用于生产线的可移动式载盘装置制造方法及图纸

技术编号:14014532 阅读:71 留言:0更新日期:2016-11-17 18:59
一种用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其包含一金属承板、一电极板及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上并包括一穿孔。该电极板设置于该金属承板上方并供承载该待处理基板。该电极板具有一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区。该绝缘单元设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间,并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘。该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。借金属承板及绝缘单元令待处理基板于实施等离子蚀刻程序时,辅助等离子横越待处理基板上表面以增进其表面处理的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种载盘装置,特别是涉及一种用于生产线的可移动式载盘装置
技术介绍
美国第6,344,106 B1核准公告号专利案(以下称前案)公开一种增进蚀刻速率(etching rate)均匀性的技术。参阅图1,前案是通过显示于图1中的静电夹头(electrostatic chuck)单元1来改善蚀刻速率。详细地来说,该静电夹头单元1是被设置于一等离子处理装置(plasma processing apparatus)2的一晶圆处理腔体(wafer processing chamber)20内,且是用于作为承载一待处理晶圆21的载盘使用,也是作为一点燃一等离子的电极使用。于实际实施蚀刻时,是在该晶圆处理腔体20内引入一反应气体(图未示),并对该静电夹头单元(也就是,电极)1与设置于该晶圆处理腔体20内的另一电极(图未示)提供一射频(radio frequency;以下称RF)电源(图未示),以令该反应气体裂解成该等离子。如图1所示,该静电夹头单元1包括一提供有该RF电源(图未示)的静电夹头11、一内部边缘环形构件12,及一外部边缘环形构件13。该静电夹头11具有一固定于该晶圆处理腔体20的一底壁的基座部111,及一自该基座部111的一顶缘朝上凸伸并供承载该待处理晶圆21的承载部112,且该基座部111与该承载部112共同定义出一缺口113。该内部边缘环形构件12设置于该静电夹头11的缺口113,并围绕该承载部112的一周缘及该待处理晶圆21的一周缘。该外部边缘环形构件13围绕该静电夹头11的基座部111的一周缘与该内部边缘环形构件12。在该前案中,该内部边缘环形构件12与该外部边缘环形构件13是由一绝缘材料或一介电材料所构成,其借由该内部边缘环形构件12与该外部边缘环形构件13的绝缘特性以形成RF耦合,并令邻近该待处理晶圆21的一表面的一等离子鞘层(plasma sheath)22分布均匀。该前案所公开的静电夹头单元1虽然可以增进蚀刻速率的均匀性;然而,该静电夹头11是被固定于该晶圆处理腔体20的底壁。换句话说,用来做为电极使用并做为承载该待处理晶圆21的载盘使用的该静电夹头单元1只适用固定于单一腔体式的等离子蚀刻装置,其难以应用于广为现阶段的半导体、光学镀膜等相关业界所使用的批次式(batch)生产线或连续型(in-line)生产线的等离子蚀刻装置。经上述说明可知,改良载盘装置的结构以用于生产线并借此缩减半导体、光学镀膜等相关业界的生产工时,是此
的相关技术人员所待突破的难题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于生产线的可移动式载盘装置。本专利技术用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其包含一金属承板、一电极板,及一绝缘单元。该金属承板能移动地位于该传送机构上,并包括至少一穿孔。该电极板设置于该金属承板的上方,并供承载该待处理基板。该电极板具有至少一面向该金属承板的穿孔,且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区。该绝缘单元设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间,并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘。该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,还包含一用于供导入电源的金属导体,该金属导体位于该金属承板的穿孔及该绝缘单元的穿孔内并接触该电极板的该电源载入区。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该电极板包括一承载部及一底座部,该承载部供承载该待处理基板,并具有彼此衔接的一周缘区及一底缘区,该底座部是自该电极板的承载部的底缘区朝外延伸并具有该电源载入区及一周缘区,且该承载部的周缘区与该底座部的周缘区共同定义出该电极板的该周缘。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该绝缘单元包括一绝缘板及一绝缘框,该绝缘板具有一基部及一框部,该绝缘板的基部是夹置于该金属承板与该电极板的底座部间并具有该绝缘单元的穿孔,该绝缘板的框部是自该绝缘板的基部的一周缘朝上凸伸以令该绝缘板形成有一容置该电极板的凹槽,且该绝缘板的框部的一高度是高于该电极板的承载部的一高度,以令该绝缘板的框部及该电极板的承载部间共同定义出一容置该绝缘框的环形空间,且该绝缘框的一高度是足以围绕该待处理基板的周缘。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该绝缘单元包括一绝缘板及一绝缘框,该绝缘板具有一基部及一框部,该绝缘板的基部是夹置于该金属承板与该电极板的底座部间并具有该绝缘单元的穿孔,该绝缘板的框部是自该绝缘板的基部的一周缘朝上凸伸以令该绝缘板形成有一容置该电极板的凹槽,且该绝缘板的框部的一高度是实质等高于该电极板的底座部的一高度,该绝缘单元的绝缘框是设置于该电极板的底座部的周缘区与该绝缘板的框部上,且该绝缘框的一高度是足以围绕该待处理基板的周缘。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该绝缘单元的绝缘框是一厚度等厚的平板。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该绝缘单元的绝缘框的厚度是背向该电极板递减。本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置,该绝缘板是由玻璃所构成,且该绝缘框是由石英所构成。本专利技术的有益效果在于:借由该金属承板及该绝缘单元以令该待处理基板的一上表面于实施一等离子蚀刻程序时,辅助等离子横越该待处理基板上表面以增进该待处理基板的表面处理的均匀性;此外,本专利技术的可移动式载盘装置能于该生产线内的传送机构上带着该待处理基板移动,可供现阶段半导体、光学镀膜等相关业界广为使用的批次式生产线或连续型生产线使用,有利于缩减半导体、光学镀膜等相关产业的生产工时。附图说明本专利技术的其他的特征及功效,将于参照图式的实施方式中清楚地呈现,其中:图1是一正视示意图,说明美国第6,344,106B1核准公告号专利案所公开的一种等离子处理装置;图2是一局部俯视示意图,说明本专利技术用于生产线的可移动式载盘装置的一第一实施例及其所使用的一连续型生产线;图3是沿图2的直线III-III所取得的一正视剖视图,说明本专利技术该第一实施例于一输送组件上的实施态样;图4是一立体图,说明本专利技术该第一实施例的俯视结构;图5是一立体图,说明本专利技术该第一实施例的仰视结构;图6是沿图3的直线VI-VI所取得的一侧视剖视图,说明本专利技术该第一实施例的细部结构;图7是一侧视剖视图,说明本专利技术用于生产线的可移动式载盘装置的一第二实施例;图8是一侧视剖视图,说明本专利技术用于生产线的可移动式载盘装置的一第三实施例;及图9是一电势分布(electric potential distribution)图,说明本专利技术该第一实施例的电位分布。具体实施方式在本专利技术被详细描述前,应当注意在以下的说明内容中,类似的元件是以相同的编号来表示。如图2与图3所示,本专利技术的用于生产线的可移动式载盘装置C的一第一实施例,是用于承载一待处理基板7并于一连续型生产线9中的一传送机构92上移动。详细地来说,该连续型生产线9具有一腔体单元91及设置于该腔体单元91内的该传送机构92。该腔体单元91沿一传送方向X依序具有一载入腔体911、一蚀刻腔体(etching chamber)912、一溅镀腔体(sputtering chamber)913,及一卸载腔体914。各腔体911、912、913、914本文档来自技高网
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用于生产线的可移动式载盘装置

