用于收集镜精加工的加固装置制造方法及图纸

用于收集镜精加工的加固装置,涉及收集镜精加工过程中的加固技术。为了解决车削收集镜时，收集镜颤抖严重，影响加工质量的问题。该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为整数。采用本实用新型专利技术加工时收集镜不颤抖，收集镜表面粗糙度小于5nm。本实用新型专利技术适用于车削精加工中加固收集镜。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及收集镜精加工过程中的加固技术。
技术介绍
在毛细管放电Z箍缩极紫外光(13.5nm)辐射做为光刻光源(DPP)技术中，由毛细管中产生的13.5nm极紫外光，在出口处出射的立体角将在+5°～+30°,-5°～-30°间，将这一出射光有效收集以便在焦点处获得高功率的照射光，以便与后续的曝光系统连接进行光刻，这就需要一光学收集系统，通常采用直接车削加工收集镜，收集镜通常是由口径由大到小若干组合在一起，每片内外表面都是由双曲面加椭球面的两个非球面面形组成，通常由壁厚在2mm以下(提高收集效率)的十片以上组成、口径最大在Φ500mm左右，十片收集镜口径依次减小，将十片收集镜组合起来形成一光学收集系统。在大口径的薄壳(壁厚小于2mm)型收集镜精加工过程中，尽管金刚石车床，车刀进刀量尽量小，车速也尽量慢，车削中车刀与镜片间的接触造成的压力，仍然会使加工中镜片抖动，造成加工中产生波纹，严重破坏了表面粗糙度，使加工质量不能保证。
技术实现思路
本技术是为了解决车削收集镜时，收集镜颤抖严重，影响加工质量的问题，从而提供用于收集镜精加工的加固装置。本技术所述的用于收集镜精加工的加固装置，该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为正整数。加工收集镜时，将加固装置套到收集镜外壁，需用胶带十分均匀用力的缠绕在套筒外壁，将套筒与收集镜紧密的装配在一起。缠绕胶带时一定要均匀用力，又要用较大的力量缠好，严格避免中间有空隙，严格避免用力不均匀，造成收集镜略有变形。加固上加固装置后，上车床检查，旋转加固装置检查有否偏心，如有偏心，需重新缠绕，直到没有丝毫偏心为止。一定在认为完全没有偏心再开始上车床加工，否则一经返工，面形改变，收集镜就将报废。有益效果：加固了加固装置后再进行车削精加工，效果十分明显，已经消除了颤抖，也就消除了加工产生的波纹，收集镜表面粗糙度(没经手工抛光前)达到小于5nm。本技术适用于车削精加工中加固收集镜。附图说明图1是具体实施方式一所述的用于收集镜精加工的加固装置的结构示意图。具体实施方式具体实施方式一：参照图1具体说明本实施方式，本实施方式所述的用于收集镜精加工的加固装置，该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为正整数。套筒的内表面的面型与收集镜的外表面面型相同。具体实施方式二：本实施方式是对具体实施方式一所述的用于收集镜精加工的加固装置作进一步说明，本实施方式中，所述套筒为尼龙套筒。尼龙套筒的机械强度高，韧性好，有较高的抗拉、抗压强度，电绝缘性好，重量轻。具体实施方式三：本实施方式是对具体实施方式一或二所述的用于收集镜精加工的加固装置作进一步说明，本实施方式中，套筒两端开口的内壁口径均比收集镜的相应端的外壁口径小2mm。套筒的内壁口径比收集镜的外壁口径略小，有利于套筒牢牢套固在收集镜外侧。具体实施方式四：本实施方式是对具体实施方式一或二所述的用于收集镜精加工的加固装置作进一步说明，本实施方式中，所述套筒的壁厚大于10mm。壁厚大于10mm时，加工时稳定性更好。具体实施方式五：本实施方式是对具体实施方式一或二所述的用于收集镜精加工的加固装置作进一步说明，本实施方式中，N为4。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于收集镜精加工的加固装置，其特征在于，该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为正整数。

【技术特征摘要】
1.用于收集镜精加工的加固装置，其特征在于，该加固装置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣围成一个套筒，套筒一端的开口大于另一端的开口，套筒的内表面与收集镜的外表面相匹配，套筒套固在收集镜外壁，N为正整数。2.根据权利要求1所述的用于收集镜精加工的加固装置，其特征在于，所述套筒为尼龙套筒。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王骐，徐强，赵永蓬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23