阵列基板、显示面板及阵列基板的制备方法技术

本发明专利技术公开一种阵列基板，包括：基板；栅极，形成在基板上；栅极绝缘层，形成在基板的朝向栅极的一侧，栅极绝缘层覆盖栅极；有源层，形成在栅极绝缘层的远离栅极的一侧，有源层采用金属氧化物材料且正对栅极设置；彼此间隔的源极和漏极，形成在栅极绝缘层的远离栅极的一侧，源极和漏极分别连接至有源层的两端；钝化层，形成在源极的远离栅极绝缘层的一侧，钝化层覆盖源极、漏极以及有源层；以及遮光层，形成在钝化层的远离有源层的一侧，遮光层在栅极绝缘层上的垂直投影覆盖有源层。本发明专利技术所述阵列基板的良率高。本发明专利技术还公开一种显示面板和一种阵列基板的制备方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示面板
，尤其涉及一种阵列基板、一种显示面板以及一种阵列基板的制备方法。
技术介绍
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(back light module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。通常液晶显示面板由彩膜(Color Filter，CF)基板、薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)阵列基板、夹于彩膜基板与阵列基板之间的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成。其中，阵列基板的薄膜晶体管性能直接影响到液晶显示面板的显示质量。随着大尺寸和高PPI(Pixels Per Inch，每英寸所拥有的像素数目)以及高刷新频率产品的开发，采用氧化物半导体的薄膜晶体管由于具有较高的迁移率受到了广泛的重视和应用。然而由于氧化物半导体容易受光照影响，从而导致薄膜晶体管的电性不稳定，阵列基板的产品良率低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种良率高的阵列基板。此外，还提供一种应用所述阵列基板的显示面板。另外，还提供一种阵列基板的制备方法。为了实现上述目的，本专利技术实施方式采用如下技术方案：一方面，提供一种阵列基板，包括：基板；栅极，形成在所述基板上；栅极绝缘层，形成在所述基板的朝向所述栅极的一侧，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；有源层，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述有源层采用金属氧化物材料且正对所述栅极设置；彼此间隔的源极和漏极，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述源极和所述漏极分别连接至所述有源层的两端；钝化层，形成在所述源极的远离所述栅极绝缘层的一侧，所述钝化层覆盖所述源极、所述漏极以及所述有源层；以及遮光层，形成在所述钝化层的远离所述有源层的一侧，所述遮光层在所述栅极绝缘层上的垂直投影覆盖所述有源层。其中，所述遮光层采用黑色树脂材料。其中，所述有源层采用铟镓锌氧化物。其中，所述钝化层具有通孔，用以暴露出部分所述源极；所述阵列基板还包括像素电极，所述像素电极形成在所述钝化层的远离所述源极的一侧，所述像素电极通过所述通孔连接至所述源极。另一方面，还提供一种显示面板，包括如上任一项所述的阵列基板。再另一方面，还提供一种阵列基板的制备方法，包括：在基板上依次形成栅极；在所述基板的朝向所述栅极的一侧形成栅极绝缘层，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧形成有源层，所述有源层采用金属氧化物材料且正对所述栅极设置；在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧形成彼此间隔的源极和漏极，所述源极和所述漏极分别连接至所述有源层的两端；在所述源极的远离所述栅极绝缘层的一侧形成钝化层，所述钝化层同时覆盖所述源极、所述漏极以及所述有源层；以及在所述钝化层的远离所述有源层的一侧形成遮光层，所述遮光层在所述栅极绝缘层上的垂直投影覆盖所述有源层。其中，采用相同的光罩形成所述有源层和所述遮光层。其中，所述遮光层采用黑色树脂材料。其中，所述有源层采用铟镓锌氧化物。其中，所述阵列基板的制备方法还包括：在所述钝化层上形成通孔，用以暴露出部分所述源极；在所述钝化层的远离所述源极的一侧形成像素电极，所述像素电极通过所述通孔连接至所述源极。相较于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：本专利技术所述阵列基板由于设置有所述遮光层，因此能够防止光线进入所述薄膜晶体管的所述有源层，使得所述薄膜晶体管具有良好的电性稳定性，所述阵列基板的性能良好、良率高。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。图1至图8是本专利技术实施方式提供的一种阵列基板的制备方法的各个步骤的结构示意图。图9是本专利技术实施方式提供的一种显示面板的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图8，本专利技术实施方式提供一种阵列基板10，包括基板1、栅极2、栅极绝缘层3、有源层4、彼此间隔的源极5和漏极6、钝化层7以及遮光层8。