖开的分解立体图，并且与图5的上表面泄漏检测装置不同的上表面泄漏检测装置；及图7是示意性示出根据本专利技术第四实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图。具体实施方式现在将详细参照本专利技术的实施方式，且在附图中示出这些实施方式的示例。参照图1和图2，根据本专利技术第一实施例的用于侧向检测的泄露传感器包括具有对化学剂的耐蚀性的基底层110以及同样具有对化学剂的耐蚀性的传感器层120。通过将板状结构浸泡在树脂溶液(特别是氟基树脂溶液)中预定的时间来形成基底层110。这里，板状结构是形成基底层110的框架的结构，且可由网孔状玻璃纤维形成。或者，基底层110可形成为由树脂(特别是氟基树脂)形成的板状结构。传感器层120包括具有预定区域的泄露检测部，泄漏检测部是通过将氟基液态树脂与导电材料进行混合并接着根据预定的图案将它们的混合物涂覆或印刷到基底层110的上表面上而形成的。这里，在传感器层120的图案中，将正性(+)导线与负性(-)导线交替地布置成Z形状，并由此形成具有预定区域的检测区域。在基底层110和传感器层120中使用的氟基树脂可以是具有优异的耐化学腐蚀性和耐热性的例如乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、或全氟酸(PFA)等。这里，形成在传感器层120处的泄露检测部可以形成在传感器层120的一个表面的整个部分上。也就是说，传感器层120的泄露检测部形成在传感器层120的背对基底层110的上表面的一个表面上。此外，泄露检测部还可形成在传感器层120的侧面上。因此，根据本专利技术的用于侧向检测的泄露传感器既能够检测下落在传感器层120的上部上的泄漏液体，也能够检测下落在地面上并沿传感器层120的侧向地流向传感器层120的泄露液体。基底层110和传感器层120可被以预定温度塑性加工预定的时间，并接着进行连接以形成一个传感器模块A。为了形成泄露传感器，传感器模块A连接到另一个具有彼此上下布置的基底层和传感器层的传感器模块。此时，可以以与基底层110与传感器层120之间的连接相同的方式，通过以预定温度塑性加工预定的时间来完成传感器模块之间的连接。说明书中提供的附图示出了如下泄露传感器，其中，传感器模块A传感器模块B这两者连接在一起。然而，必要时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于侧向检测的泄露传感器，其包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成；以及传感器层，通过按照预定的图案将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部，其中，所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。

【技术特征摘要】
2015.03.26 KR 10-2015-00425631.一种用于侧向检测的泄露传感器，其包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成；以及传感器层，通过按照预定的图案将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部，其中，所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。2.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，由尤其是氟基树脂的树脂形成的保护层连接到所述传感器层的上表面。3.根据权利要求2所述的用于侧向检测的泄露传感器，其包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过至少一个所述传感器模块，使得所述至少一个传感器模块的所述传感器层横向地暴露于外部，并且布置在所述至少一个传感器模块的所述基底层下方的所述传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：李在熙，
申请(专利权)人：FLOWNIX株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR