【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于硅光芯片的封装方法和结构,特别涉及一种基于光栅耦合器的硅光芯片的光源封装结构及其定位、耦合方法,本专利技术属于光电子集成器件
技术介绍
光纤通信为信息的传输带了革命性的发展,光纤通信中的光电器件也往更小,更集成,更价廉方向发展,光电集成芯片是光电器件研究热点之一。集成电路芯片一般在硅片上采用互补金属氧化物半导体集成工艺制作,已经具有很成熟的制作工艺,现在一些厂商将波导制作在硅基衬底顶部,用于传输光路,这样把集成电路芯片与光芯片集成在同一块硅基芯片上,本专利技术称为硅光芯片,硅光芯片既能实现电信号处理功能例如电子放大器,数字信号处理器等,又能传输光路,实现光信号的滤波,分束,调制等功能,高度的光电集成化减小了光电器件的体积,降低功耗,成本等,具有广泛的应用前景。由于硅光芯片中的硅属于间接带隙材料,不能够用于制作光源,为了解决硅光芯片光源输入问题,有厂家采用Ⅲ-Ⅴ族材料与硅材料结合起来,利用混合集成技术在硅上面制作激光光源,但是这种技术存在一些缺点,目前没有商用化。因此,我们一般采用外置光源的方式为硅光芯片提供光源。硅波导制作在硅光芯片顶层,硅波导由于硅材料折射率高,其模场尺寸小,无法直接与光纤或者硅基二氧化硅波导耦合。目前,现有一些厂家将激光器芯片封装成TO形式(Transistor Outline,同轴管帽封装),通过保偏光纤输出,保偏光纤末端制作成FA形式与硅光芯片耦合。这种封装结构,外部光源TO封装
尺寸较大,且一般无制冷设计,芯片散热受到影响,不适用于大功率激光器芯片,不能制作大功率光源;其末端FA的 ...
【技术保护点】
一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:包括密封盒盖(101)、C透镜(102)、硅基热沉(103)、激光器芯片(104)、隔离器组件(106)、硅光芯片(107),所述激光器芯片(104)、准直透镜(105)、隔离器组件(106)依次设置于硅基热沉(103)上,所述硅基热沉(103)和C透镜(102)设置于所述密封盒盖(101)和硅光芯片(107)形成密封空间内,所述硅光芯片(107)包括光栅耦合器(110),所述C透镜(102)固定且耦合对准于硅光芯片(107)的光栅耦合器(110),密封盒盖(101)设置有将所述激光器芯片(104)发出的光反射至C透镜(102)的倾斜内壁,C透镜(102)下表面设置有与反射光线入射角相匹配的抛光面,C透镜(102)偏向远离硅基热沉(103)的一侧朝向密封盒盖(101)的内壁斜面,C透镜(102)光轴与光线传输方向一致且主光线与光轴重合。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:包括密封盒盖(101)、C透镜(102)、硅基热沉(103)、激光器芯片(104)、隔离器组件(106)、硅光芯片(107),所述激光器芯片(104)、准直透镜(105)、隔离器组件(106)依次设置于硅基热沉(103)上,所述硅基热沉(103)和C透镜(102)设置于所述密封盒盖(101)和硅光芯片(107)形成密封空间内,所述硅光芯片(107)包括光栅耦合器(110),所述C透镜(102)固定且耦合对准于硅光芯片(107)的光栅耦合器(110),密封盒盖(101)设置有将所述激光器芯片(104)发出的光反射至C透镜(102)的倾斜内壁,C透镜(102)下表面设置有与反射光线入射角相匹配的抛光面,C透镜(102)偏向远离硅基热沉(103)的一侧朝向密封盒盖(101)的内壁斜面,C透镜(102)光轴与光线传输方向一致且主光线与光轴重合。2.根据权利要求1所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述密封盒盖(101)内壁角度θ为47°<θ<60°,C透镜(102)下表面抛光角度采用3.根据权利要求1所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述激光器芯片(104)、隔离器组件(106)之间设置有准直透镜(105)。4.根据权利要求2所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述密封盒盖(101)的内壁斜面角度为54.74度,所述C透镜(102)下表面抛光角度为70.52度。5.根据权利要求3所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述密封盒盖(101)的内壁斜面设置有镀金或者反射膜。6.根据权利要求4所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述C透镜(102)凸面向上设置,该凸面镀有增透膜,C透镜(102)下
\t表面椭圆的几何中心与光栅耦合器(110)重合对准。7.根据权利要求4所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述密封盒盖(101)底部设置有一圈镀金层(109),硅光芯片(107)与该镀金层(109)位置对应设置有一圈镀金层(108),所述硅光芯片(107)的镀金层(108)上沉积有一层金锡焊料,通过焊接将所述密封盒盖(101)与硅光芯片(107)密封固定。8.根据权利要求6所述的一种用于硅光芯片的光源封装结构,其特征在于:所述C透镜(102)直接设置于硅光芯片(107)或者设置于硅基热沉(...
【专利技术属性】
技术研发人员:石川,常进,林谦,江雄,
申请(专利权)人:武汉光迅科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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