其中，所述栅极2形成在所述基板1上。所述栅极绝缘层3形成在所述基板1的朝向所述栅极2的一侧且覆盖所述栅极2。所述有源层4形成在所述栅极绝缘层3的远离所述栅极2的一侧，所述有源层4采用金属氧化物材料且正对所述栅极2设置。所述源极5和所述漏极6形成在所述栅极绝缘层3的远离所述栅极2的一侧，并且分别连接至所述有源层4的两端。所述钝化层7形成在所述源极5的远离所述栅极绝缘层3的一侧，所述钝化层7同时覆盖所述源极5、所述漏极6以及所述有源层4。所述遮光层8形成在所述钝化层7的远离所述有源层4的一侧，所述遮光层8在所述栅极绝缘层3上的垂直投影覆盖所述有源层4。本实施方式所述阵列基板10，由于其设置有所述遮光层8，因此能够有效防止光线进入所述薄膜晶体管的所述有源层4，使得所述薄膜晶体管具有良好的电性稳定性，所述阵列基板10的性能良好、良率高。其中，所述栅极2的材料可以是钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)中的一种或多种的堆栈组合。所述栅极2同样可以起到遮光作用，用以防止光线进入所述薄膜晶体管的所述有源层4，使得所述薄膜晶体管具有良好的电性稳定性，提高了所述阵列基板10的良率。进一步地，作为一种可选实施方式，所述遮光层8采用黑色树脂材料，成本低，工艺成熟。优选的，所述有源层4采用铟镓锌氧化物，使得所述薄膜晶体管的阈值电压不漂移，载流子溶度高，可快速充电，从而提升所述薄膜晶体管的良率和充电率。进一步地，请一并参阅图7和图8，作为一种可选实施方式，所述钝化层7具有通孔70，所述通孔70用以暴露部分所述源极5。所述阵列基板10还包括像素电极9，所述像素电极9形成在所述钝化层7上且通过所述通孔70连接所述源极5。请一并参阅图8和图9，本专利技术实施方式还提供一种显示面板100，所述显示面板100包括相对设置的阵列基板10和彩膜基板20以及位于所述阵列基板10与所述彩膜基板20之间的液晶层30，所述阵列基板10采用如上任一所实施方式所述的阵列基板10。由于所述阵列基板10具有较高的良率和性能，使得所述显示面板100显示质量良好。请一并参阅图1至图6，本专利技术实施方式还提供一种阵列基板的制备方法，包括：Step1：在基板1上依次形成栅极2，如图1所示；Step2：在所述基板1的朝向所述栅极2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，包括：基板；栅极，形成在所述基板上；栅极绝缘层，形成在所述基板的朝向所述栅极的一侧，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；有源层，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述有源层采用金属氧化物材料且正对所述栅极设置；彼此间隔的源极和漏极，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述源极和所述漏极分别连接至所述有源层的两端；钝化层，形成在所述源极的远离所述栅极绝缘层的一侧，所述钝化层覆盖所述源极、所述漏极以及所述有源层；以及遮光层，形成在所述钝化层的远离所述有源层的一侧，所述遮光层在所述栅极绝缘层上的垂直投影覆盖所述有源层。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：基板；栅极，形成在所述基板上；栅极绝缘层，形成在所述基板的朝向所述栅极的一侧，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；有源层，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述有源层采用金属氧化物材料且正对所述栅极设置；彼此间隔的源极和漏极，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述源极和所述漏极分别连接至所述有源层的两端；钝化层，形成在所述源极的远离所述栅极绝缘层的一侧，所述钝化层覆盖所述源极、所述漏极以及所述有源层；以及遮光层，形成在所述钝化层的远离所述有源层的一侧，所述遮光层在所述栅极绝缘层上的垂直投影覆盖所述有源层。2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述遮光层采用黑色树脂材料。3.如权利要求1或2所述的阵列基板，其特征在于，所述有源层采用铟镓锌氧化物。4.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述钝化层具有通孔，用以暴露出部分所述源极；所述阵列基板还包括像素电极，所述像素电极形成在所述钝化层的远离所述源极的一侧，所述像素电极通过所述通孔连接至所述源极。5.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1～4任一项所述的阵列基板。6.一种阵列基板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘启明，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44