蚀刻设备及其导正输送装置制造方法及图纸

技术编号:14068951 阅读:71 留言:0更新日期:2016-11-28 21:43
本实用新型专利技术公开了一种蚀刻设备及其导正输送装置,该导正输送装置包括输送装置以及导正装置,所述输送装置包括机架以及安装于该机架中的辊道;所述导正装置包括导轨、两个导正件以及导正件驱动装置;该导轨安装在所述机架上,并横跨在所述辊道的上方;该两个导正件可移动地安装在所述导轨上,并能够相互靠拢和远离;该导正件驱动装置分别与该两个导正件相配合,以驱动该两个导正件在该导轨上相向或相背移动。本实用新型专利技术中,由于在输送装置上设置了导正装置,使得片料在输送过程中能够被导正装置导正,以利于后续工序的作业。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种成型设备,尤其涉及一种蚀刻设备及其导正输送装置
技术介绍
现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中,通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而,随着电子技术的飞速发展,集成电路的体积越来越小,引脚的数量越来越多。此时,仍然采用传统的冲压方式已经难以达到足够的精度要求了。因此,有必要采用新的技术来替代。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于,提供一种蚀刻设备用导正输送装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种蚀刻设备用导正输送装置,包括输送装置以及导正装置,所述输送装置包括机架以及安装于该机架中的辊道;所述导正装置包括导轨、两个导正件以及导正件驱动装置;该导轨安装在所述机架上,并横跨在所述辊道的上方;该两个导正件可移动地安装在所述导轨上,并能够相互靠拢和远离;该导正件驱动装置分别与该两个导正件相配合,以驱动该两个导正件在该导轨上相向或相背移动。在一些实施例中,所述导轨包括两个平行布置的导杆,该导杆横向固定在该机架上,并位于所述辊道上方;每一导正件的两端部分别可移动地套设在该两个导杆上。在一些实施例中,所述导正件呈板状。在一些实施例中,每一导正件包括若干个导正齿,这些导正齿间隔地分
布于该导正件的下侧,并分别伸入到对应区域辊道的辊子的间隙中。在一些实施例中,所述导正齿呈柱状。在一些实施例中,所述导正件包括螺孔,该螺孔形成于该导正件的中部,并与所述导正件驱动装置相配合。在一些实施例中,该导正件驱动装置包括穿设在该两个导正件中的螺杆。在一些实施例中,该螺杆包括第一螺纹段以及第二螺纹段,该第一螺纹段和第二螺纹段的螺纹旋转方向相反;该两个导正件分别以螺孔套设于该第一螺纹段和第二螺纹段上。在一些实施例中,该导正件驱动装置包括与该螺杆相连接的驱动马达。在一些实施例中,该导正装置还包括用于感应片料是否达到的感应装置,该感应装置安装在该输送装置的入口位置,并与该驱动马达电性连接。提供一种蚀刻设备,依序包括卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、上述任一项中的导正输送装置、片式收料装置以及卷式收料装置。本技术的有益效果:本技术由于在输送装置上设置了导正装置,使得片料在输送过程中能够被导正装置导正,以利于后续工序的作业。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明,附图中:图1是本技术一些实施例中的蚀刻设备的侧视图;图2是图1所示蚀刻设备的俯视图;图3是图1所示蚀刻设备的导正输送装置的立体结构示意图。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。本技术一些实施例提供了一种蚀刻设备,该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型,具备成型精度高、成本低廉的优点。另
外,本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能,极大地满足了用户的不同需求。如图1及图2所示,本技术一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置I、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料,该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地,在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备,从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备,以将料带或片料由上游向下游平稳输送,该输送辊道B可包括一个可敞开的前端,以供片料放入,形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游,用于对料带进行校平,防止料带不够平整而影响到后续的蚀刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进,使得卷料被蚀刻呈片料时,料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗,防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中,而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