【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的交叉引用本申请为2013年11月13日提交的美国临时专利申请号61/903,813的非临时申请,并且要求该美国临时专利申请的权益,该美国临时专利申请的公开内容通过引用整体地结合于本文中。
技术介绍
1.
示例性实施例一般涉及机器人驱动器,并且更具体而言,涉及密封的机器人驱动器。2. 相关发展的简要说明一般而言,例如当直接驱动器的磁体、结合的部件、密封件和腐蚀性材料暴露于超高真空和/或侵蚀和腐蚀性的环境时,例如将永磁体电机或可变磁阻电机用于促动并且将光学编码器用于位置感测的现有的直接驱动技术具有相当大的限制。为了限制例如直接驱动器的磁体、结合部件、密封件和腐蚀性材料的暴露,一般使用“罐形封闭件”。所述罐形密封件一般通过密封的非磁性壁或“罐”将电机转子与相对应的电机定子隔离,所述密封的非磁性壁或“罐”也称为“隔离壁”。罐形密封件一般使用非磁性真空隔离壁,其位于给定的电机促动器的转子和定子之间。这允许磁通量越过隔离壁在转子和定子之间流动。结果,定子能够完全位于密封环境外。这可以允许在例如用于半导体应用的真空机器人驱动器之类的应用中的基本上清洁和可靠的电机促动实施方式。这样的罐形密封件的限制在于在转子和定子磁极之间的气隙的尺寸可能受隔离壁厚度限制。例如,隔离壁的厚度加跳动公差一般对转子和定子之间可实现的最小气隙施加约束。为了增加电机的效率,转子和定子之间的间隙应当最小化,然而,在其中通过罐形密封件密封或以其他方式隔离的环境暴露于高真空或超高真空的情况下,隔离壁厚度必须足够大,来提供足够的结构完整性,以基本上防止过度偏转(即,隔离的偏转可干扰电机的操作) ...
【技术保护点】
一种输送设备,包括:壳体;安装到所述壳体的驱动器;以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂;其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且设置在隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极,并且设置在所述隔离环境外,所述至少一个凸极具有相对应的线圈单元;其中,所述至少一个定子的所述至少一个凸极和所述转子的所述至少一个凸极在所述至少一个转子和所述至少一个定子之间形成闭合的磁通回路;以及至少一个密封件,其构造成隔离所述隔离环境,其中,所述至少一个密封件与所述至少一个定子是一体的。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.13 US 61/9038131.一种输送设备,包括:壳体;安装到所述壳体的驱动器;以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂;其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且设置在隔离环境中;至少一个定子,其具有至少一个凸极,并且设置在所述隔离环境外,所述至少一个凸极具有相对应的线圈单元;其中,所述至少一个定子的所述至少一个凸极和所述转子的所述至少一个凸极在所述至少一个转子和所述至少一个定子之间形成闭合的磁通回路;以及至少一个密封件,其构造成隔离所述隔离环境,其中,所述至少一个密封件与所述至少一个定子是一体的。2.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个密封件包括安装到所述至少一个定子的膜。3.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个密封件取决于所述至少一个定子。4.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子在结构上支撑所述至少一个密封件。5.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个密封件遵循所述至少一个定子的形状。6.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子和所述至少一个定子形成叠置的电机或在径向上一个嵌套在另一个内的电机。7.如权利要求1所述的输送设备,还包括设置在所述至少一个转子中的每一个上的至少一个基于磁阻的编码器轨,以及配置成与所述至少一个基于磁阻的编码器轨接口的至少一个基于磁阻的位置反馈传感器。8.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子被耦接到用于驱动所述至少一个输送臂的同轴的驱动轴布置结构。9.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子为分段的定子。10.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述驱动器被构造为轴向磁通驱动器或径向磁通驱动器。11.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子包括层状的凸极。12.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子包括层状的凸极。13.如权利要求12所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子包括驱动构件接口,并且所述驱动器还包括传动构件,所述传动构件在所述驱动构件接口处与所述至少一个转子接口,使得所述传动构件与所述层状的凸极接口,并且将所述层状的凸极固定到所述传动构件。