紫外光照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够高效地对流体照射紫外光的紫外光照射装置。其为对流体照射紫外光(12)的紫外光照射装置(30)，其具备深紫外光发光元件(31)、紫外光滤波器(32)以及旋流结构体(33)。深紫外光发光元件(31)为向上方发出深紫外光的元件，其具有接受在放电空间(10)内产生的激发光而发出紫外光的发光层(4)。紫外光滤波器(32)吸收或反射波长为200nm以下的光的80％以上。旋流结构体(33)具有使从外部流入的流体旋转的筒状结构体(14)和按照使在筒状结构体(14)旋转的流体流出到外部的方式导向的锥状结构体(13)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种紫外光照射装置，特别涉及对流体照射紫外光的紫外光照射装置。
技术介绍
紫外光(紫外线)特别是波长约为200～350nm的深紫外光(深紫外线)具有分解有机物的作用，因此利用于杀菌、除臭、洗涤、净水、光刻、照明等各种领域。以往，作为紫外光的光源，广泛使用使水银辉光放电的水银灯(参照专利文献1)。根据专利文献1，利用从水银灯发出的波长为254nm的深紫外光，能够在不损害光学系统的情况下将附着于曝光装置的掩模等的碳污染有效地分解并除去。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-146712号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题本专利技术提供一种能够高效地对流体照射紫外光的紫外光照射装置。用于解决问题的手段本专利技术的一个方式的紫外光照射装置具备：具有主面的第1基体；位于上述第1基体的上述主面的多个电极；覆盖上述多个电极的电介质层；与上述电介质层相向配置且包含透过紫外光的材料的第2基体；以在上述第1基体与上述第2基体之间形成密闭的放电空间的方式将上述第1基体与上述第2基体接合、并将上述放电空间与上述第1基体以及上述第2基体一起封住的密封材料；位于上述电介质层的上方和/或上述第2基体的上述放电空间侧的面的上方、并接受在上述放电空间内产生的激发光而发出紫外光的发光层；和设置在上述第2基体的与上述放电空间侧相反侧的面的上方的反应槽。上述反应槽具备：筒状结构体、将从上述反应槽的外部流入的流体导向上述筒状结构体的内部的导入通路、和将从上述筒状结构体的内部流出的流体导向上述反应槽的外部的导出通路。将上述筒状结构体的内部的底面的内切圆的直径设为ha、将上述筒状结构体的内部的高度设为hc时，ha/hc为5以上且10以下。专利技术的效果根据本专利技术，可以实现能够高效地对流体照射紫外光的紫外光照射装置。附图说明图1是表示实施方式1的紫外光照射装置的构成的示意截面图。图2是表示图1所示的旋流结构体的结构的图。图3是表示用于制造图1所示的深紫外光发光元件的密封-排气用加热炉的概要的示意图。图4是表示图3所示的密封-排气用加热炉的温度分布的一个例子的图。图5是表示利用图3所示的密封-排气用加热炉进行的密封工序中的放电空间中的气体以及该气体的流动的图。图6是表示由具备无紫外光滤波器的构成和有紫外光滤波器的构成的紫外光照射装置所得到的发光光谱的比较图。图7是表示实施方式1的变形例的紫外光照射装置的构成的示意截面图。图8是表示水银灯的发光光谱的图。图9是表示实施方式2的紫外光照射装置的构成的示意截面图。图10是表示图9所示的反应槽的结构的图。图11是表示实施方式3的紫外光照射装置的构成的示意截面图。图12是表示发光层的透过率、反射率以及膜厚的关系的图表。符号说明2 第1基体3、3a 第2基体4、41、42、43 发光层5 保护层6 电介质层7 电极8 密封材料9、9a、9b 排气管10 放电空间11、11a、11b 贯通孔12 紫外光(更特定而言为深紫外光)13 锥状结构体13a 盖14 筒状结构体15 流入口15a 流入通路16 流出口16a 流出通路17 曲面壁30、30a、90、201 紫外光照射装置31、31a、31b 深紫外光发光元件32 紫外光滤波器33 旋流结构体33a 反应槽51 加热器52 加热炉53、54 配管61、63、64、65 阀门62 排气阀66 压力计71 干燥气体供给装置72 排气装置73 放电气体供给装置100 密封-排气用加热炉200 干燥气体具体实施方式(作为本专利技术的基础的见解)首先，对于作为本专利技术的基础的见解进行说明。从环境负荷的观点考虑，例如欧洲的WEEE&RoHS指令那样对水银等环境有害物质的限制变得严格。因此，希望开发紫外光的光源来替代水银灯。图8表示水银灯的发光光谱。从图8可知，水银灯的发光光谱可以看到185nm附近的波长的发光，这是产生臭氧的原因。这样，使用水银灯的紫外光照射装置不仅利用紫外光，而且并用由臭氧产生的杀菌以及分解作用进行利用。因此，要想抑制臭氧的发生，可以考虑抑制水银灯的输出功率，但此时存在由紫外光产生的杀菌以及分解能力会降低的问题。另外，在以往的紫外光照射装置中，还有不能高效地对流体照射紫外光的问题。这是由于大多情况下难以在作为照射紫外光的对象的流体的流路中安装紫外光照射装置，或者即使在流路中安装了紫外光照射装置的情况下，也难以确保对流体均等地仅照射所需时间的紫外光。