玻璃基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种玻璃基板处理装置，该玻璃基板处理装置包括风刀和设于风刀后侧的水滴检查仪，风刀用于将玻璃基板吹净，水滴检查仪用于检测玻璃基板上是否有水滴。本发明专利技术提供的玻璃基板处理装置可有效地检测玻璃基板上的水滴情况，以避免后续的涂布制程中发生不良。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板制造
，特别涉及一种玻璃基板处理装置。
技术介绍
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，为平面超薄的显示设备，液晶显示器功耗很低，并且具有高画质、体积小、重量轻的特点，因此倍受大家青睐，成为显示器的主流。目前液晶显示器是以薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)液晶显示器为主，液晶面板是液晶显示器的主要组件。液晶面板通常由薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板和液晶层组成。彩色滤光基板的作用是将通过液晶层的白光过滤为不同颜色的光束，各不同颜色的光束重新汇聚形成图像画面。在制备彩色滤光基板的过程中，玻璃基板的清洗工艺有着重要的影响。现有的清洗工艺中，通常先采用清洗剂(例如去离子水)清洗玻璃基板，然后采用红外线装置吹干或自然干燥的方式使玻璃基板干燥。请一并参阅图1和图2，其中，图1是现有技术中采用风刀吹净玻璃基板的示意图；图2是玻璃基板上有水滴时涂布后的示意图。如图1中所示，风刀20朝向玻璃基板10表面吹风，玻璃基板10向右方移动前进。如图2中所示，当玻璃基板10上有水滴11残留时，在进行涂布作业后，玻璃基板10上有水滴11的位置无法进行正常涂布，导致仍产品不良。
技术实现思路
本专利技术提供一种玻璃基板处理装置，以解决现有技术中因玻璃基板表面有水滴导致产品不良的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种玻璃基板处理装置，所述玻璃基板处理装置包括风刀和设于所述风刀后侧的水滴检查仪，所述风刀用于将玻璃基板吹净，所述水滴检查仪用于检测所述玻璃基板上是否有水滴。根据本专利技术一优选实施例，所述水滴检查仪包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分别设于所述玻璃基板的两侧，所述投光器发出检查光经所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根据接受的光量判断所述玻璃基板表面是否有水滴。根据本专利技术一优选实施例，所述玻璃基板处理装置还包括剔除机构，所述剔除机构设于所述水滴检查仪后侧，所述受光器判断所述玻璃基板表面有水滴时，所述剔除机构将所述玻璃基板剔除。根据本专利技术一优选实施例，所述玻璃基板处理装置还包括传送带，所述玻璃基板传送于所述传送带上，所述风刀、所述水滴检查仪以及所述剔除机构依次设置在所述玻璃基板的流向方向上。根据本专利技术一优选实施例，所述玻璃基板处理装置还包括涂布装置，所述涂布装置设于所述水滴检查仪后侧，用于对检测后的没有水滴的玻璃基板进行涂布作业。根据本专利技术一优选实施例，所述涂布装置后侧设有预烘烤设备，所述预烘烤设备包括：热板，设有多个通孔，所述热板用于承载所述玻璃基板并对所述玻璃基板进行加热；承托装置，用于穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板并将所述玻璃基板下放在所述热板上；补偿装置，用于封闭所述多个通孔以使得所述热板对所述玻璃基板均匀加热。根据本专利技术一优选实施例，所述承托装置包括底板和垂直设于所述底板上的多个承托柱，所述承托装置通过所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板。根据本专利技术一优选实施例，所述补偿装置包括多个板体和多个垂直于所述板体下的撑杆，所述多个板体与所述多个通孔相适配，所述承托装置将所述玻璃基板下放于所述热板上后下降并平移开，所述补偿装置平移至所述通孔下方并上升使得所述多个板体封闭所述多个通孔。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术提供的玻璃基板处理装置可有效地检测玻璃基板上的水滴情况，以避免后续的涂布制程中发生不良。