干,在一些实施例中,在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻,以形成需要的成型结构;蚀刻装置可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗,剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离,并将具备菲林膜废渣回收功能,以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗,第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干;同样,第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料,卷式收料装置N用于收取卷料。在上述的蚀刻设备中,由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N,使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体
而言,当需要卷料进和卷料出时,则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时,只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时,只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此,该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。蚀刻设备在一些实施例中还可包括导正输送装置Q,该导正输送装置Q布置在片式收料装置M紧邻上游,用于以在片料输送的过程中对片料进行导正,防止片料走偏,以便于片料的收集。如图3所示,在一些实施例中,该导正输送装置Q可包括输送装置10以及安装在该输送装置10上的导正装置20,该输送装置10可以供片料于其上输送,该导正装置20用于在片料在输送装置10上跑偏时进行导正,例如,将跑偏的到边上的片料导正到输送装置10的中部。输送装置10在一些实施例中可包括机架11以及安装于机架11中的辊道13,该辊道13可包括多数个平行排列的辊子130以及与辊子相连接的辊子驱动机构(未图示),通过辊子在辊子驱动机构的驱动下转动,以实现片料的传输。为了降低片料的跑偏概率,辊子130均应当平直,且转速、尺寸等基本参数应当一致。导正装置20在一些实施例中可包括导轨21、两个导正件23以及导正件驱动装置25。该导轨21可固定在机架11上,并横跨在辊道13上方。该两个导正件23可移动地安装在导轨21上,并能够相互靠拢和远离,从而可以将跑偏到辊道13边上的片料拨动到中。该导正件驱动装置25分别与该两个导正件23相配合,以驱动该两个导正件23在该导轨21上相向或相背移动。该导轨21在一些实施例中可包括两个平行布置的导杆210,该导杆210横向固定在机架11上,并位于辊道13上方。该导正件23可呈板状,其两端部分别套设在该两个导杆210上,并可沿着导杆210的纵向来回滑动。该导正件23在一些实施例中还可包括若干个导正齿231,这些导正齿231间隔地分布于导正件23的下侧,而使得该导正件23整体呈耙子状。这些导正齿231分别伸入到对应区域的辊子130的每相邻间隙中,以确保对片料(特别是一些超薄片料)的接触。导正齿231在本文档来自技高网
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蚀刻设备及其导正输送装置

【技术保护点】
一种蚀刻设备用导正输送装置,包括输送装置,所述输送装置包括机架以及安装于该机架中的辊道;其特征在于,还包括导正装置,所述导正装置包括导轨、两个导正件以及导正件驱动装置;该导轨安装在所述机架上,并横跨在所述辊道的上方;该两个导正件可移动地安装在所述导轨上,并能够相互靠拢和远离;该导正件驱动装置分别与该两个导正件相配合,以驱动该两个导正件在该导轨上相向或相背移动。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻设备用导正输送装置,包括输送装置,所述输送装置包括机架以及安装于该机架中的辊道;其特征在于,还包括导正装置,所述导正装置包括导轨、两个导正件以及导正件驱动装置;该导轨安装在所述机架上,并横跨在所述辊道的上方;该两个导正件可移动地安装在所述导轨上,并能够相互靠拢和远离;该导正件驱动装置分别与该两个导正件相配合,以驱动该两个导正件在该导轨上相向或相背移动。2.根据权利要求1所述的蚀刻设备用导正输送装置,其特征在于,所述导轨包括两个平行布置的导杆,该导杆横向固定在该机架上,并位于所述辊道上方;每一导正件的两端部分别可移动地套设在该两个导杆上。3.根据权利要求2所述的蚀刻设备用导正输送装置,其特征在于,每一导正件包括若干个导正齿,这些导正齿间隔地分布于该导正件的下侧,并分别伸入到对应区域辊道的辊子的间隙中。4.根据权利要求3所述的蚀刻设备用导正输送装置,其特征在于,所述导正齿呈柱状。5.根据权利要求1至4任一项所述的蚀刻设备用导正输送装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏骞刘全胜金永哲乌磊孟敏
申请(专利权)人:深圳市奥美特科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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