【技术实现步骤摘要】
本专利技术提供一种周期性图案的自动光学检测方法,尤指一种可精确且快速侦测周期性图案中的缺陷部分。
技术介绍
机械表面检测现应用于各式产品的表面质量控制,诸如,木材、钢材、晶圆、陶瓷、织物,甚至于农产品表面,皆可通过光学表面检测以检验其质量。而就触控面板而言,由于现今对于操控方式的趋势,是以优化、个人化及直觉化为目标,藉以达致产品操控的便利性,故触控面板现已广泛应用于个人计算机、智能型手机、收款机、提款机,及家电等各式电器产品;而触控面板的质量,将直接影响电器产品整体的外观质量及质量,进而影响相关业者的收益率,故业界对于触控面板的质量要求甚高,因触控面板的感测电路系布设于其内部,故若触控面板表面具有颗粒、刮痕、纤维或脏污,皆将直接影响电路的感测,据此,触控面板缺陷的检测为现今触控面板生产迫切的需求。而现有的自动光学检测(Automatic Optical Inspection,AOI)中,最被广为应用者为频谱(Spectral)分析法,如图1所示,将图1(a)的触控面板10经快速傅立叶变换(Fast Fourier Transform,FFT)后,即可得如图1(b)的能量频谱20,藉此能观察到主要能量被集中在四条方向线,包含水平线、垂直线及二对角线,其中,对角线的角度将随电路结构的不同而呈现相异的角度,而对角线的角度可通过能量频谱20中最大突出的部分来估计,如图1(c)所示,其对角线的角度约为31度,而后于前述四条方向线的窄阻带应用陷波滤波器(Notch filtering)于图1(b)的能量频谱20,并经逆快速傅立叶变换,即可得如图1(d)所示的重构图像 ...
【技术保护点】
一种周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,包含步骤:于一周期性图案定义多个规律的控制点;将所述控制点分别围绕形成多个大小及方向一致的对齐影像;于相邻连续的所述对齐影像中求得一中间影像及取一偏差影像;由该中间影像及该偏差影像界定一上限影像及下限影像以形成一自适应模型;以及以该自适应模型比对全部所述对齐影像中的每一点;并定义所述对齐影像中所述点的灰阶像素大于该上限影像或小于该下限影像者为缺陷区域。
【技术特征摘要】
2015.04.17 TW 1041123191.一种周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,包含步骤:于一周期性图案定义多个规律的控制点;将所述控制点分别围绕形成多个大小及方向一致的对齐影像;于相邻连续的所述对齐影像中求得一中间影像及取一偏差影像;由该中间影像及该偏差影像界定一上限影像及下限影像以形成一自适应模型;以及以该自适应模型比对全部所述对齐影像中的每一点;并定义所述对齐影像中所述点的灰阶像素大于该上限影像或小于该下限影像者为缺陷区域。2.如权利要求1所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,更包含:于该周期性图案中选定第一参考点至第五参考点;其中,第一参考点为位于该周期性图案中极左上的控制点、第二参考点为位于该周期性图案中极右上的控制点、第三参考点为位于该周期性图案中极左下的控制点、第四参考点为水平方向相邻于该第一参考点的控制点,而该第五参考点为垂直方向相邻于该第一参考点的控制点;以及以第一参考点及第四参考点的间为水平间距,以第一参考点及第五参考点的间为垂直间距,并以第二参考点及第三参考点为极值,藉以定义该周期性图案中所有所述控制点的位置。3.如权利要求1所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,更包含:于其一所述控制点建立一矩形范围,且该矩形范围为无缺陷者,并于该矩形范围内侦测该周期性图案的边缘影像;以及依据该边缘影像校正全部所述控制点的位置。4.如权利要求3所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,该矩形范围通过边缘侦测器侦测得到二值化的边缘影像。5.如权利要求3所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,更包含:于该边缘影像预定义一中心点,并于每一所述控制点分别建立一以所述控制点为中心的矩形的搜寻范围,藉以分别在该搜寻范围内移动该边缘影像及该
\t中心点,直至该边缘影像分别耦合于该周期性图案,并通过位比对运算校正全部所述控制点的位置。6.如权利要求1所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,更包含:界定四目标点,且所述目标点对应围绕形成一矩形的目标区域,而所述控制点系分别围绕形成一四边形区域;以及将每一所述四边形区域的所述控制点,分别通过一组转换矩阵转换形成该目标区域的目标点,藉以分别求得至少一组转换参数,所述控制点分别依所述转换参数转换后,藉以求得由所述控制点分别围绕形成的所述对齐影像。7.如权利要求6所述的周期性图案的自动光学检测方法,其特征在于,所述转换参数hij分别通过下式1求得: x 1 y 1 1 0 0 0 - x 1 x ′ 1 - y 1 x ′ 1 0 0 0 x 1 y 1 1 - x 1 y ′ 1 - y 1 y ′ 1 x 2 y 2 1 0 0 0 - x 2 x ′ 2 - y 2 x ′ 2 0 0 0 x 2 y 2 1 - x 2 y ′ 2 - y 2 x ′ 2 x 3 y 3 1 0 0 0 - x 3 x ′ 3 - y 3 x ′ 3 0 0 0 x 3 y 3 1 - x 3 y ′ 3 - y 3 x ′ 3 x 4 y 4 1 0 0 0 - x 4 x ′ 4 - y 4 x ′ 4 0 0 0 x 4 y 4 1 - x 4 y ′ 4 - y 4 x ′ 4 h 11 h 12 h 13 h 21 h 22 h 23 h 31 h 32 = ...
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