14.如权利要求13所述的输送设备,其特征在于,所述层状的凸极被固定到所述传动构件,使得所述层状的凸极相对于所述传动构件轴向布置。15.如权利要求13所述的输送设备,其特征在于,所述层状的凸极被固定到所述传动构件,使得所述层状的凸极相对于所述传动构件径向布置。16.如权利要求1所述的输送设备,其特征在于,所述驱动器包括连接到所述壳体的z轴驱动电机。17.一种输送设备,包括:壳体;安装到所述壳体的驱动器;以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂;其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极,并且位于隔离环境内;至少一个定子,其具有凸出的定子磁极,并且位于所述隔离环境外,所述定子磁极具有相应的线圈单元;至少一个凸出的定子磁极延伸部,其设置在所述隔离环境内,并且与相应的凸出的定子磁极对准,使得所述至少一个凸出的定子磁极延伸部和所述转子的所述至少一个凸极在所述至少一个定子和所述至少一个转子之间形成闭合的磁通回路;以及至少一个密封件,其设置在每个定子磁极和相应的凸出的定子磁极延伸部之间,其中,所述至少一个密封件被构造成隔离所述隔离环境。18.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述驱动器还包括密封件支撑构件,所述密封件支撑构件具有设置在所述隔离环境中的内表面和背离所述隔离环境的外表面,其中,所述至少一个密封件被设置在所述外表面上或与之相邻,并且密封件支撑表面被构造成在结构上支撑所述至少一个密封件。19.如权利要求18所述的输送设备,其特征在于,所述密封件支撑构件被构造成收容所述至少一个凸出的定子磁极延伸部。20.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子和所述至少一个转子形成叠置的电机,并且所述至少一个密封件对于所述叠置的电机中的每一个而言是共同的。21.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子和所述至少一个转子形成电机的堆叠,并且所述至少一个密封件包括用于每个电机的密封件,所述用于每个电机的密封件不同于在电机的所述堆叠中的其他电机的密封件。22.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个凸出的定子磁极延伸部和所述至少一个转子被定位成使得所述至少一个凸出的定子磁极延伸部和所述至少一个转子具有无障碍的接口。23.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,每个定子和相应的转子形成电机模块,所述电机模块构造成与其他电机模块叠置。24.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述驱动器被构造为轴向磁通驱动器或径向磁通驱动器。25.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子包括层状的凸极。26.如权利要求25所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子包括驱动构件接口,并且所述驱动器还包括传动构件,所述传动构件在所述驱动构件接口处与所述至少一个转子接口,使得所述传动构件与所述层状的凸极接口,并且将所述层状的凸极固定到所述传动构件。27.如权利要求26所述的输送设备,其特征在于,所述层状的凸极被固定到所述传动构件,使得所述层状的凸极相对于所述传动构件轴向布置。28.如权利要求26所述的输送设备,其特征在于,所述层状的凸极被固定到所述传动构件,使得所述层状的凸极相对于所述传动构件径向布置。29.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个定子包括层状的凸极。30.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述驱动器包括连接到所述壳体的z轴驱动电机。31.如权利要求17所述的输送设备,还包括设置在所述至少一个转子中的每一个上的至少一个基于磁阻的编码器轨,以及配置成与所述至少一个基于磁阻的编码器轨接口的至少一个基于磁阻的位置反馈传感器。32.如权利要求17所述的输送设备,其特征在于,所述至少一个转子被耦接到用于驱动所述至少一个输送臂的同轴的驱动轴布置结构。33.一种输送设备,包括:壳体;安装到所述壳体的驱动器;以及连接到所述驱动器的至少一个输送臂;其中,所述驱动器包括:至少一个转子,其具有导磁材料的至少一个凸极;至少一个定子,其包括:定子芯;凸出的顶板;凸出的底板;以及线圈单元,其与每个凸出的顶板和底板对相关联;其中,所述凸出的顶板和所述凸出的底板被连接到所述定子芯,并被所述定子芯隔开,并且构造成与所述至少一个转子的所述至少一个凸极接口,以在所述至少一个定子和所述至少一个转子之间形成闭合的磁通回路;以及隔离壁,其设置在所述顶板和所述底板之间,其中,所述隔离壁被构造成将所述定子芯与所述至少一个输送臂在其中操作的隔离环境隔离。34.如权利要求33所述的输送设备,其特征在于,每...
【专利技术属性】
技术研发人员:JT穆拉,U吉尔克里斯特,RT卡夫尼,
申请(专利权)人:布鲁克斯自动化公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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