【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工设备
,特别是指一种金刚线切割装置。
技术介绍
随着半导体、光伏产业的发展,各种晶体材料,特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料成为当代信息技术产业的支柱。单晶硅作为一种极具潜能的资源正引起越来越多的关注,单晶硅片是由单晶硅棒切割而成,常用的硅片切割设备为金刚线切割装置。硅片在切割过程中经常会出现断线情况,这种情况一旦发生,需要切割装置迅速反应并产生报警,否则就会损伤硅片和传动辊,造成不必要的损失。传统的金刚线切割装置的断线报警灵敏度低,常常使发生的断线事故不能第一时间得到处理。导致这种后果的原因如下:用于切割硅棒的金刚线上电镀着一层金刚石,用于感应金刚线是否断线的传感器上常常附着着一层切割硅棒产生的硅粉,而金刚石和硅粉均属于导电性能较差的介质,因此要想提高断线感应的灵敏度,必须将传感器靠近金刚线;然而切割过程中的冷却介质是水,因此当有水溅到传感器上时容易造成误报警,耽误作业进程。另外,由于传感器与金刚线靠得比较近,在更换传动辊时会妨碍后续的工作。因此,迫切需要一种断线报警灵敏度高、准确性强的金刚线切割装置。
技术实现思路
本技术提出一种金刚线切割装置,解决了现有技术中断线报警灵敏度低、准确性差的问题。本技术的技术方案是这样实现的:一种金刚线切割装置,包括:传动辊、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊上的金刚线和位于所述金刚线旁的断线传感器,所述断线传感器与靠近所述金刚线的支架固定连接;所述支架与靠近所述金刚线的工作台面之间可拆卸转动连接;所述电机的输出端与传动辊连接,其输入端与所述PLC控制器连接;所述断线传感器的输出端与所述PLC控制 ...
【技术保护点】
一种金刚线切割装置,其特征在于,包括:传动辊(1)、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊(1)上的金刚线(2)、限位板和位于所述金刚线(2)旁的断线传感器(4),所述断线传感器(4)与靠近所述金刚线(2)的支架(3)固定连接;所述支架(3)与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间可拆卸转动连接;所述电机的输出端与传动辊(1)连接,其输入端与所述PLC控制器连接;所述断线传感器(4)的输出端与所述PLC控制器连接;所述支架(3)与所述限位板之间通过销轴转动连接,所述限位板与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间活动卡接。
【技术特征摘要】
1.一种金刚线切割装置,其特征在于,包括:传动辊(1)、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊(1)上的金刚线(2)、限位板和位于所述金刚线(2)旁的断线传感器(4),所述断线传感器(4)与靠近所述金刚线(2)的支架(3)固定连接;所述支架(3)与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间可拆卸转动连接;所述电机的输出端与传动辊(1)连接,其输入端与所述PLC控制器连接;...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭东兴,颜玉峰,王辉,张勇,闫红超,
申请(专利权)人:宁晋松宫电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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