【技术实现步骤摘要】
本技术涉及谐振器
,具体为一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器。
技术介绍
谐振器就是指产生谐振频率的电子元件,常用的分为石英晶体谐振器和陶瓷谐振器。产生频率的作用,具有稳定,抗干扰性能良好的特点,广泛应用于各种电子产品中。石英晶体谐振器的频率精度要高于陶瓷谐振器,但成本也比陶瓷谐振器高。谐振器主要起频率控制的作用,所有电子产品涉及频率的发射和接收都需要谐振器。谐振器的类型按照外形可以分为直插式和贴片式两种。石英晶体谐振器的性能对通信设备和研究仪有重要的作用,但是一般的真空镀膜无法准确控制,导致薄膜沉淀不均匀,影响谐振器的性能。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器,以解决上述
技术介绍
中提出的镀膜不均匀的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器,包括真空室,所述真空室的左右两侧设置有靶,所述靶的左侧安装有电极,所述电极的左侧设置有电压进口,所述电极的上下方设置有沉淀池,所述沉淀池的下方安装有石英晶片,所述石英晶片上设置有镀膜,所述真空室的内部设置有转向架,所述转向架的下方安装有转向架驱动器,所述真空室的下方的左侧设置有出气口,所述真空室的下方的右侧安装有进气口,所述转向架驱动器的下方设置有控制面板,所述控制面板上设置有数据显示器,所述数据显示器的左下方安装有电压调节旋钮,所述电压调节旋钮的下方设置有通电时间控制旋钮,所述电压调节旋钮的右侧安装有电源接口,所述电源接口的右侧设置有电压出口,所述控制面板与电极是通过电性连接。优选的,真空室为圆柱形结构。优选的,所述沉淀池共设置有四个 ...
【技术保护点】
一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器,包括真空室(1),其特征在于:所述真空室(1)的左右两侧设置有靶(3),所述靶(3)的左侧安装有电极(2),所述电极(2)的左侧设置有电压进口(4),所述电极(2)的上下方设置有沉淀池(5),所述沉淀池(5)的下方安装有石英晶片(6),所述石英晶片(6)上设置有镀膜(16),所述真空室(1)的内部设置有转向架(10),所述转向架(10)的下方安装有转向架驱动器(12),所述真空室(1)的下方的左侧设置有出气口(7),所述真空室(1)的下方的右侧安装有进气口(11),所述转向架驱动器(12)的下方设置有控制面板(17),所述控制面板(17)上设置有数据显示器(13),所述数据显示器(13)的左下方安装有电压调节旋钮(8),所述电压调节旋钮(8)的下方设置有通电时间控制旋钮(9),所述电压调节旋钮(8)的右侧安装有电源接口(14),所述电源接口(14)的右侧设置有电压出口(15),所述控制面板(17)与电极(2)是通过电性连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器,包括真空室(1),其特征在于:所述真空室(1)的左右两侧设置有靶(3),所述靶(3)的左侧安装有电极(2),所述电极(2)的左侧设置有电压进口(4),所述电极(2)的上下方设置有沉淀池(5),所述沉淀池(5)的下方安装有石英晶片(6),所述石英晶片(6)上设置有镀膜(16),所述真空室(1)的内部设置有转向架(10),所述转向架(10)的下方安装有转向架驱动器(12),所述真空室(1)的下方的左侧设置有出气口(7),所述真空室(1)的下方的右侧安装有进气口(11),所述转向架驱动器(12)的下方设置有控制面板(17),所述控制面板(17)上设置有数据显示器(13),所述数据显示器(13)的左下方安装有电压调节旋钮(8),所述电压调节旋钮(8)的下方设置有通电时间控制...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵庸桓,
申请(专利权)人:深圳市凯越翔电子有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。