玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种可降低对环境施加的负载、且可抑制玻璃基板的表面污染的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。端面磨削装置(20)通过使倒角磨石(40)接触于玻璃基板(10)的端面(11a)且使倒角磨石(40)相对于玻璃基板(10)相对性地移动而对端面(11a)进行加工。端面磨削装置(20)对倒角磨石(40)与端面(11a)的接触部(13)供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对接触部(13)进行冷却。端面磨削装置(20)使收纳倒角磨石(40)的壳体(30)的内部空间(81)相对于外部空间(82)成为负压而从内部空间(81)抽吸冷却液，由此抑制冷却液流出至外部空间(82)而污染玻璃基板(10)。此外，端面磨削装置(20)降低冷却液的使用量而降低对环境施加的负载。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。
技术介绍
液晶显示器及等离子显示器等平板显示器(FPD，flat panel display)的制造中所使用的玻璃基板，通过例如溢流下拉法而制造。在溢流下拉法中，流入至成形体的上表面的槽中并溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下且在成形体的下端合流，由此连续地成形玻璃带。成形的玻璃带一面被向下方拉伸一面冷却，其后，进行切断而获得特定尺寸的玻璃基板。所获得的玻璃基板经过端面加工步骤、表面清洗步骤及检查步骤等后捆包而出货。在将玻璃带切断为特定尺寸的玻璃基板的步骤中，一般而言使用利用切割器或激光的切断方法。在利用切割器的切断方法中，在玻璃带上机械性地形成裂缝而将其切断。因此，在玻璃基板的切断面上形成有数μm～100μm左右深度的裂痕。该裂痕导致玻璃基板的机械强度劣化。此外，在利用激光的切断方法中，利用热应力在玻璃带上形成裂缝而将其切断。因此，玻璃基板的切断面成为锐利且易于形成缺陷的状态。存在于玻璃基板的切断面上的形成有裂痕及锐利的部分的层被称为脆性破坏层，必须通过对切断面进行磨削及研磨而除去。即，为了提高玻璃基板的机械强度，抑制玻璃基板的缺陷的产生且使后步骤的处理变得容易，而进行玻璃基板的端面加工步骤。以往，在玻璃基板的端面加工步骤中，进行将玻璃基板的端面(切断面)的角部倒角的倒角步骤。在倒角步骤中，使旋转的磨削轮接触于玻璃基板的端面且使磨削轮相对于玻璃基板而相对性地移动，由此对玻璃基板的端面进行磨削。磨削轮为金刚石轮等金属结合剂轮。磨削轮与玻璃基板的端面接触的部位即接触部的温度因摩擦热而上升。当玻璃基板的端面的温度因该摩擦热而上升时，存在端面附近的玻璃变质而对作为制品出货的玻璃基板的品质造成不良影响的顾虑。因此，以往在倒角步骤中，如专利文献1(日本专利特公昭62-43834号公报)所揭示般采用如下方法，即对磨削轮与玻璃基板的端面之间的接触部供给冷却液，而抑制玻璃基板的端面的温度上升。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特公昭62-43834号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在倒角步骤中使用的冷却液例如为纯水及包含有机物的水溶液。包含非离子系表面活性剂作为有机物的水溶液的冷却性能高于纯水。然而，在使用包含非离子系表面活性剂的水溶液作为冷却液的情况下，从降低对环境施加的负载的目的考虑，优选冷却液的使用量较少。此外，在倒角步骤中，当包含非离子系表面活性剂的冷却液附着于玻璃基板的表面时，因以下理由而有玻璃基板的品质降低的顾虑。例如在FPD的制造中所使用的玻璃基板，在表面配置黑矩阵、及使红色(R)·绿色(G)·蓝色(B)的光透过的波长选择元件即RGB像素而形成有彩色滤光片。黑矩阵阻断未配置RGB像素的区域的背光源的漏光而防止相互邻接的RGB像素的混色，由此提高显示对比度。然而，当冷却液中所含的非离子系表面活性剂残留在玻璃基板的表面上时，黑矩阵有可能无法充分密接于玻璃基板的表面。因此，要求抑制由倒角步骤中所使用的冷却液所致的玻璃基板的表面污染。本专利技术的目的在于提供可降低对环境施加的负载、且可抑制玻璃基板的表面污染的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。[解决问题的技术手段]本专利技术的玻璃基板的制造方法是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使磨石相对于玻璃基板相对性地移动而对端面进行加工的方法。该玻璃基板的制造方法包括磨削步骤、冷却步骤、及抽吸步骤。磨削步骤是通过使收纳在壳体中的磨石旋转，且使旋转的磨石接触于端面而对端面进行磨削的步骤。冷却步骤为如下步骤，即对磨石与端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对接触部进行冷却。抽吸步骤为如下步骤，即通过使壳体的内部空间相对于壳体的外部空间成为负压，而从内部空间抽吸冷却液。壳体具有用以将玻璃基板插入至内部空间的狭缝。在该玻璃基板的制造方法中，在使旋转的磨石接触于玻璃基板的端面而对端面进行磨削时，对磨石与端面相互接触的部位即接触部供给冷却液而使接触部的端面的温度降低。由此，抑制因磨石与端面之间的摩擦热而使接触部的端面的温度上升，从而端面附近的玻璃变质而玻璃基板的品质降低。此外，供给至接触部的冷却液被从收纳磨石的壳
