光刻胶前烘方法、装置及光刻设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备，属于显示技术领域。所述装置包括：加热板和温度调节组件；该加热板包括多个加热单元，该加热板用于通过该多个加热单元对待烘烤基板进行加热；该温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节该加热板中每个加热单元的加热参数，该加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种，因此本发明专利技术实施例提供的光刻胶前烘装置能够为待烘烤基板上不同的烘烤区域提供不同的加热温度和加热时长，提高了该光刻胶前烘装置的使用灵活性。本发明专利技术用于对光刻胶进行前烘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别涉及一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备。
技术介绍
在制备薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)阵列基板的过程中，需要经过涂覆光刻胶、前烘、曝光、显影和后烘等光刻工序。其中，前烘工序主要用于预热光刻胶，以及去除光刻胶中的水分，以增加光刻胶与基板之间的附着力。相关技术中，光刻工序中所采用的光刻胶前烘装置一般为加热板，该加热板能够承载并加热待烘烤的基板。但是，相关技术中的光刻胶前烘装置只能均匀加热待烘烤的基板，该光刻胶前烘装置的使用灵活性较差。
技术实现思路
为了解决相关技术中光刻胶前烘装置使用灵活性较差的问题，本专利技术提供了一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备。所述技术方案如下：一方面，提供了一种光刻胶前烘装置，所述装置包括：加热板和温度调节组件；所述加热板包括多个加热单元，所述加热板用于通过所述多个加热单元对待烘烤基板进行加热；所述温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种。可选的，所述装置还包括：检测组件；所述检测组件与所述温度调节组件电连接，用于在经过光刻工序后，检测所述待烘烤基板上的各个烘烤区域的光刻胶厚度，并将检测到的所述各个烘烤区域的光刻胶厚度发送至所述温度调节组件；所述温度调节组件，还用于：根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。可选的，所述装置还包括：处理组件；所述处理组件分别与所述检测组件和所述温度调节组件电连接；所述检测组件，还用于：将检测到的所述各个烘烤区域的光刻胶厚度发送至所述处理组件；所述处理组件，用于根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，确定所述各个烘烤区域中每个烘烤区域的目标加热参数，并将所述每个烘烤区域的目标加热参数发送至所述温度调节组件；所述温度调节组件，还用于：根据所述每个烘烤区域的目标加热参数，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。可选的，每个加热单元用于加热所述待烘烤基板上的一个烘烤区域，所述温度调节组件，具体用于：将所述每个加热单元的加热参数设置为与所述每个加热单元对应的烘烤区域的目标加热参数。可选的，所述待烘烤基板上的烘烤区域包括：显示区域、所述显示区域周围用于设置源极驱动电路的第一驱动区域以及所述显示区域周围用于设置栅极驱动电路的第二驱动区域；所述温度调节组件，还用于：调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，使得第一加热单元的加热温度高于第二加热单元的加热温度，和/或，使得第一加热单元的加热时长大于第二加热单元的加热时长；其中，所述第一加热单元为用于加热所述第二驱动区域的加热单元，所述第二加热单元为用于加热所述显示区域和所述第一驱动区域的加热单元。可选的，所述加热板由所述多个加热单元拼接形成；或者，所述加热板还包括：衬底基板，所述多个加热单元形成在所述衬底基板上。第二方面，提供了一种应用第一方面所述的光刻胶前烘装置进行光刻胶前烘的方法，所述方法包括：通过温度调节组件调节加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种；通过所述加热板上的各个加热单元对待烘烤基板进行加热。可选的，在所述通过所述加热板上的各个加热单元对待烘烤基板进行加热之后，所述方法还包括：在经过光刻工序后，检测所述待烘烤基板上的各个烘烤区域的光刻胶厚度；所述通过温度调节组件调节加热板中每个加热单元的加热参数，包括：根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。可选的，在所述检测所述待烘烤基板上的各个烘烤区域在经过光刻工序后的光刻胶厚度之后，所述方法还包括：根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，确定所述各个烘烤区域中每个烘烤区域的目标加热参数；所述通过温度调节组件调节加热板中每个加热单元的加热参数，包括：根据所述每个烘烤区域的目标加热参数，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。可选的，每个加热单元用于加热所述待烘烤基板上的一个烘烤区域，所述根据每个烘烤区域的目标加热参数，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，包括：将所述每个加热单元的加热参数设置为与所述每个加热单元对应的烘烤区域的目标加热参数。