一种蒸镀坩埚及蒸发源装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸发源装置，涉及蒸镀技术领域，相对现有技术既可避免蒸镀过程中余留在坩埚主体底部的待蒸镀材料因多次循环加热而劣化变质，又可以避免蒸镀过程中出现的喷溅现象。该蒸镀装置包括：外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。用于显示面板的制造。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸发源装置。
技术介绍
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)器件具有制作工艺简单、颜色可调、功耗低等诸多优点，在显示和照明领域都是开发与投资的热点。随着OLED显示器件的用途愈加广泛，其制作工艺也日趋成熟。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热传印等多种方式。在这些制作方法中，蒸镀方式是一种比较成熟的方法，且已经运用于量产。如图1所示，传统蒸镀坩埚包括坩埚主体10和盖在坩埚主体10的开口处的上盖20；坩埚主体10用于盛放待蒸镀材料30；上盖20设有出射孔。其蒸镀原理为：通过对蒸镀坩埚进行加热使待蒸镀材料30加热到一定温度发生蒸发或升华，从出射孔射出，从而凝聚沉积在待镀膜的基板表面形成薄膜。然而，在生产过程中，一方面，为了提高生产效率，通常会在坩埚主体10内加入较满的待蒸镀材料30，因而容易出现蒸镀材料30从出射孔向外喷溅的现象；另一方面，如图2所示，为了保证待蒸镀材料30量不多时也能维持稳定的蒸发速率，通常会选择在坩埚主体10的底部余留约10％的待蒸镀材料30，而再次填料时，若不废弃这些残余材料，这些残余材料就会沉积在坩埚主体10的底部经多次循环加热而劣化变质，若在再次填料前废弃这些残余材料，不仅会提高生产成本，而且会降低生产效率。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸发源装置，相对现有技术既可避免蒸镀过程中余留在坩埚主体底部的待蒸镀材料因多次循环加热而劣化变质，又可以避免蒸镀过程中出现喷溅现象。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一方面，提供一种蒸镀坩埚，包括外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。优选的，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间还设置有导热板，所述导热板与所述内坩埚和所述外坩埚接触；其中，所述导热板上设置有多个第二通孔。进一步优选的，所述导热板和所述外坩埚主体、所述内坩埚主体的材料相同。基于上述，优选的，所述内坩埚主体的底部设置为内凸型。进一步优选的，所述内坩埚主体的底部形状为倒V型。优选的，所述内坩埚主体的底部与所述外坩埚主体的底部接触。优选的，所述第一上盖通过外密封的方式与所述外坩埚主体接触，所述第二上盖通过内密封的方式与所述内坩埚主体接触。另一方面，提供一种蒸发源装置，包括上述第一方面所述的蒸镀坩埚，还包括外坩埚主体外侧的加热源。优选的，所述加热源为两个，分别与所述内坩埚主体的上部和下部对应。进一步优选的，导热板为两个，所述导热板分别与所述加热源对应设置。本专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸发源装置，通过将蒸镀坩埚设置为外坩埚嵌套内坩埚的结构，并且在内坩埚主体的侧壁的底部设置第一通孔，可以使待蒸镀材料受热蒸发后从内坩埚主体侧壁底部的第一通孔导出后，沿着内坩埚主体和外坩埚主体的侧壁之间的间隙从下到上移动，最终从第一上盖上的出射孔射出。这种嵌套式的结构使位于内坩埚主体底部的待蒸镀材料先被蒸发，位于内坩埚主体顶部的待蒸镀材料逐渐下沉到底部后被蒸发，这样相对现有技术，既可以避免为了保证稳定的蒸发速率而余留在坩埚主体底部的蒸镀材料被多次循环加热而劣化变质，又可以避免因在坩埚主体内加入较满的待蒸镀材料而导致蒸镀过程中出现喷溅现象。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图一；图2为现有技术提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图二；图3为本专利技术实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图一；图4(a)为本专利技术实施例提供的一种点源蒸镀坩埚的结构示意图；图4(b)为本专利技术实施例提供的一种线源蒸镀坩埚的结构示意图；图5(a)为本专利技术实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图二；图5(b)为本专利技术实施例提供的一种导热板的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图三；图7为本专利技术实施例提供的一种蒸发源装置的结构示意图一；图8为本专利技术实施例提供的一种蒸发源装置的结构示意图二。附图说明10-坩埚主体；20-上盖；30-待蒸镀材料；40-导热板；41-第二通孔；50-加热源；100-外坩埚；110-外坩埚主体；120-第一上盖；130-出射孔；200-内坩埚；210-内坩埚主体；220-第二上盖；230-第一通孔。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种蒸镀坩埚，如图3所示，包括外坩埚100和内坩埚200，内坩埚200嵌于外坩埚100内；具体的，外坩埚100包括外坩埚主体110和盖在外坩埚主体110的开口处的第一上盖120；第一上盖120上设有出射孔130；内坩埚200包括内坩埚主体210和盖在内坩埚主体210的开口处的第二上盖220；内坩埚主体210的侧壁底部设置有多个第一通孔230；其中，内坩埚主体210和外坩埚主体110的侧壁之间具有间隙。需要说明的是，第一，不对内坩埚主体210和外坩埚主体110的形状进行限定。优选内坩埚主体210和外坩埚主体110的形状相同，且内坩埚主体210和外坩埚主体110的侧壁之间间隙的宽度一致。其中，对于内坩埚主体210和外坩埚主体110的侧壁之间间隙的宽度，能使蒸发为气态的蒸镀材料顺畅通过，且使第二坩埚主体210的容积尽量大为准，例如间隙可以为1～5mm。此外，不对内坩埚主体210和外坩埚主体110的材料进行限定，满足耐高温、导热性能好且不易形变即可。例如：内坩埚主体210和外坩埚主体110的材料可选用钛、铜、铝等金属，也可以选用石英、陶瓷等材料。第二，不对外坩埚主体110和第一上盖120的盖合方式进行限定，能够盖紧外坩埚主体110的开口即可。例如，可以在第一坩埚主体110的开口处的外表面设有外螺纹，在第一上盖120内表面设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，第一上盖120与第一坩埚主体110的盖合方式为螺纹拧合。当然，第一上盖120的材料不能与待蒸镀材料30发生反应。此外，不对内坩埚主体210和第二上盖220的盖合方式进行限定，能实现对内坩埚主体210的开口进行盖合即可，优选盖合后能实现密封。例如，可以在第二坩埚主体210的开口处的内表面设有内螺纹，在第二上盖220外表面设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，第二上盖220与第二坩埚主体210的盖合方式为螺纹拧合。当然，第二上盖220的材料不能与待蒸镀材料30发生反应。在上述基础上，对于第一上盖120和第二上盖220之间的距离，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括外坩埚和内坩埚，所述内坩埚嵌于所述外坩埚内；所述外坩埚包括外坩埚主体和盖在所述外坩埚主体的开口处的第一上盖；所述第一上盖设有出射孔；所述内坩埚包括内坩埚主体和盖在所述内坩埚主体的开口处的第二上盖；所述内坩埚主体的侧壁底部设置有多个第一通孔；其中，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述内坩埚主体和所述外坩埚主体的侧壁之间还设置有导热板，所述导热板与所述内坩埚和所述外坩埚接触；其中，所述导热板上设置有多个第二通孔。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热板和所述外坩埚主体、所述内坩埚主体的材料相同。4.根据权利要求1-3任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨一帆，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11