接触式LTPS的检测方法以及用于该方法的焊盘结构技术

技术编号:14056403 阅读:103 留言:0更新日期:2016-11-27 02:01
本发明专利技术提供了一种接触式LTPS的检测方法和用于接触式LTPS检测的焊盘结构,所述检测方法包括:提供LTPS器件,LTPS器件包括多个待检测的焊盘;在多个待检测的焊盘中设一第一测试焊盘与一第二测试焊盘,并将第一测试焊盘与第二测试焊盘电性连接;提供探针,将探针搭接各待检测的焊盘、第一测试焊盘以及第二测试焊盘;在第一测试焊盘上施加电压,量测第二测试焊盘的电压,从而确定探针与待检测的焊盘的接触状态。本发明专利技术通过在LTPS器件的多个待检测的焊盘中设置的第一测试焊盘与第二测试焊盘,检测时如果量测到第二测试焊盘的电压,则表示探针与焊盘接触正常;如果量测不到第二测试焊盘的电压,则表示探针与焊盘之间发生接触位移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及低温多晶硅LTPS
,尤其是指一种接触式LTPS的检测方法以及用于该方法的焊盘结构
技术介绍
低温多晶硅技术LTPS(Low Temperature Poly-silicon)最初是为了降低Note-PC显示屏的能耗,令Note-PC显得更薄更轻而研发的技术,大约在九十年代中期这项技术开始走向试用阶段。由LTPS衍生的新一代有机发光二极管显示面板OLED也于1998年正式走上实用阶段,它的最大优势在于超薄、重量轻、低耗电,可以提供更艳丽的色彩和更清晰的影像。在现行LTPS电性检测中,有分为接触式量测与非接触式量测,如图1所示,接触式量测大都使用探针70接触LTPS器件的焊盘(Pad)80进行电性量测,其中,LTPS器件包括多个焊盘80,探针接触时若每个探针70均接触到焊盘80,则接触正常。但是探针接式触量测往往因为测试的焊盘80的设计不会太大,探针70与焊盘80的位置无法准确对位,而发生Contact shift(接触位移)的问题。如图2与图3所示,是两种Contact shift的示例图,在图2中,是因为探针70角度发生倾斜导致无法与焊盘80准确对位。在图3中,是因为探针70上下左右的偏移导致无法与焊盘80准确对位。所以在现行LTPS电性检测中,当contact shift发生后,如果各焊盘80之间没有形成有回路90,则无法测试是否为探针搭接存在问题;即使各焊盘80之间形成有回路90,但如果遇到是产品制程上的问题造成回路失效,也无法立即判断是探针搭接问题还是产品质量的问题,就需要浪费时间与人工去判断分析contact shift是探针搭接问题造成的还是产品本身质量问题造成的。
技术实现思路
有鉴于上述问题,本专利技术的目的在于降低因Contact shift而避免重工与影响到量测数据分析,在接触时进行探针检测,进而实时预警及判断是否为探针搭接问题或是产品本身质量问题。为达到上述目的,本专利技术提供了一种接触式LTPS的检测方法,包括以下步骤:提供LTPS器件,所述LTPS器件包括多个待检测的焊盘;在所述多个待检测的焊盘中设一第一测试焊盘与一第二测试焊盘,并将所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘电性连接;提供探针,将所述探针搭接各所述待检测的焊盘、所述第一测试焊盘以及所述第二测试焊盘;在所述第一测试焊盘上施加电压,量测所述第二测试焊盘的电压,从而确定所述探针与所述待检测的焊盘的接触状态。本专利技术接触式LTPS的检测方法通过在LTPS器件的多个待检测的焊盘中设置的第一测试焊盘与第二测试焊盘,且是电性连接在一起的,检测时如果量测到所述第二测试焊盘的电压,则表示探针与焊盘接触正常;检测时如果量测不到所述第二测试焊盘的电压,则表示探针与焊盘之间发生接触位移。本专利技术接触式LTPS的检测方法的进一步改进在于,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘分别设置于所述多个待检测的焊盘的两侧。本专利技术接触式LTPS的检测方法的进一步改进在于,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘之间包含所述多个待检测的焊盘。本专利技术接触式LTPS的检测方法的进一步改进在于,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘分别位于所述多个待检测的焊盘的最外方两侧。专利技术接触式LTPS的检测方法,将测试焊盘设置在多个待检测的焊盘的最左侧及最右侧。如果最两端的第一测试焊盘与第二测试焊盘接触正常,则它们之间的待检测的焊盘全部接触正常;如果最两端的第一测试焊盘与第二测试焊盘接触不正常,则它们之间的待检测的焊盘存在接触位移。这样,如果探针在搭接焊盘时发生角度倾斜,也可以检测得出。本专利技术还提供了一种用于接触式LTPS检测的焊盘结构,包括多个待检测的焊盘,所述多个待检测的焊盘中设有一第一测试焊盘与一第二测试焊盘,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘电性连接。本专利技术用于接触式LTPS检测的焊盘结构的进一步改进在于,所述第
一测试焊盘与所述第二测试焊盘分别设置于所述多个待检测的焊盘的两侧。本专利技术用于接触式LTPS检测的焊盘结构的进一步改进在于,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘之间包含所述多个待检测的焊盘。本专利技术用于接触式LTPS检测的焊盘结构的进一步改进在于,所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘分别位于所述多个待检测的焊盘的最外方两侧。本专利技术接触式LTPS的检测方法还具有以下有益效果:1.通过在LTPS器件的多个待检测的焊盘中增设第一测试焊盘与第二测试焊盘,无须占用大面积设计相关测试回路,就可明确实时反应探针的接触情况。2.可有效立即预警Contact shift,避免重工的发生机会,有效控制产线量测时间。附图说明图1是现有技术的LTPS电性检测中探针正常接触时的示意图。图2是现有技术的LTPS电性检测中探针角度发生倾斜时的示意图。图3是现有技术的LTPS电性检测中探针上下左右偏移时的示意图。图4是本专利技术接触式LTPS的检测方法的流程图。图5是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第一种实施例中探针正常接触时的示意图。图6是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第二种实施例中探针正常接触时的示意图。图7是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第一种实施例中探针上下左右偏移时的示意图。图8是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第二种实施例中探针上下左右偏移时的示意图。图9是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第一种实施例中探针角度发生倾斜时的示意图。图10是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第二种实施例中探针角度发生倾斜时的示意图。图11是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第三种实施例中探针正常
接触时的示意图。图12是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第三种实施例中探针上下左右偏移时的示意图。图13是本专利技术接触式LTPS的检测方法的第三种实施例中探针角度发生倾斜时的示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术,并不用于限定本专利技术。配合参看图5与图6所示,本专利技术用于接触式LTPS检测的焊盘结构,包括多个待检测的焊盘20,所述多个待检测的焊盘20中设有一第一测试焊盘110与一第二测试焊盘120,第一测试焊盘110与第二测试焊盘120可以设在任意位置,所述第一测试焊盘110与所述第二测试焊盘120电性连接。各所述多个待检测的焊盘20、所述第一测试焊盘110与所述第二测试焊盘120之间可形成有回路40。优选地,所述第一测试焊盘110与所述第二测试焊盘120之间包含所述多个待检测的焊盘20,并且,所述第一测试焊盘110与所述第二测试焊盘120分别位于所述多个待检测的焊盘20的最外方两侧。再结合图4所示,本专利技术的接触式LTPS的检测方法,包括以下步骤:S101提供LTPS器件,所述LTPS器件包括多个待检测的焊盘20;S102在所述多个待检测的焊盘20中设一第一测试焊盘110与一第二测试焊盘120,并将所述第一测试焊盘110与所述第二测试焊盘120电性连接;S103提供探针30,将所述探针30搭接各所述待检测的焊盘20、所述第一测试焊盘110以及所述第二测试焊盘120;S104在所述第一测试焊盘110上施加电压,量测所述第二测试焊盘120的电压,从而确定所述探针30与所述待本文档来自技高网
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接触式LTPS的检测方法以及用于该方法的焊盘结构