体的内部空间抽吸，因此可降低飞散至壳体的外部空间而附着于玻璃基板上的冷却液的量。因此，抑制由冷却液所致的玻璃基板的表面污染。此外，通过对从壳体的内部空间抽吸的冷却液加以回收并进行适当处理，而降低对环境施加的负载。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境造成的负载，且可抑制玻璃基板的表面污染。此外，本专利技术的玻璃基板的制造方法优选还包括将在抽吸步骤中抽吸的冷却液回收的回收步骤。在冷却步骤中，使用回收步骤中所回收的冷却液的至少一部分对接触部进行冷却。在该玻璃基板的制造方法中，对在供给至接触部之后被抽吸的冷却液进行回收，进而再利用所回收的冷却液，由此可降低冷却液的使用量。包含非离子系表面活性剂等有机物的冷却液如果被排出至外部则有对环境造成不良影响的顾虑。因此，优选该冷却液的使用量较少。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境施加的负载。此外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选壳体还包括抽吸内部空间的冷却液的抽吸口。抽吸口在内部空间中相对于磨石而形成于狭缝的相反侧。在该玻璃基板的制造方法中，在供给至接触部的冷却液最难以被抽吸的位置，设置从内部空间抽吸冷却液的抽吸口。因此，抑制在通过供给至接触部的冷却液而将接触部的端面充分冷却之前抽吸冷却液。由此，该玻璃基板的制造方法可有效率地进行玻璃基板的端面的冷却。此外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选在冷却步骤中，相对于接触部而在磨石的旋转方向上游侧，通过将冷却液按压于磨石而对接触部供给冷却液。在该玻璃基板的制造方法中，通过冷却液所按压的磨石与端面接触，而对接触部供给冷却液来对端面进行冷却。由此，不对接触部直接喷出冷却液即可对接触部有效率地供给冷却液。因此，可降低未供给至接触部而无助于端面的冷却的冷却液的量，因此降低冷却液的使用量。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境施加的负载。此外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选在抽吸步骤中，通过调节狭缝的宽度而控制从外部空间经由狭缝流入至内部空间的气体的流速。在该玻璃基板的制造方法中，例如，可通过使壳体的狭缝的宽度变窄而增加通过狭缝的气体的流速。通过狭缝的气体的流速越大，从壳体的内部空间经由狭缝流出至外部空间的冷却液的量越降低，因此可使供给至接触部的冷却液的量增加。由此，该玻璃基板的制造方法可通过调节狭缝的宽度而控制能供给至接触部的冷却液的量。此外，在本专利技术的玻璃基板的制造方法中，优选狭缝包括用以夹持玻璃基板的一对毛刷。在抽吸步骤中，通过调节一对毛刷的间隔而控制从外部空间经由狭缝流入至内部
空间的气体的流速。在该玻璃基板的制造方法中，例如，通过使设置在狭缝的一对毛刷的间隔变窄而可增大通过狭缝的气体的流速。通过狭缝的气体的流速越大，从壳体的内部空间经由狭缝流出至外部空间的冷却液的量越降低。如果抑制冷却液向外部空间的流出，则可调整对接触部的冷却液的供给量，从而可使供给至接触部的冷却液的量增加。由此，该玻璃基板的制造方法可通过调节一对毛刷的间隔而控制能供给至接触部的冷却液的量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使所述磨石相对于所述玻璃基板相对性地移动而对所述端面进行加工的方法，且包括：磨削步骤，通过使收纳于壳体中的所述磨石旋转且使旋转的所述磨石接触于所述端面而对所述端面进行磨削；冷却步骤，对所述磨石与所述端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对所述接触部进行冷却；及抽吸步骤，通过使所述壳体的内部空间相对于所述壳体的外部空间成为负压，而从所述内部空间抽吸所述冷却液；且所述壳体具有用以将所述玻璃基板插入至所述内部空间的狭缝。

【技术特征摘要】
2014.09.29 JP 2014-1989421.一种玻璃基板的制造方法，其是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使所述磨石相对于所述玻璃基板相对性地移动而对所述端面进行加工的方法，且包括：磨削步骤，通过使收纳于壳体中的所述磨石旋转且使旋转的所述磨石接触于所述端面而对所述端面进行磨削；冷却步骤，对所述磨石与所述端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对所述接触部进行冷却；及抽吸步骤，通过使所述壳体的内部空间相对于所述壳体的外部空间成为负压，而从所述内部空间抽吸所述冷却液；且所述壳体具有用以将所述玻璃基板插入至所述内部空间的狭缝。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其还包括将在所述抽吸步骤中抽吸的所述冷却液回收的回收步骤，且在所述冷却步骤中，使用所述回收步骤中所回收的所述冷却液的至少一部分而对所述接触部进行冷却。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述壳体还具有抽吸所述内部空间的所述冷却液的抽吸口，且所述抽吸口在所述内部空间相对于所述磨石而形成在所述狭缝的相反侧。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪饲修，铃木睦规，小林健二，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP