靶材的治具及吊装系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种靶材的治具及吊装系统，所述靶材固定在靶材基座上，所述治具与所述靶材基座可拆卸连接，所述治具上设置有多个吊装工位，多个所述吊装工位分别为一正多边形的所有不同顶点，所述正多边形的中心与治具的重心重合，使得通过吊装机构移动治具时治具能够保持平衡，因此，治具和靶材基座易于对准，通过治具吊起靶材基座时不易产生磕碰现象，还避免了由于吊装系统受力不均带来的安全隐患。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材的吊装领域，尤其是一种靶材的治具及吊装系统。
技术介绍
在制造集成电路、显示面板、磁盘等期间，广泛地使用溅射(Sputter)以在诸如半导体晶圆、玻璃基板和树脂盘等基板上形成薄膜。溅射是粒子与靶材的表面碰撞、从而粒子从该表面射出并沉积在基板上以形成薄膜的成膜技术。通常，靶材固定于一靶材基座上，靶材基座通过冷却部件冷却，从而冷却靶材。靶材基座还用作对靶材施加电压的电极。在为Sputter设备更换靶材时，需要采用吊装系统吊走旧靶材并更换上新靶材，吊装系统通常包括治具和吊装机构，吊装机构通过治具吊装靶材。目前，治具的中心处设置有一个吊钩，吊装机构连接在吊钩上，故在通过吊装机构移动治具时，治具本身存在倾斜的情况，治具难以平衡。由于治具的不平衡，使得治具和靶材难以对准，难以通过螺丝定位治具和靶材，可能会出现螺纹拧坏的情况；靶材固定在靶材基座上，靶材基座中固定有冷却部件(如降温水管)，靶材基座通常采用金属材料(例如，铜板)，由于治具不平衡也使得吊起的靶材基座及靶材难以平衡，靶材基座容易产生磕碰现象并变形，因此会降低承载底座中降温水管的密封性，不利于维持该Sputter设备的真空环境；由于治具不平衡还会使得吊装机构(例如，天车)受力不均，在吊装机构处会产生较大的安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材的治具及吊装系统，以解决现有靶材的治具在吊装过程中不平衡的问题。为了达到上述目的，本技术提供了一种靶材的治具，所述靶材固定在靶材基座上，所述治具与所述靶材基座可拆卸连接，所述治具上设置有多个吊装工位，多个所述吊装工位分别为一正多边形的所有不同顶点，所述正多边形的中心与所述治具的重心重合。进一步地，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊钩。进一步地，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊环。进一步地，所述吊装工位的数量为四个。进一步地，所述治具通过第二连接单元与所述靶材基座可拆卸连接。进一步地，所述靶材基座上还设置有第一连接单元，所述第一连接单元和第二连接单元的数量相同；所述第一连接单元包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件连接在所述靶材基座上，所述第二连接件固定在所述第一连接件上；所述第二连接单元包括第三连接件、第四连接件和第五连接件，所述第三连接件通过所述第五连接件可拆卸连接在所述治具及靶材基座上，所述第四连接件固定在所述第三连接件上，所述第四连接件上具有孔；所述第二连接件穿过所述治具及所述孔。进一步地，所述第一连接件通过螺丝或螺栓结构与所述靶材基座可拆卸连接，所述第五连接件为螺丝或螺栓结构。进一步地，所述治具包括多层治具单元，任一层所述治具单元均为规则图形，多层所述治具单元层叠设置，相邻两层所述治具单元固定连接，所述吊装工位设置在任一层所述治具单元上，底层的所述治具单元与所述靶材基座可拆卸连接。本技术还提供了一种靶材的吊装系统，包括：所述的靶材的治具；以及用于吊装所述治具的吊装机构。进一步地，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊钩，所述吊装系统还包括吊环和连接绳，所述吊装机构依次通过所述连接绳及吊环与所述吊装工位处的吊钩连接；或者，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊环，所述吊装系统还包括吊钩和连接绳，所述吊装机构依次通过所述连接绳及吊钩与所述吊装工位处的吊环连接。本技术提供的一种靶材的治具及吊装系统，在治具上设置多个吊装工位，且使得吊装工位形成的正多边形的中心与治具的中心重合，使得通过吊装机构移动治具时治具能够保持平衡，因此，治具和靶材基座易于对准，通过治具吊起靶材基座时不易产生磕碰现象，还避免了由于吊装机构受力不均带来的安全隐患。附图说明图1为本技术实施例一提供的治具的俯视图；图2为本技术实施例一提供的第一连接单元的立体图；图3为本技术实施例一提供的第二连接单元的立体图；图4为本技术实施例二提供的治具的俯视图；图5为本技术实施例二提供的治具的侧视图。