可选的，所述待烘烤基板上的烘烤区域包括：显示区域、所述显示区域周围用于设置源极驱动电路的第一驱动区域以及所述显示区域周围用于设置栅极驱动电路的第二驱动区域；所述通过温度调节组件调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，包括：调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，使得第一加热单元的加热温度高于第二加热单元的加热温度，和/或，使得第一加热单元的加热时长大于第二加热单元的加热时长；其中，所述第一加热单元为用于加热所述第二驱动区域的加热单元，所述第二加热单元为用于加热所述显示区域和所述第一驱动区域的加热单元。第三方面，提供一种光刻设备，所述光刻设备包括：如第一方面所述的光刻胶前烘装置。本专利技术提供的技术方案带来的有益效果是：本专利技术提供了一种光刻胶前烘方法、装置及光刻设备，该光刻胶前烘装置包括加热板和温度调节组件，该加热板中包括多个加热电压，且温度调节组件可以调节每个加热单元的加热参数，使得该光刻胶前烘装置能够为待烘烤基板上不同的烘烤区域提供不同的加热温度和加热时长，提高了该光刻胶前烘装置的使用灵活性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1-1是本专利技术实施例提供的一种光刻胶前烘装置的结构示意图；图1-2是本专利技术实施例提供的另一种光刻胶前烘装置的结构示意图；图1-3是本专利技术实施例提供的一种光刻工序的流程图；图1-4是本专利技术实施例提供的一种待烘烤基板的示意图；图1-5是本专利技术实施例提供的又一种光刻胶前烘装置的结构示意图；图1-6是本专利技术实施例提供的一种加热板的示意图；图2-1是本专利技术实施例提供的一种光刻胶前烘方法的流程图；图2-2是本专利技术实施例提供的另一种光刻胶前烘方法的流程图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。图1-1是本专利技术实施例提供的一种光刻胶前烘装置的结构示意图，如图1-1所示，该装置包括：加热板10和温度调节组件20。该加热板10包括多个加热单元101，该加热板10用于通过该多个加热单元101对待烘烤基板(图1-1中未示出)进行加热。该温度调节组件20分别与每个加热单元101电连接，用于调节该加热板10中每个加热单元101的加热参数，该加热参数可以包括加热温度和加热时长中的至少一种。综上所示，本专利技术提供了一种光刻胶前烘装置，该光刻胶前烘装置包括加热板和温度调节组件，由于该温度调节组件可以调节该加热板中每个加热单元的加热参数，使得该光刻胶前烘装置能够为待烘烤基板上不同的烘烤区域提供不同的加热温度和加热时长，因此提高了该光刻胶前烘装置的使用灵活性。图1-2是本专利技术实施例提供的另一种光刻胶前烘装置的结构示意图，如图1-2所示，该装置还可以包括：检测组件30。该检测组件30与该温度调节组件20电连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶前烘装置，其特征在于，所述装置包括：加热板和温度调节组件；所述加热板包括多个加热单元，所述加热板用于通过所述多个加热单元对待烘烤基板进行加热；所述温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种。

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶前烘装置，其特征在于，所述装置包括：加热板和温度调节组件；所述加热板包括多个加热单元，所述加热板用于通过所述多个加热单元对待烘烤基板进行加热；所述温度调节组件分别与每个加热单元电连接，用于调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，所述加热参数包括加热温度和加热时长中的至少一种。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：检测组件；所述检测组件与所述温度调节组件电连接，用于在经过光刻工序后，检测所述待烘烤基板上的各个烘烤区域的光刻胶厚度，并将检测到的所述各个烘烤区域的光刻胶厚度发送至所述温度调节组件；所述温度调节组件，还用于：根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：处理组件；所述处理组件分别与所述检测组件和所述温度调节组件电连接；所述检测组件，还用于：将检测到的所述各个烘烤区域的光刻胶厚度发送至所述处理组件；所述处理组件，用于根据所述各个烘烤区域的光刻胶厚度，确定所述各个烘烤区域中每个烘烤区域的目标加热参数，并将所述每个烘烤区域的目标加热参数发送至所述温度调节组件；所述温度调节组件，还用于：根据所述每个烘烤区域的目标加热参数，调节所述加热板中每个加热单元的加热参数。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，每个加热单元用于加热所述待烘烤基板上的一个烘烤区域，所述温度调节组件，具体用于：将所述每个加热单元的加热参数设置为与所述每个加热单元对应的烘烤区域的目标加热参数。5.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述待烘烤基板上的烘烤区域包括：显示区域、所述显示区域周围用于设置源极驱动电路的第一驱动区域以及所述显示区域周围用于设置栅极驱动电路的第二驱动区域；所述温度调节组件，还用于：调节所述加热板中每个加热单元的加热参数，使得第一加热单元的加热温度高于第二加热单元的加热温度，和/或，使得第一加热单元的加热时长大于第二加热单元的加热时长；其中，所述第一加热单元为用于加热所述第二驱动区域的加热单元，所述第二加热单元为用于加热所述显示区域和所述第一驱动区域的加热单元。6.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述加热板由所述多个加热单元拼接形成；或...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢彦春，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11