一种用于光刻胶的自动显影设备制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻胶技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶的自动显影设备，包括开关及晃动速度旋钮、浅盘架、发动机、旋转盘、活塞头和水平槽，开关及晃动速度旋钮与发动机相连接，发动机带动旋转盘旋转，旋转盘与活塞头相连接，旋转盘通过旋转带动活塞头在水平槽内滑动，浅盘架固定在活塞头的上部。本实用新型专利技术为实验室等处理量小的场合提供了自动显影设备，解决了人工手动显影因摇晃不均匀不一致导致显影结果重现性差不稳定等问题，以机械来代替手动摇晃过程，使每一片光刻胶衬底在相同条件下显影，将人为的误差影响因素降至最低，提高了显影结果的稳定性和重现性，操作简单，同时解放了实验人员的劳力，提高了研发效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻胶
，尤其涉及一种用于光刻胶的自动显影设备。
技术介绍
光刻胶是集成电路制造工艺中的一种关键材料，其过程主要包括涂布、烘烤、曝光、显影等步骤。光刻胶经过曝光后发生聚合或分解反应，然后采用化学显影液来溶解光刻胶，利用光照反应前后的光刻胶在显影液中的溶解速度的差异，经过一定时间使易溶解区域迅速溶解完全，而不易溶解区域的胶则保留于衬底表面，从而形成光刻图形。光刻胶的显影工艺对后续光刻胶图形进行观察分析乃至刻蚀过程等至关重要，如果不能正确的控制显影工艺的稳定性，就会造成显影不足、不完全显影、过显影等问题，从而造成光刻胶图形异常。目前常见的显影方法为连续喷雾显影和旋覆浸没显影两种。此两种方法均为应用于工厂作业进行批量生产操作、采用大型仪器设备的成熟稳定的技术。但是对于光刻胶的实验室研发测试，通常实验人员一次处理量为1～2片含光刻胶的衬底，基于成本、能耗、效率等各方面的考量，显然不适用于大型仪器。国内专业研发光刻胶的单位很少，鲜有报道有专门用于实验室光刻胶显影的设备。实验人员一般采用手动显影方法，即在恒温实验环境中，量取一定量的固定浓度的显影液，倒入能盛放光刻胶衬底的浅盘中，将衬底放入浅盘中使显影液全部没过衬底并开始计时，显影过程为手动水平摇晃浅盘使显影液在衬底表面流动，尽量保证光刻胶与显影液均匀的溶解反应，经过一定时间显影完成后停止摇晃，由镊子取出衬底，即刻用去离子水冲洗衬底并甩干，以待观察光刻胶图形。在该过程中，采用手动显影方法，因实验人员的不同，乃至同一实验人员的每一次实验，其手动摇晃过程中摇晃力度不同会造成显影液与光刻胶的接触均匀程度不同，使溶解反应的均匀程度和反应时间预估都产生较大的差异，这对最后形成的光刻胶图形的稳定性产生较大的影响，存在不稳定、效率低等问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于提供一种结构简单，操作方便的用于光刻胶的自动显影设备。实现本技术目的的技术方案是：一种用于光刻胶的自动显影设备，包括开关及晃动速度旋钮、浅盘架、发动机、旋转盘、活塞头和水平槽，开关及晃动速度旋钮与发动机相连接，发动机带动旋转盘旋转，旋转盘与活塞头相连接，旋转盘通过旋转带动活塞头在水平槽内滑动，浅盘架固定在活塞头的上部。作为本技术的优化方案，用于光刻胶的自动显影设备还包括时间显示器，时间显示器用于记录发动机的运行时间。作为本技术的优化方案，旋转盘与活塞头通过牵引杆相连接。本技术具有积极的效果：本技术为实验室等处理量小的场合提供了自动显影设备，解决了人工手动显影因摇晃不均匀不一致导致显影结果重现性差不稳定等问题，以机械来代替手动摇晃过程，使每一片光刻胶衬底在相同条件下显影，将人为的误差影响因素降至最低，提高了显影结果的稳定性和重现性，操作简单，同时解放了实验人员的劳力，提高了研发效率。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明：图1为本技术的主视图；图2为本技术的俯视图；图3为本技术的结构示意图。其中：1、开关及晃动速度旋钮，2、浅盘架，3、发动机，4、旋转盘，5、活塞头，6、水平槽，7、时间显示器，8、牵引杆。具体实施方式如图1-3所示，本技术公开了一种用于光刻胶的自动显影设备，包括开关及晃动速度旋钮1、浅盘架2、发动机3、旋转盘4、活塞头5和水平槽6，开关及晃动速度旋钮1与发动机3相连接，发动机3带动旋转盘4旋转，旋转盘4与活塞头5相连接，旋转盘4通过旋转带动活塞头5在水平槽6内滑动，浅盘架2固定在活塞头5的上部。光刻胶的自动显影设备还包括时间显示器7，时间显示器7用于记录发动机3的运行时间。通过时间显示器7可以控制自动晃动显影的时间。旋转盘4与活塞头5通过牵引杆8相连接。工作时，由开关及晃动速度旋钮1控制发动机3转速，发动机3带动旋转盘4旋转，同时，与旋转盘4连接的活塞头5在水平槽6内平行移动，浅盘架2在水平方向左右晃动。将显影用的浅盘固定在浅盘架2上，即可实现稳定的自动晃动显影。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光刻胶的自动显影设备，其特征在于：包括开关及晃动速度旋钮(1)、浅盘架(2)、发动机(3)、旋转盘(4)、活塞头(5)和水平槽(6)，所述的开关及晃动速度旋钮(1)与发动机(3)相连接，所述的发动机(3)带动旋转盘(4)旋转，所述的旋转盘(4)与活塞头(5)相连接，所述的旋转盘(4)通过旋转带动活塞头(5)在水平槽(6)内滑动，所述的浅盘架(2)固定在活塞头(5)的上部。

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶的自动显影设备，其特征在于：包括开关及晃动速度旋钮(1)、浅盘架(2)、发动机(3)、旋转盘(4)、活塞头(5)和水平槽(6)，所述的开关及晃动速度旋钮(1)与发动机(3)相连接，所述的发动机(3)带动旋转盘(4)旋转，所述的旋转盘(4)与活塞头(5)相连接，所述的旋转盘(4)通过旋转带动活塞头(5)在水平槽(6)内滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：向容，梁永，
申请(专利权)人：潍坊星泰克微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37