正负压发生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种正负压发生装置，其用于放置玻璃基板，其包括：玻璃载台，其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板；真空发生器，其与玻璃载台的若干通孔连通；及气动阀门，其与真空发生器连通；当真空发生器打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压，当气动阀门打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。与现有技术相比，正负压发生装置内的玻璃载台上设有通孔，以及与通孔连通的真空发生器及气动阀门，真空发生器及气动阀门分别工作时，可以在玻璃基板及玻璃载台之间形成负压及正压，从而实现玻璃载台对玻璃基板的吸附及释放。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃基板检测
，尤其涉及一种用于对玻璃基板进行定位及释放的正负压发生装置。
技术介绍
玻璃基板是OLED显示面板或TFT-LCD面板的重要组成部分，具有十分广阔的发展前景。目前OLED显示面板或TFT-LCD面板显示用的玻璃基板高端领域的国产化进行得如火如荼。比如，OLED显示面板用玻璃基板与传统的平板玻璃有本质的区别，对产品质量有非常严格的要求。高性能显示器制造工艺包括多次精密光刻，要求基板外形尺寸加工精度达到0.1mm误差。OLED显示面板对玻璃基板平整度的要求甚高。玻璃基板的平整度直接影响所显示图形的质量。玻璃基板平整度的参数包括：1、玻璃表面粗糙度；2、玻璃表面波纹度；3、玻璃表面翘曲度；4、玻璃表面平行度。玻璃基板厚度不均匀会造成制造液晶显示器的过程中加压不均匀，造成次品和废品。为了避免不良情况的发生，使用专业OLED玻璃基板测量仪对以上参数进行测量监控是非常重要的。然而，玻璃基板放在载台上进行测量时，由于龙骨机构的运动容易导致玻璃基板相对于载台发生偏移，从而导致测量结果容易产生误差。另外，由于玻璃基板与载台定位在一起，在测量完成后，玻璃基板不易拿取，若强行取片，可能会使玻璃基板产生裂纹和碎片。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述问题，提供一种实现对玻璃基板进行定位及释放的正负压发生装置。为实现上述目的，本技术提供了一种正负压发生装置，其用于放置玻璃基板，其包括：玻璃载台，其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板；真空发生器，其与玻璃载台的若干通孔连通；及气动阀门，其与真空发生器连通；当真空发生器打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压，当气动阀门打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。进一步的，所述正负压发生装置还包括：与通孔连通的第一通气管道、分别与第一通气管道及真空发生器连通的第二通气管道、连接真空发生器及气动阀门的第三通气管道及由气动阀门延伸出去的第四通气管道。进一步的，所述正负压发生装置还包括承接所述玻璃载台的基座及与基座连接的安装板，所述真空发生器及气动阀门安装于所述安装板上。进一步的，所述基座设有一个位于其上表面的凹陷槽及由凹陷槽底面延伸至基座下表面的通道，所述玻璃载台收容于所述凹陷槽内，所述第一通气管道通过所述通道与所述通孔连通。进一步的，所述若干通孔分布于玻璃载台被所述玻璃基板覆盖的区域。进一步的，所述正负压发生装置还包括安装于基座上的若干用于限制所述玻璃基板边沿移动的限位元件，所述若干限位元件延伸至玻璃载台的上方。进一步的，所述限位元件的一端安装于所述基座的一个角上，所述限位元件的另一端延伸至玻璃载台的上方。进一步的，所述真空发生器设有位于安装板外侧的第一开关，所述气动阀门设有位于安装板外侧的第二开关。与现有技术相比，本技术实施例提供的正负压发生装置内的玻璃载台上设有通孔，以及与通孔连通的真空发生器及气动阀门，真空发生器及气动阀门分别工作时，可以在玻璃基板及玻璃载台之间形成负压及正压，从而实现玻璃载台对玻璃基板的吸附及释放，进而使得放置于玻璃载台上的玻璃基板既能被牢固定位玻璃载台上，也能方便的从玻璃载台上取走。