一种单晶炉制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产领域，尤其涉及一种单晶炉。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉在生产过程中，硅单晶从熔体中不断凝固并向上提拉，如果凝固体的温度越低，通过固体导出的热量越多，硅单晶向上提拉的速度就可以越大，从而可大大提高生产效率。目前，为了提高生产效率，通常会增设水冷套来冷却硅单晶，然而，水冷套内部与硅单晶换热，与此同时，其外部与导流筒、石英钳锅内的熔体换热，使得导流筒和石英钳锅内的熔体降温，进而为了满足生产温度要求，需加大加热功率，从而使得水冷套提高晶体拉速的作用有限，由此，急需解决。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种单晶炉，以解决现有水冷套对提高晶体拉速作用有限的问题。本技术的目的是通过以下技术方案来实现：一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。作为本技术的一种优选方案，所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置通过螺钉与水冷套固定连接。作为本技术的一种优选方案，所述保温隔热装置为隔热筒，所述隔热筒由保温隔热材料制成。作为本技术的一种优选方案，所述保温隔热材料为不锈钢材料或钼材料或石墨材料或石墨毡材料。作为本技术的一种优选方案，所述隔热筒包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上。作为本技术的一种优选方案，...
【技术保护点】
一种单晶炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于：所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：惠梦君，
申请(专利权)人：无锡市蓝德光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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