一种金刚线切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种金刚线切割装置，包括：传动辊、电机、PLC控制器、缠绕在传动辊上的金刚线和位于金刚线旁的断线传感器，断线传感器与靠近金刚线的支架固定连接；支架与靠近金刚线的工作台面之间可拆卸转动连接；电机的输出端与传动辊连接，其输入端与PLC控制器连接；断线传感器的输出端与PLC控制器连接。本实用新型专利技术的有益效果如下：装置结构简单，制造方便，通过将断线传感器设置为可拆卸可旋转的方式，断线报警灵敏度高，且能够有效避免误报警事故的发生，不会影响传动辊的更换，减少人工劳动强度，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工设备
，特别是指一种金刚线切割装置。
技术介绍
随着半导体、光伏产业的发展，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料成为当代信息技术产业的支柱。单晶硅作为一种极具潜能的资源正引起越来越多的关注，单晶硅片是由单晶硅棒切割而成，常用的硅片切割设备为金刚线切割装置。硅片在切割过程中经常会出现断线情况，这种情况一旦发生，需要切割装置迅速反应并产生报警，否则就会损伤硅片和传动辊，造成不必要的损失。传统的金刚线切割装置的断线报警灵敏度低，常常使发生的断线事故不能第一时间得到处理。导致这种后果的原因如下：用于切割硅棒的金刚线上电镀着一层金刚石，用于感应金刚线是否断线的传感器上常常附着着一层切割硅棒产生的硅粉，而金刚石和硅粉均属于导电性能较差的介质，因此要想提高断线感应的灵敏度，必须将传感器靠近金刚线；然而切割过程中的冷却介质是水，因此当有水溅到传感器上时容易造成误报警，耽误作业进程。另外，由于传感器与金刚线靠得比较近，在更换传动辊时会妨碍后续的工作。因此，迫切需要一种断线报警灵敏度高、准确性强的金刚线切割装置。
技术实现思路
本技术提出一种金刚线切割装置，解决了现有技术中断线报警灵敏度低、准确性差的问题。本技术的技术方案是这样实现的：一种金刚线切割装置，包括：传动辊、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊上的金刚线和位于所述金刚线旁的断线传感器，所述断线传感器与靠近所述金刚线的支架固定连接；所述支架与靠近所述金刚线的工作台面之间可拆卸转动连接；所述电机的输出端与传动辊连接，其输入端与所述PLC控制器连接；所述断线传感器的输出端与所述PLC控制器连接。作为优选，所述PLC控制器的型号为西门子S7-200。作为优选，所述断线传感器的型号为基恩士GT2-H12F。作为优选，本技术还包括限位板，所述支架与所述限位板之间通过销轴转动连接，所述限位板与靠近所述金刚线的工作台面之间活动卡接。本技术的工作原理如下：当装置正常切割硅片时，将断线传感器旋转到靠近金刚线的位置，一旦发生断线情况，断掉的金刚线就会接触到断线传感器，断线传感器将断线信号传送给PLC控制器，PLC控制器控制电机停止转动，从而切割装置停止运行，待断线问题处理好后，再重新启动。当需要做冷却工作时，先将断线传感器旋转到远离金刚线的位置，然后再用水对装置进行冷却，冷却完毕，再将断线传感器旋转回靠近金刚线的位置，避免了冷却水溅到断线传感器上导致误报警事故的发生。当需要更换传动辊时，可以通过限位板将断线传感器拆卸下来，更换完成，再将其安装回去。本技术的有益效果为：装置结构简单，制造方便，通过将断线传感器设置为可拆卸可旋转的方式，断线报警灵敏度高，且能够有效避免误报警事故的发生，不会影响传动辊的更换，减少人工劳动强度，提高工作效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术所述金刚线切割装置的结构示意图；图中：1、传动辊，2、金刚线，3、支架，4、断线传感器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所述的实施例可知，本技术所述的金刚线切割装置，包括：传动辊1、电机、PLC控制器、限位板、缠绕在传动辊1上的金刚线2和位于金刚线2旁的断线传感器4，断线传感器4与靠近金刚线2的支架3固定连接；支架3与限位板之间通过销轴转动连接，限位板与靠近金刚线2的工作台面之间活动卡接；电机的输出端与传动辊1连接，其输入端与PLC控制器连接；断线传感器4的输出端与PLC控制器连接。上述PLC控制器的型号为西门子S7-200。上述断线传感器4的型号为基恩士GT2-H12F。上述金刚线切割装置的工作原理如下：当装置正常切割硅片时，将断线传感器4旋转到靠近金刚线2的位置，一旦发生断线情况，断掉的金刚线2就会接触到断线传感器4，断线传感器4将断线信号传送给PLC控制器，PLC控制器控制电机停止转动，从而切割装置停止运行，待断线问题处理好后，再重新启动。当需要做冷却工作时，先将断线传感器4旋转到远离金刚线2的位置，然后再用水对装置进行冷却，冷却完毕，再将断线传感器4旋转回靠近金刚线2的位置，避免了冷却水溅到断线传感器4上导致误报警事故的发生。当需要更换传动辊1时，可以通过限位板将断线传感器4拆卸下来，更换完成，再将其安装回去。综上所述，本技术所述的金刚线切割装置结构简单，制造方便，通过将断线传感器设置为可拆卸可旋转的方式，断线报警灵敏度高，且能够有效避免误报警事故的发生，不会影响传动辊的更换，减少人工劳动强度，提高工作效率。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金刚线切割装置，其特征在于，包括：传动辊(1)、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊(1)上的金刚线(2)、限位板和位于所述金刚线(2)旁的断线传感器(4)，所述断线传感器(4)与靠近所述金刚线(2)的支架(3)固定连接；所述支架(3)与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间可拆卸转动连接；所述电机的输出端与传动辊(1)连接，其输入端与所述PLC控制器连接；所述断线传感器(4)的输出端与所述PLC控制器连接；所述支架(3)与所述限位板之间通过销轴转动连接，所述限位板与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间活动卡接。

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切割装置，其特征在于，包括：传动辊(1)、电机、PLC控制器、缠绕在所述传动辊(1)上的金刚线(2)、限位板和位于所述金刚线(2)旁的断线传感器(4)，所述断线传感器(4)与靠近所述金刚线(2)的支架(3)固定连接；所述支架(3)与靠近所述金刚线(2)的工作台面之间可拆卸转动连接；所述电机的输出端与传动辊(1)连接，其输入端与所述PLC控制器连接；...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭东兴，颜玉峰，王辉，张勇，闫红超，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13