图中，1：治具，11：吊装工位，12：第一治具单元，13：第二治具单元，2：第一连接单元，21：第三连接件，22：第四连接件，221：孔，3：第二连接单元，31：第一连接件，32：第二连接件。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。实施例一本技术提供了一种靶材的治具，所述靶材固定在靶材基座(未图示)上，所述治具1与所述靶材基座可拆卸连接，所述治具1上设置有多个吊装工位11，多个所述吊装工位11分别为一正多边形的所有不同顶点，所述正多边形的中心与所述治具1的重心重合。吊装工位用于与吊装机构(例如，天车)匹配，吊装机构连接在吊装工位上，并吊升靶材基座及靶材。吊装工位可以有多种结构。作为非限制性的两个例子，例如，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊钩；或者，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊环。在本实施例中，请参考图1，所述吊装工位11的数量为四个，该正多边形为正方形，治具1为单层结构，治具1为规则图形(例如，矩形)。进一步地，所述治具1通过第一连接单元2与所述靶材基座可拆卸连接。在本实施例中，所述靶材基座上还连接有第二连接单元3，所述第一连接单元2和第二连接单元3的数量相同，且均为多个(例如四个)；所述第二连接单元3包括第一连接件31和第二连接件32，所述第一连接件31连接在所述靶材基座上，所述第二连接件32固定在所述第一连接件31上；所述第一连接单元2包括第三连接件21、第四连接件22和第五连接件(未图示)，所述第三连接件21通过所述第五连接件可拆卸连接在所述治具1及靶材基座上，所述第四连接件22固定在所述第三连接件21上，所述第四连接件22上具有孔221；所述第二连接件32穿过所述治具1及所述孔221。其中，设置第二连接单元3主要起到定位的作用，便于用户对准治具1以及靶材基座。第一连接单元2和吊装工位11可以位于治具1的同一侧，也可以位于治具1相对的两侧。在本实施例中，第一连接单元2和吊装工位11位于治具1的同一侧，第二连接件32先穿过治具1再穿过孔221，第二连接件32和第四连接件22的孔221匹配实现了对准定位。进一步地，所述第一连接件31通过螺丝或螺栓结构与所述靶材基座可拆卸连接，所述第五连接件为螺丝或螺栓结构，但均不限于此。本技术还提供了一种靶材的吊装系统，包括所述的靶材的治具1，且还包括用于吊装所述治具1的吊装机构。进一步地，当每个所述吊装工位11处固定有相同数量及尺寸的吊钩时，所述吊装系统还包括吊环和连接绳，所述吊装机构依次通过所述连接绳及吊环与所述吊装工位处的吊钩连接；当每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊环时，所述吊装系统还包括吊钩和连接绳，所述吊装机构依次通过所述连接绳及吊钩与所述吊装工位处的吊环连接。实施例二请参考图4～5，在实施例二中，与实施例一不同，所述治具1包括多层治具单元，任一层所述治具单元均为规则图形，多层所述治具单元层叠设置，相邻两层所述治具单元固定连接，所述吊装工位11设置在任一层所述治具单元上，底层(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材的治具，所述靶材固定在一靶材基座上，所述治具与所述靶材基座可拆卸连接，其特征在于，所述治具上设置有多个吊装工位，多个所述吊装工位分别为一正多边形的所有不同顶点，所述正多边形的中心与所述治具的重心重合。

【技术特征摘要】
1.一种靶材的治具，所述靶材固定在一靶材基座上，所述治具与所述靶材基座可拆卸连接，其特征在于，所述治具上设置有多个吊装工位，多个所述吊装工位分别为一正多边形的所有不同顶点，所述正多边形的中心与所述治具的重心重合。2.如权利要求1所述的靶材的治具，其特征在于，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊钩。3.如权利要求1所述的靶材的治具，其特征在于，每个所述吊装工位处固定有相同数量及尺寸的吊环。4.如权利要求1～3中任一项所述的靶材的治具，其特征在于，所述吊装工位的数量为四个。5.如权利要求1所述的靶材的治具，其特征在于，所述治具通过第一连接单元与所述靶材基座可拆卸连接。6.如权利要求5所述的靶材的治具，其特征在于，所述靶材基座上还设置有第二连接单元，所述第一连接单元和第二连接单元的数量相同；所述第二连接单元包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件连接在所述靶材基座上，所述第二连接件固定在所述第一连接件上；所述第一连接单元包括第三连接件、第四连接件和第五连接件，所述第三连接件通过所述第五连接件可拆卸连接在所述治具及靶材基...

【专利技术属性】
技术研发人员：程保龙，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32