一种洁净室制造技术

本发明专利技术公开了一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，所述洁净室还包括：温度控制系统，用于基于比例积分微分(PID)控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体制造、光学领域研发及医药品制造等所使用的洁净室，特别涉及一种洁净室。
技术介绍
在半导体制造、光学领域研发及医药品制造等制造工厂或者科学研究的实验室中，为了达到产品的高质量或者是科学研究的可靠性，需要在一个高度洁净的环境中进行。同时，很多情况下还需要对环境温度进行控制，使温度波动只在一个很小的范围内，因此，需要在具有温度控制设备的洁净室中进行相应的操作。现有的洁净室一般都是靠风机和过滤器(比如高效空气过滤器(HEPA)或者超高效空气过滤器(ULPA))吹扫洁净室，实现对洁净室颗粒密度的减少；温度控制一般是用空调来实现对洁净室的温度控制。然而由于空调的输出功率变化频率低、响应慢，所以温度控制的精度较差。因此，如何提高洁净室温度的控制精度是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种洁净室。本专利技术实施例的技术方案是这样实现的：本专利技术实施例提供了一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，所述洁净室还包括：温度控制系统，用于基于比例积分微分(PID，Proportional-Integral-Derivative)控制原理，进而控制所述洁净区的温度在设定温度。上述方案中，所述空气过滤设备设置在所述洁净区的顶棚上；所述空气循环系统的一端与所述洁净区侧壁的下方连接；所述空气循环系统的另一端与所述空气过滤设备相通；或者，所述空气过滤设备设置在所述洁净区的一个侧壁上；所述空气循环系统的一端与所述洁净区另一个侧壁的下方连接；所述空气循环系统的另一端与所述空气过滤设备相通；所述空气循环系统，用于将所述洁净区的空气进行温度处理并输出至所述空气过滤设备；所述空气过滤设备，用于将所述控制循环系统输出的控制进行洁净处理后输出至所述洁净区。上述方案中，所述空气过滤设备具有超细纤维滤料，起到对颗粒过滤的作用。上述方案中，根据对洁净室洁净度的要求和温度稳定性的要求，所述空气过滤设备可以部分铺满或者完全铺满所述洁净区的顶棚。上述方案中，所述温度控制系统包括：温度感应器，用于探测第一温度，所述第一温度反映所述洁净区的温度；加热设备；PID控制器，用于将所述第一温度与预设温度进行比较，根据比较结果和运算，控制所述加热设备的输出功率的百分比(0-100％)，以使所述洁净区的温度保持在所述设定温度。上述方案中，所述温度控制系统还包括：设置在空气循环系统中的阀门；其中，所述PID控制器，还用于根据所述加热设备的输出功率的百分比，控制所述阀门的开启比例，使所述空气循环系统内的部分循环空气不经过空调冷却，以控制所述洁净区的温度保持在所述设定温度。上述方案中，所述加热设备，设置在所述空气循环系统的第一循环路径及第二循环路径之间，或者设置在第二循环路径与过滤设备之间，用于对所述空气循环系统的空气进行加热；其中，所述第一循环路径的另一端与风机连接；所述第二循环路径的另一端与所述空气过滤设备相通，以使所述空气循环系统内的空气输出至所述空气过滤设备。上述方案中，所述加热设备，设置在所述空气循环系统的空调后方，用于对经过所述空气循环系统的空气进行加热，并输出至所述风机；所述第二循环路径的另一端与所述空气过滤设备相通，以使所述空气循环系统内的空气输出至所述空气过滤设备。上述方案中，所述洁净区侧壁的下方设置与所述空气循环系统相通的返回路径。上述方案中，所述返回路径的个数为至少一个。上述方案中，所述洁净区的地板下部形成有与所述空气循环系统相通的返回腔室。上述方案中，所述返回腔室的个数为至少一个。本专利技术实施例提供的洁净室，洁净室包括：洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，所述洁净室还包括：温度控制系统，用于基于PID控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度，通过所述温度控制系统基于PID控制原理对所述洁净区温度的控制，可以有效地保持所述洁净区温度的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些实施例获得其他的实施例，其中：图1为本专利技术实施例洁净室的整体结构示意图；图2为本专利技术实施例第一种洁净室结构示意图；图3为本专利技术实施例第二种洁净室结构示意图；图4为本专利技术实施例第三种洁净室结构示意图；图5为本专利技术实施例第四种洁净室结构示意图；图6为本专利技术实施例第五种洁净室结构示意图；图7为本专利技术实施例第六种洁净室结构示意图；图8为本专利技术实施例第七种洁净室结构示意图。