【技术保护点】
一种用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其特征在于:其包含:一金属承板,能移动地位于该传送机构上并包括至少一穿孔;一电极板,设置于该金属承板的上方并供承载该待处理基板,该电极板具有至少一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区;及一绝缘单元,设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘,该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。

【技术特征摘要】
1.一种用于生产线的可移动式载盘装置,是用于承载一待处理基板并于一生产线中的一传送机构上移动,其特征在于:其包含:一金属承板,能移动地位于该传送机构上并包括至少一穿孔;一电极板,设置于该金属承板的上方并供承载该待处理基板,该电极板具有至少一面向该金属承板的穿孔且裸露于该金属承板的穿孔外的电源载入区;及一绝缘单元,设置于该金属承板上且夹置于该金属承板与该电极板间并围绕该电极板的一周缘及该待处理基板的一周缘,该绝缘单元具有至少一与该金属承板的穿孔相通并裸露出该电极板的电源载入区的穿孔。2.根据权利要求1所述的用于生产线的可移动式载盘装置,其特征在于:还包含一用于供导入电源的金属导体,该金属导体位于该金属承板的穿孔及该绝缘单元的穿孔内并接触该电极板的该电源载入区。3.根据权利要求1所述的用于生产线的可移动式载盘装置,其特征在于:该电极板包括一承载部及一底座部,该承载部供承载该待处理基板,并具有彼此衔接的一周缘区及一底缘区,该底座部是自该电极板的承载部的底缘区朝外延伸并具有该电源载入区及一周缘区,且该承载部的周缘区与该底座部的周缘区共同定义出该电极板的该周缘。4.根据权利要求3所述的用于生产线的可移动式载盘装置,其特征在于:该绝缘单元包括一绝缘板及一绝缘框,该绝缘板具有一基部及一框部,该绝缘板的基部是夹置于该金属承板与...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶承朋苏晖家叶崇宇张倧伟黄一原黄琬瑜卢木森
申请(专利权)人:凌嘉科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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