一种固化设备及固化方法技术

本发明专利技术涉及显示技术领域，公开一种固化设备及固化方法，固化设备包括固化腔室、基台以及加热板，加热板用于加热基板，还包括多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，第一顶针和第二顶针交错排列，第一顶针安以及第二顶针安装于基台，且在第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且第二顶针的顶端设有与气流通道相连通用于喷出气体的开口，第二顶针的顶端与基台的距离小于第一顶针的顶端与基台的距离；控制装置用于控制第一顶针以及第二顶针的动作，控制第一顶针向下运动，在基板运动至设定高度时控制第二顶针的开口喷出气体且基板悬浮时控制加热板加热基板，固化完成后控制第一顶针向上运动，且控制第二顶针喷气停止不早于第一顶针与基板的接触。

Curing equipment and curing method

The present invention relates to the field of display technology, discloses a curing apparatus and method of curing, curing equipment including curing chamber, the base station and the heating plate, the heating plate for heating the substrate also includes a plurality of first and second thimble thimble and control device, the first and the second thimble thimble staggered, the first and the second thimble thimble is installed. On the base, and is provided with a gas channel is connected with the gas source in second and the top second in the thimble, the thimble is connected with the air passage opening in general exhaust gas, the top second thimble and base station is less than the distance between the top and the first thimble base station distance; the control device is used for controlling the first and second thimble thimble the control of the first thimble downward movement in motion to control the second thimble set height of the substrate and the substrate suspension opening to exhaust gas The heating device is used for controlling the heating plate to heat the substrate, after the solidification is completed, the first thimble is controlled to move upwards, and the control of the second thimble is not stopped earlier than the contact between the first thimble and the base plate.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种固化设备及固化方法。
技术介绍
在显示
，PI(聚酰亚胺树脂)膜(配向膜)用于控制液晶分子排列方向，通过取向层印刷机将配向膜原液涂布于阵列基板和彩膜基板上，然后在一定温度的预固化炉中进行一定时间的溶剂挥发而固化形成。目前的预固化炉采用支撑顶针来支撑基板，进入预固化炉的基板放置在支撑顶针上，且在基板位于预固化炉的整个时间段内支撑顶针一直与基板相接触，直至基板离开预固化炉，这种支撑顶针与基板接触式的支撑方式能够利用支撑顶针的支撑完成固化过程，但是由于支撑顶针和空气的热传导系数有差异，导致基板和支撑顶针接触的位置出现受热不均，导致配向膜固化不均匀，影响到基板表面配向膜干燥的均一性，从而产生姆拉不良，另外，由于支撑顶针必需与基板相接触，使得基板的表面容易被顶针划伤。
技术实现思路