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术再作进一步详细的描述。由于目前洁净室的温度控制一般用空调来实现，而空调由于自身存在的缺陷(输出功率变化频率低、响应慢)，使得温度的温控精度较差，即温度控制的稳定性差。具体来说，洁净室在静态下，比如洁净室没有热负载情况和室外环境温度波动不大情况下(室外环境温度波动会导致空调制冷或制热效率波动)，温度稳定性才可以达到+/-0.5℃；而洁净室在动态下，比如洁净室有热负载，且热负载有波动情况或者室外温度波动比较大的情况(比如中国北方地区昼夜温差大，会影响空调的制冷效率)，温度稳定性远远达不到+/-05℃，洁净室的温度稳定性会更差。基于此，本专利技术实施例对洁净室的构造进行改进，以实现对洁净室温度的更精确的控制。在本专利技术的各种实施例中：在洁净室增加温度控制系统，由所述温度控制系统基于PID控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度。本专利技术实施例提供一种洁净室，如图1所示，该洁净室包括：洁净区11、空气过滤设备12、空气循环系统13、以及温度控制系统14；其中，所述洁净区11设置有制造设备或者科研仪器M；所述空气循环系统13对所述洁净区11的空气进行循环(进行温度处理)，以输出至所述空气过滤设备12；所述空气过滤设备12用于所述控制循环系统13输出的控制进行洁净处理后输出至所述洁净区11；温度控制系统14基于PID控制原理，控制所述洁净区11的温度在设定温度。其中，在一实施例中，如图2所示，所述空气过滤设备12设置在所述洁净区的顶棚上；所述空气循环系统13的一端与所述洁净区11侧壁的下方连接；所述空气循环系统13的另一端与所述空气过滤设备12相通。所述空气过滤设备12具有超细纤维滤料结构，因此，其具有对颗粒过滤的作用。具体地，如图2所示，所述空气循环系统13包括：第一循环路径131、第二循环路径132、第三循环路径133、空调系统135、风机136。其中，所述洁净区11侧壁的下方有第三循环路径133，连接空调系统135，空调系统135上方设置有风机136，洁净室11的空气经第三循环路径133输出至空调系统135，由空调系统135对空气进行冷却后输出至风机136；风机136增压后的空气再依次通过第一循环路径131、第二循环路径132，到达高效过滤设备12，构成循环；通过高效过滤设备12净化后的空气吹扫洁净区11。这里，实际应用时，侧壁上的第三循环路径133可以是多个，并一起连接空调系统135，这样，可以实现洁净区11更好的温度均匀性和稳定性。这里，实际应用时，第三循环路径133上可以连接有排气管线139。连接空调系统135的第五循环路径13本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，其特征在于，所述洁净室还包括：温度控制系统，利用基于比例积分微分PID控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度。

【技术特征摘要】
1.一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，其特征在于，所述洁净室还包括：温度控制系统，利用基于比例积分微分PID控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度。2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述空气过滤设备设置在所述洁净区的顶棚上；所述空气循环系统的一端与所述洁净区侧壁的下方连接；所述空气循环系统的另一端与所述空气过滤设备相通；或者，所述空气过滤设备设置在所述洁净区的一个侧壁上；所述空气循环系统的一端与所述洁净区另一个侧壁的下方连接；所述空气循环系统的另一端与所述空气过滤设备相通；所述空气循环系统，用于将所述洁净区的空气进行温度处理并输出至所述空气过滤设备；所述空气过滤设备，用于将所述控制循环系统输出的控制进行洁净处理后输出至所述洁净区。3.根据权利要求1或2所述的洁净室，其特征在于，所述温度控制系统包括：温度感应器，用于探测第一温度，所述第一温度反映所述洁净区的温度；加热设备；PID控制器，用于将所述第一温度与预设温度进行比较，根据比较结果控制所述加热设备输出功率的百分比，以使所述洁净区的温度保持在所述设定温度。4.根据权利要求3所述的洁净室，其特征在于，所述温度控制系统还包括：设置在空气循环系统中的阀门；其中，所述PID...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡贞贞，
申请(专利权)人：蔡贞贞，
类型：发明
国别省市：辽宁;21