【技术保护点】
一种接触式LTPS的检测方法,其特征在于包括以下步骤:提供LTPS器件,所述LTPS器件包括多个待检测的焊盘;在所述多个待检测的焊盘中设一第一测试焊盘与一第二测试焊盘,并将所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘电性连接;提供探针,将所述探针搭接各所述待检测的焊盘、所述第一测试焊盘以及所述第二测试焊盘;在所述第一测试焊盘上施加电压,量测所述第二测试焊盘的电压,从而确定所述探针与所述待检测的焊盘的接触状态。

【技术特征摘要】
1.一种接触式LTPS的检测方法,其特征在于包括以下步骤:提供LTPS器件,所述LTPS器件包括多个待检测的焊盘;在所述多个待检测的焊盘中设一第一测试焊盘与一第二测试焊盘,并将所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘电性连接;提供探针,将所述探针搭接各所述待检测的焊盘、所述第一测试焊盘以及所述第二测试焊盘;在所述第一测试焊盘上施加电压,量测所述第二测试焊盘的电压,从而确定所述探针与所述待检测的焊盘的接触状态。2.如权利要求1所述的接触式LTPS的检测方法,其特征在于所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘分别设置于所述多个待检测的焊盘的两侧。3.如权利要求1所述的接触式LTPS的检测方法,其特征在于所述第一测试焊盘与所述第二测试焊盘之间包含所述多个待检测的焊盘。4.如权利要求3所述的接触式L...

【专利技术属性】
技术研发人员:李原欣
申请(专利权)人:上海和辉光电有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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