一种三维微结构制备成型方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、Ｄ／Ａ接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，ＸＹ移动平台。本发明专利技术可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在１～１００ｕｍ量级内可调、纵横比可控（最大６∶１）。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、ＭＯＥＭＳ及微纳米技术等领域得到广泛应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三维微结构制备成型方法，其特征在于：在充满蒸馏水的容器中放置热塑性材料，激光束透过蒸馏水水体后聚焦到热塑性材料表面，产生一个微小的热融区，热融区的热塑性材料将沿着光轴向蒸馏水水体四周膨胀生长，并受蒸馏水水体的冷却而成型；在热塑性材料表面制备出底部稍大的凸起微结构，移动激光束，制备三维微结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：章海军，何玉琳，张冬仙，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]