以下，一边参照附图一边说明实施方式的紫外光照射装置。此外，以下说明的实施方式都是概括性地或具体地表示本专利技术的优选的一个具体例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置及连接形态、步骤、步骤的顺序等为一个例子，并不是限定本专利技术的主旨。另外，以下的实施方式的构成要素中，对于表示最上位概念的独立权利要求中没有记载的构成要素来说，作为构成更优选的形态的任意的构成要素来说明。另外，即使为不同的附图，对于相同的构成要素也标注相同的符号，不进行重复说明。(实施方式1)图1是表示实施方式1的紫外光照射装置30的结构的示意截面图。紫外光照射装置30为对流体(液体或气体)照射紫外光(更特定而言为深紫外光)12的装置，其具备深紫外光发光元件31、设置在深紫外光发光元件31之上的紫外光滤波器32以及设置在紫外光滤波器32之上的旋流结构体33。深紫外光发光元件31为向上方(即设置有紫外光滤波器32及旋流结构体33的方向)发出紫外光(更特定而言为深紫外光)的元件。深紫外光发光元件31作为主要的构成要素具有：第1基体2、位于第1基体2的主面的多个电极7、覆盖多个电极7的电介质层6、与电介质层6相向配置并包含透过紫外光的材料的第2基体3、和以在第1基体2与第2基体3之间形成密闭的放电空间10的方式将第1基体2与第2基体3接合并将放电空间10与第1基体2以及第2基体3一起封住的密封材料8。进而，深紫外光发光元件31具有位于电介质层6的放电空间10侧的面的上方和/或第2基体3的放电空间10侧的面的上方并接受在放电空间10内产生的激发光而发出紫外光的发光层4。紫外光滤波器32为设置在第2基体3与旋流结构体33之间、吸收或反射波长为200nm以下的光的80％以上的滤波器。旋流结构体33为形成照射紫外光12的流路的结构物，其具有：设置在第2基体3的与放电空间10侧相反侧的面的上方且使从外部流入的流体旋转的筒状结构体14、和按照使在筒状结构体14中旋转的流体流出到外部的方式导向的锥状结构体13。通过这样的构成，波长为200nm以下的光得到抑制的紫外光(更特定而言为深紫外光)12被照射到旋流结构体33内的流体，因此与水银灯不同，可对流体照射臭氧的发生被抑制的紫外光(更特定而言为深紫外光)。进而，在旋流结构体33中，由于流体一边旋转一边接受紫外光，所以能够高效地接受紫外光，有机物的分解反应的实际有效的反应时间增加，有机物高效率地被分解。以下，对于深紫外光发光元件31、紫外光滤波器32以及旋流结构体33更详细地进行说明。[深紫外光发光元件31]深紫外光发光元件31作为整体具有方筒结构(例如长度为5～10cm、宽度为5～10cm、高度为3～5cm)，具有介由密封材料8将第1基体2与第2基体3接合的构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外光照射装置，其具备：具有主面的第1基体；位于所述第1基体的所述主面的多个电极；覆盖所述多个电极的电介质层；与所述电介质层相向配置且包含透过紫外光的材料的第2基体；以在所述第1基体与所述第2基体之间形成密闭的放电空间的方式将所述第1基体与所述第2基体接合、并将所述放电空间与所述第1基体以及所述第2基体一起封住的密封材料；位于所述电介质层的上方和/或所述第2基体的所述放电空间侧的面的上方、并接受在所述放电空间内产生的激发光而发出紫外光的发光层；和设置在所述第2基体的与所述放电空间侧相反侧的面的上方的反应槽，所述反应槽具备：筒状结构体、将从所述反应槽的外部流入的流体导向所述筒状结构体的内部的导入通路、和将从所述筒状结构体的内部流出的流体导向所述反应槽的外部的导出通路，将所述筒状结构体的内部的底面的内切圆的直径设为ha、将所述筒状结构体的内部的高度设为hc时，ha/hc为5以上且10以下。

【技术特征摘要】
2015.05.18 JP 2015-1013261.一种紫外光照射装置，其具备：具有主面的第1基体；位于所述第1基体的所述主面的多个电极；覆盖所述多个电极的电介质层；与所述电介质层相向配置且包含透过紫外光的材料的第2基体；以在所述第1基体与所述第2基体之间形成密闭的放电空间的方式将所述第1基体与所述第2基体接合、并将所述放电空间与所述第1基体以及所述第2基体一起封住的密封材料；位于所述电介质层的上方和/或所述第2基体的所述放电空间侧的面的上方、并接受在所述放电空间内产生的激发光而发出紫外光的发光层；和设置在所述第2基体的与所述放电空间侧相反侧的面的上方的反应槽，所述反应槽具备：筒状结构体、将从所述反应槽的外部流入的流体导向所述筒状结构体的内部的导入通路、和将从所述筒状结构体的内部流出的流体导向所述反应槽的外部的导出通路，将所述筒状结构体的内部的底面的内切圆的直径设为ha、将所述筒状结构体的内部的高度设为hc时，ha/hc为5以上且10以下。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：长尾宣明，头川武央，佐佐木良树，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP