【技术实现步骤摘要】
本技术涉及熔体籽晶法单晶生长炉设备领域,尤其涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构。
技术介绍
蓝宝石单晶具有独特的晶格结构,优异的力学性能和热学性能,是各种光学元件、红外军事装置和高强度激光的窗口材料,普遍应用于蓝光半导体二极管LED和二极管LD的衬底材料,几乎遍及所有衬底领域。泡生法是世界上公认的最适合生长大尺寸蓝宝石单晶的主流方法之一,将纯度为99.999%的高纯氧化铝原料放置在坩埚中加热至融化,调节炉温使坩埚内熔体上表面中心温度接近2050℃,下降籽晶杆,使籽晶杆接触熔体表面,在籽晶杆内冷却水的作用下,籽晶端部的熔体以籽晶为核心在轴向向下生长的同时在径向向四周生长,此过程称为引晶,通过引晶-扩肩-等径生长-收尾完成蓝宝石晶体的生长,引晶阶段十分重要,关系整个晶体的生长以及质量。籽晶与籽晶杆之间通过籽晶夹连接,现阶段的籽晶夹结构不仅易在高温下变形,断裂,或由于晶体质量较重使得籽晶和籽晶夹脱扣,长晶停止;而且籽晶与籽晶夹不同心,造成籽晶易断裂,引晶困难,易粘锅,影响引晶整个长晶过程及晶体质量。上述方法不仅造成能源的损耗,还会浪费宝贵的时间,影响生产的连续性,大大增加了生产成本。
技术实现思路
为克服上述问题,本技术提供一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构,解决现有结构易在高温下变形,断裂,或使得籽晶和籽晶夹脱扣,长晶停止;而且籽晶与籽晶夹不同心,造成籽晶易断裂,引晶困难,易粘锅的问题,且结构简单,大大降低生产成本。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构,其包括用于安装籽晶的籽晶夹头,以及一端与籽晶杆相连、另一端与籽晶夹头相连 ...
【技术保护点】
一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构,其特征在于:包括用于安装籽晶的籽晶夹头,以及一端与籽晶杆相连、另一端与籽晶夹头相连接的衬套;所述籽晶夹头具有与衬套相连的第一安装部,与籽晶相连接的第二安装部,以及设置在第一安装部和第二安装部之间的圆弧形过渡部;第一安装部的直径小于第二安装部的直径,在第二安装部远离第一安装部一侧的端面上开设有用于安装籽晶的楔形燕尾槽。
【技术特征摘要】
1.一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构,其特征在于:包括用于安装籽晶的籽晶夹头,以及一端与籽晶杆相连、另一端与籽晶夹头相连接的衬套;所述籽晶夹头具有与衬套相连的第一安装部,与籽晶相连接的第二安装部,以及设置在第一安装部和第二安装部之间的圆弧形过渡部;第一安装部的直径小于第二安装部的直径,在第二安装部远离第一安装部一侧的端面上开设有用于安装籽...
【专利技术属性】
技术研发人员:余剑云,徐峰,张会选,方伟峰,汪震宇,
申请(专利权)人:黄山市东晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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