一种基于气动的微纳米压印脱模结构制造技术

本发明专利技术公开了一种基于气动的微纳米压印脱模结构。在工作台上装有聚合物夹紧罩，模板装在夹紧罩的下端，模板上端面装有活塞，套筒和夹紧罩固连，套筒与活塞的上下移动，使模板在夹紧罩中作上下移动，模板下端面设有滑道，内装有弹簧及滑块，模具夹紧气道从夹紧罩接入后，通过模板接入滑道内，能使滑块在模板下端面滑道中滑动，脱模气道从夹紧罩接入后，脱模气道从模板中穿过，密封圈安装于夹紧罩的下端面。本发明专利技术脱模平稳，聚合物及模具受力均匀；压印好的微结构的破坏降至最小，模具得到保护，降低了压印的成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于气动的微纳米压印脱模结构，其特征在于：在尚未分离的模具（１２）及聚合物（２）的工作台（１）上装有聚合物夹紧罩（７），模板（５）安装在聚合物夹紧罩（７）的下端并面对模具（１２），模板（５）上端面装有活塞（９），套筒（８）和聚合物夹紧罩（７）固连，套筒（８）与活塞（９）相配后，套筒（８）与活塞（９）的上下移动，能使模板（５）在聚合物夹紧罩（７）中作上下移动，模板（５）下端面设有滑道，滑道内装有弹簧（３）及滑块（４），模具夹紧气道（６）从聚合物夹紧罩（７）接入后，通过模板（５）接入滑块（４）内，能使滑块（４）在模板（５）下端面滑道中滑动，脱模气道（１０）从聚合物夹紧罩（７）接入后，脱模气道（１０）从模板（５）中穿过，密封圈（１１）安装于聚合物夹紧罩（７）的下端面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺永，傅建中，陈子辰，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[]