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术较佳实施例提供的正负压发生装置的立体视图；图2为本技术较佳实施例提供的正负压发生装置的另一角度的立体视图；图3为图1所示的正负压发生装置的一个分解图；图4为图1所示的正负压发生装置的另一个分解图；图5为图2圆圈内所示图面的放大图；图6为沿图1内A-A线的剖面图；图7为本技术较佳实施例提供的正负压发生装置内真空发生装置、气动阀门等元件的立体视图；图8为图1所示正负压发生装置放置玻璃基板后的立体视图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1至图6所示，本技术较佳实施例提供了一种正负压发生装置100，其包括玻璃载台1、用于承接玻璃载台1的基座2、可移动安装于基座2上且位于玻璃载台1上方的若干限位元件3、组装于基座2一侧的安装板4、组装于安装板4上的气动阀门5、与气动阀门5连通的真空发生器6及与真空发生器6连接且位于玻璃载台1下方的若干第一通气管道9。上述正负压发生装置100还包括：连接第一通气管道9及真空发生器6的第二通气管道7、连接气动阀门5及真空发生器6的第三通气管道8。以下针对本技术较佳实施例提供的正负压发生装置100内各个元件及相互之间的连接关系作具体说明。如图1至图5所示，玻璃载台1呈矩形块状，其放置于基座2上。玻璃载台1可以承接待测玻璃基板200。具体的，玻璃载台1的四个角上分别设有若干圆形通孔11。若干第一通气管道9的一端置于玻璃载台1的下方且连接于玻璃载台1的下表面，且分别与通孔11一一对应。如图8所示，正负压发生装置100的玻璃载台1上可以放置用于检测的玻璃基板200。第一通气管道9的另一端连接至第二通气管道7(图中未示出)。当然，在其它可替换的实施方式中，玻璃载台1上通孔11也跟可以根据待测玻璃基板200的大小来具体设置。比如，当玻璃基板200的尺寸小于玻璃载台1的尺寸时，即玻璃载台1上的通孔11还可以设置于玻璃载台1的中心区域。由此可知，玻璃载台1上被玻璃基板200覆盖的区域需要设有通孔11。如图2至图6所示，基座2也呈矩形块状，其上表面上设有一个矩形状的凹陷槽21及由凹陷槽21底面延伸至基座2下表面的通道22。如此，基座2呈中空矩形环状，上述玻璃载台1收容于凹陷槽21内。通过上述通道22，若干第一通气管道9的一端可以连接至玻璃载台1下表面并与通孔11一一对应且连通。如图1、图3、图4及图8所示，若干限位元件3可活动安装于基座2上表面，可以对玻璃基板200进行预定位。若干限位元件3安装于基座2的一个角上，因此，若干限位元件3可以在一个方向上限制玻璃基板200的移动。当然，在其它可替换的实施方式中，若干限位元件3也可以分布于基座2的两个、三个或四个角上。具体的，每个限位元件3的一端安装于基座2的上表面，每个限位元件3的另一端延伸至玻璃载台1的上方，且邻近玻璃载台1的上表面。限位元件3连接至基座2上的一端活动连接于基座2的边缘，即可以沿基座2的边缘移动，限位元件3的另一端可以进一步向玻璃载台1的中心区域延伸。若干限位元件3可以抵接玻璃基板200的边沿，通过限位元件3的限制，玻璃基板200可以预定位于玻璃载台1上。放置于玻璃载台1上的玻璃基板200的尺寸并不唯一，玻璃基板200的长度和宽度均可以在一定范围内，因此，限位元件3可以满足不同尺寸玻璃基板200的测量时的预定位要求。如图1至图6所示，安装板4连接于基座2的一端，安装板4可以为正负压发生装置100内配电箱(未图示)的侧壁。如图1至图7所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正负压发生装置，其用于放置玻璃基板，其特征在于：其包括：玻璃载台，其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板；真空发生器，其与玻璃载台的若干通孔连通；及气动阀门，其与真空发生器连通；当真空发生器打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压，当气动阀门打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。

【技术特征摘要】
1.一种正负压发生装置，其用于放置玻璃基板，其特征在于：其包括：玻璃载台，其设有贯穿其上下表面的若干通孔且用于承接玻璃基板；真空发生器，其与玻璃载台的若干通孔连通；及气动阀门，其与真空发生器连通；当真空发生器打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成负压，当气动阀门打开后，所述玻璃基板及玻璃载台之间形成正压。2.如权利要求1所述的正负压发生装置，其特征在于，所述正负压发生装置还包括：与通孔连通的第一通气管道、分别与第一通气管道及真空发生器连通的第二通气管道、连接真空发生器及气动阀门的第三通气管道及由气动阀门延伸出去的第四通气管道。3.如权利要求2所述的正负压发生装置，其特征在于，所述正负压发生装置还包括承接所述玻璃载台的基座及与基座连接的安装板，所述真空发生器及气动阀门安装于所述安装板上。4.如权利要求3所述的正负压发生...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭升，嵇永康，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32