本专利技术提供一种固化设备及固化方法，该固化设备在固化工艺过程中采用气体支撑基板，使得基板在悬浮状态下完成固化，以避免在固化过程中第一顶针与基板相接触，进而减少姆拉不良，提高产品良率。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种固化设备，用于对涂覆有配向膜原液的基板进行固化，包括固化腔室和设置在所述固化腔室内的基台以及加热板，所述加热板用于加热所述基板，还包括用于支撑所述基板的多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，所述第一顶针和第二顶针交错排列，其中：所述第一顶针的底端可移动地安装于所述基台，且多个所述第一顶针的顶端配合形成基板支撑面；所述第二顶针的底端固定安装于所述基台，且在所述第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且所述第二顶针的顶端设有与所述气流通道相连通用于喷出气体的开口，沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述第二顶针的顶端与基台的距离小于所述第一顶针的顶端与基台的距离；所述控制装置与所述第一顶针、第二顶针以及加热板相连，用于控制所述第一顶针的移动以及第二顶针的开口喷气，在所述基板进入所述固化腔室时控制所述第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向下运动，在基板向下运动至设定高度时控制所述第二顶针的开口喷出气体以支撑所述基板且所述基板处于悬浮状态时控制加热板加热所述基板，在固化完成后控制装置控制第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向上运动，且控制所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触。在上述固化设备中，在基板进入固化腔室时，由于沿垂直于基板支撑面的方向，第二顶针的顶端与基台的距离小于第一顶针的顶端与基台的距离，基板先于第一顶针相接触，且在基板位于基板支撑面上时，控制装置控制第一顶针沿垂直于基板支撑面的方向向下运动至设定高度，然后控制装置控制第二顶针的开口喷出气体以支撑基板，接着在基板处于悬浮状态时控制加热板加热基板，由于此时第一顶针与基板不接触避免了姆拉不良的产生，最后在完成固化后控制装置控制第一顶针沿垂直于基板支撑面的方向向上运动，且控制装置控制第二顶针的开口喷气停止不早于第一顶针与基板的接触，以避免基板直接掉落在第一顶针上，造成基板损伤。因此，上述固化设备在固化工艺过程中采用气体支撑基板，使得基板在悬浮状态下完成固化，以避免在固化过程中第一顶针与基板相接触，进而减少姆拉不良，提高产品良率。优选地，所述气源为气泵，所述气泵与所述第二顶针相连。优选地，还包括加热装置，所述加热装置与所述气泵相连，用于加热所述气泵内的气体。优选地，所述第二顶针为中空腔体，且所述开口连通所述中空腔体，所述中空腔体与所述气泵相连接。优选地，所述控制装置与所述气泵相连，用于控制所述气泵输入所述中空腔体的气体量。优选地，所述控制装置包括调节阀，所述调节阀安装于所述气泵与所述中空腔体之间，用于调节气泵输入所述中空腔体的气体量。优选地，位于所述基板周边的第一顶针所喷出的气体量大于位于所述基板中间区域的第二顶针所喷出的气体量。优选地，还包括驱动模块，所述驱动模块与所述第一顶针以及控制装置相连接，所述驱动模块用于驱动所述第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向移动，所述控制装置用于控制所述驱动模块的驱动量。优选地，所述驱动模块包括气缸和行程开关，所述气缸与所述第一顶针相连接，用于驱动所述第一顶针沿垂直于所述基板承载面的方向运动，所述行程开关设置在固化腔室的设定高度位置，用于控制所述气缸的动作量。优选地，所述驱动模块为驱动马达。优选地，所述第二顶针采用Peek材料制成。一种的固化设备的固化方法，包括：控制承载涂覆有配向膜原液的基板的第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向下运动，直至所述基板到达设定高度；控制第二顶针的开口喷出气体以支撑所述基板，直至所述基板处于悬浮状态，且控制第二顶针的开口继续以所述基板处于悬浮状态时的气流量喷出气体；控制加热板加热所述基板，直至固化完成；控制第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向上运动；控制第二顶针的开口喷出气体的气流量减少，且所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触。优选地，所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触，具体包括：在所述第一顶针运动至与基板相接触时，第二顶针的开口喷气停止。优选地，所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触，具体包括：所述第一顶针至与基板的接触早于第二顶针的开口喷气停止。优选地，所述控制第二顶针的开口喷出气体的气流量缓慢变化。附图说明图1为本专利技术提供的一种固化设备的结构示意图；图2为本专利技术提供的一种固化方法的流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，一种固化设备，用于对涂覆有配向膜原液的基板1进行固化，包括固化腔室和设置在固化腔室内的基台以及加热板2，加热板2用于加热基板1，还包括用于支撑基板1的多个第一顶针3和多个第二顶针4以及控制装置，第一顶针3和第二顶针4交错排列，其中：第一顶针3的底端可移动地安装于基台，且多个第一顶针3的顶端配合形成基板支撑面；第二顶针4的底端固定安装于基台，且在第二顶针4内设有与气源相连的气流通道42，且第二顶针4的顶端设有与气流通道42相连通用于喷出气体的开口41，沿垂直于基板支撑面的方向，第二顶针4的顶端与基台的距离小于第一顶针3的顶端与基台的距离；控制装置与第一顶针3、第二顶针4以及加热板2相连，用于控制第一顶针3的移动以及第二顶针4的开口41喷气，在基板1进入固化腔室时控制第一顶针3沿垂直于基板支撑面的方向向下运动，在基板1向下运动至设定高度时控制第二顶针4的开口41喷出气体以支撑基板1且基板1处于悬浮状态时控制加热板2加热基板1，在固化完成后控制装置控制第一顶针3沿垂直于基板支撑面的方向向上运动，且控制第二顶针4的开口41喷气停止不早于第一顶针3与基板1的接触。