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：图1是现有技术中采用风刀吹净玻璃基板的示意图；图2是玻璃基板上有水滴时涂布后的示意图；图3是本专利技术优选实施例的检测玻璃基板上是否有水滴的原理图；图4是本专利技术优选实施例的玻璃基板处理装置的流水线示意图；图5是本专利技术一优选实施例提供的预烘烤设备的结构示意图；图6是图5中所示的预烘烤设备的工作过程示意图；图7是图5中所示的预烘烤设备的工作过程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图3和图4，其中，图3是本专利技术优选实施例的检测玻璃基板上是否有水滴的原理图；图4是本专利技术优选实施例的玻璃基板处理装置的流水线示意图。如图3和图4所示，本专利技术提供一种玻璃基板处理装置，该玻璃基板处理装置包括风刀110和设于风刀110后侧的水滴检查仪120，风刀110用于将玻璃基板100吹净，水滴检查仪120用于检测玻璃基板100上是否有水滴。具体而言，水滴检查仪120包括投光器121和受光器122，投光器121和受光器122分别设于玻璃基板100的两侧。一般可以设置在玻璃基板100流向方向的左右两侧，投光器121发出检查光经玻璃基板100表面并由受光器122接受，受光器122根据接受的光量判断玻璃基板100表面是否有水滴。如图3中所示，若玻璃基板100表面没有水滴，则受光器122可显示图3中123所示的满格状态，若玻璃基板100表面有水滴，则受光器122可显示图3中124所示的浅格状态。当然，受光器122还可以以其他方式进行显示，如数值显示、或者检测到玻璃基板100表面没有水滴时绿灯显示、或者玻璃基板100表面有水滴时红灯显示等。在本专利技术实施例，玻璃基板处理装置还包括剔除机构130，剔除机构130设于水滴检查仪120后侧，受光器122判断玻璃基板100表面有水滴时，剔除机构130将玻璃基板100剔除。剔除机构130剔除的表面具有水滴的玻璃基板100可重新进行吹净使用。当然，玻璃基板处理装置也可以不设置剔除机构130，当水滴检查仪120检测玻璃基板100上有水滴时，该块玻璃基板100不进行涂布，直接往下流，后续制程中均跳过对该玻璃基板100的处理。直至最后再回收，重新进行吹净使用。玻璃基板处理装置还包括传送带150，玻璃基板100传送于传送带150上，风刀110、水滴检查仪120以及剔除机构130依次设置在玻璃基板100的流向方向上。玻璃基板处理装置还包括涂布装置140，涂布装置140设于水滴检查仪120后侧，用于对检测后的没有水滴的玻璃基板100进行涂布作业。请参阅图5，图5是本专利技术一优选实施例提供的预烘烤设备的结构示意图。如图5所示，本专利技术提供一种预烘烤设备，该预烘烤设备包括热板200、承托装置300以及补偿装置400。其中，热板200设有多个通孔210(见图6)，热板200用于承载玻璃基板100并对玻璃基板100进行加热。该通孔210可以是圆形、三角形、多边形等形状。承托装置300用于在热板200的下方穿过多个通孔210以举托热板200上方的玻璃基板100并将玻璃基板100下放在热板200上。补偿装置400位于热板200的下方，用于封闭热板200的多个通孔210以使得热板200对玻璃基板100均匀加热。本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃基板处理装置包括风刀和设于所述风刀后侧的水滴检查仪，所述风刀用于将玻璃基板吹净，所述水滴检查仪用于检测所述玻璃基板上是否有水滴。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃基板处理装置包括风刀和设于所述风刀后侧的水滴检查仪，所述风刀用于将玻璃基板吹净，所述水滴检查仪用于检测所述玻璃基板上是否有水滴。2.根据权利要求1所述的玻璃基板处理装置，其特征在于，所述水滴检查仪包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分别设于所述玻璃基板的两侧，所述投光器发出检查光经所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根据接受的光量判断所述玻璃基板表面是否有水滴。3.根据权利要求2所述的玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃基板处理装置还包括剔除机构，所述剔除机构设于所述水滴检查仪后侧，所述受光器判断所述玻璃基板表面有水滴时，所述剔除机构将所述玻璃基板剔除。4.根据权利要求3所述的玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃基板处理装置还包括传送带，所述玻璃基板传送于所述传送带上，所述风刀、所述水滴检查仪以及所述剔除机构依次设置在所述玻璃基板的流向方向上。5.根据权利要求4所述的玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42