在上述固化设备中，在基板1进入固化腔室时，由于沿垂直于基板支撑面的方向，第二顶针4的顶端与基台的距离小于第一顶针3的顶端与基台的距离，基板1先于第一顶针3相接触，且在基板1位于基板支撑面上时，控制装置控制第一顶针3沿垂直于基板支撑面的方向向下运动至设定高度，然本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固化设备，用于对涂覆有配向膜原液的基板进行固化，包括固化腔室和设置在所述固化腔室内的基台以及加热板，所述加热板用于加热所述基板，其特征在于，还包括用于支撑所述基板的多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，所述第一顶针和第二顶针交错排列，其中：所述第一顶针的底端可移动地安装于所述基台，且多个所述第一顶针的顶端配合形成基板支撑面；所述第二顶针的底端固定安装于所述基台，且在所述第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且所述第二顶针的顶端设有与所述气流通道相连通用于喷出气体的开口，沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述第二顶针的顶端与基台的距离小于所述第一顶针的顶端与基台的距离；所述控制装置与所述第一顶针、第二顶针以及加热板相连，用于控制所述第一顶针的移动以及第二顶针的开口喷气，在所述基板进入所述固化腔室时控制所述第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向下运动，在基板向下运动至设定高度时控制所述第二顶针的开口喷出气体以支撑所述基板且所述基板处于悬浮状态时控制加热板加热所述基板，在固化完成后控制装置控制第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向上运动，且控制所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触。...

【技术特征摘要】
1.一种固化设备，用于对涂覆有配向膜原液的基板进行固化，包括固化腔室和设置在所述固化腔室内的基台以及加热板，所述加热板用于加热所述基板，其特征在于，还包括用于支撑所述基板的多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，所述第一顶针和第二顶针交错排列，其中：所述第一顶针的底端可移动地安装于所述基台，且多个所述第一顶针的顶端配合形成基板支撑面；所述第二顶针的底端固定安装于所述基台，且在所述第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且所述第二顶针的顶端设有与所述气流通道相连通用于喷出气体的开口，沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述第二顶针的顶端与基台的距离小于所述第一顶针的顶端与基台的距离；所述控制装置与所述第一顶针、第二顶针以及加热板相连，用于控制所述第一顶针的移动以及第二顶针的开口喷气，在所述基板进入所述固化腔室时控制所述第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向下运动，在基板向下运动至设定高度时控制所述第二顶针的开口喷出气体以支撑所述基板且所述基板处于悬浮状态时控制加热板加热所述基板，在固化完成后控制装置控制第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向上运动，且控制所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触。2.根据权利要求1所述的固化设备，其特征在于，所述气源为气泵，所述气泵与所述第二顶针相连。3.根据权利要求2所述的固化设备，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置与所述气泵相连，用于加热所述气泵内的气体。4.根据权利要求2所述的固化设备，其特征在于，所述第二顶针为中空腔体，且所述开口连通所述中空腔体，所述中空腔体与所述气泵相连接。5.根据权利要求2所述的固化设备，其特征在于，所述控制装置与所述气泵相连，用于控制所述气泵输入所述中空腔体的气体量。6.根据权利要求5所述的固化设备，其特征在于，所述控制装置包括调节阀，所述调节阀安装于所述气泵与所述中空腔体之间，用于调节气泵输入所述中空腔体的气体量。7.根据权利要求5所述的固化设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建政，刘聪聪，陈力，郑先锋，程晋燕，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34