【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2011年6月29日、申请号为201180041909.6、专利技术名称为“端口门定位装置及相关的方法”的专利技术专利申请的分案申请。
技术介绍
在半导体制造过程中,半导体晶片经过多个处理步骤,每个步骤由专用处理工具(process tool)执行。传送盒(pod)用于将半导体晶片从一个工具传送到另一个工具。一种示例类型的传送盒称为前开口式通用传送盒(front-opening unified pod,FOUP)。各传送盒能够传输具有特定直径的多个晶片。例如,对于300mm的晶片,传统的FOUP具有传输25个晶片的能力,并且因此可一次携载25个或以下的300mm晶片。对于450mm的晶片,也可以使用具有25个晶片传输能力的FOUP,但此FOUP尺寸可能更大以适应该更大的晶片直径/厚度和对应的在FOUP内的更大的晶片堆叠高度。所述传送盒设计成维持受保护的内部环境,以保持所述晶片免于污染,例如免于被传送盒外空气中的微粒污染。也已知的是用传送盒传送其它类型的基片,例如液晶面板、用于硬盘驱动器的刚性(rigid)磁媒体、太阳能电池等。图1示出一种传统装载端口10,该传统装载端口10配置成与标准的传送25个300mm晶片的传送盒70交接(interface)。装载端口10附接到处理工具的前端,所述处理工具例如参考2003年1月7日颁发给Rosenquist等人的美国专利No.6,502,869的图1和图2所描述的。为描述的目的,装载端口10的\前侧\是装载端口10的面向如坐标轴21所指示的正Y方向的一侧。传送盒70的\前侧\是面向装载端口10的前侧的一侧。 ...
【技术保护点】
一种装置,包括:端口门;框体,该框体被限定成具有开口,所述端口门通过所述开口与容器门进行交接,该容器门与容器连接,所述容器被构造为携载在半导体制造设施内的至少一个工件;第一静止板形凸轮,该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体,所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道;第二静止板形凸轮,该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体,所述第二侧相对于所述框体的开口基本上与所述第一侧相反,所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道;第一活动关闭机构,该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动;以及第二活动关闭机构,该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二 ...
【技术特征摘要】
2010.06.30 US 12/828,2361.一种装置,包括:端口门;框体,该框体被限定成具有开口,所述端口门通过所述开口与容器门进行交接,该容器门与容器连接,所述容器被构造为携载在半导体制造设施内的至少一个工件;第一静止板形凸轮,该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体,所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道;第二静止板形凸轮,该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体,所述第二侧相对于所述框体的开口基本上与所述第一侧相反,所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道;第一活动关闭机构,该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动;以及第二活动关闭机构,该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第二静止板形凸轮的第二通道内并且沿着所述第二静止板形凸轮的第二通道运动。2.如权利要求1中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构被固定到所述端口门的后表面,以及其中所述第二活动关闭机构被固定到所述端口门的后表面。3.如权利要求2中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构被定位成紧挨着所述端口门的左侧,以及其中所述第二活动关闭机构被定位成紧挨着所述端口门的右侧。4.如权利要求3中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分延伸
\t超出所述端口门的后表面的周边并且在基本上平行于所述端口门的后表面的方向上,以及其中所述第二活动关闭机构的部分延伸超出所述端口门的后表面的周边并且在基本上平行于所述端口门的后表面的方向上。5.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一辊,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二辊。6.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一刚性引导销,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二刚性引导销。7.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一可旋转引导销,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二可旋转引导销。8.如权利要求2中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者在基本上竖直的方向上运动,以及其中所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者在基本上竖直的方向上运动。9.如权利要求2中所述的装置,进一步包括:驱动源,该驱动源被附着到所述端口门的后表面,所述驱动源被限定成控制所述第一和第二活动关闭机构的运动。10.如权利要求9中所述的装置,进一步包括:定位设备,该定位设备被连接到所述端口门,所述定位设备被限定成使所述端口门运动到一位置:其中1)所述第一活动关闭机构的部分被定位成当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时开始沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动,以及2)所述第二活动关闭机构的部分被定位成当所述第二活动关闭机构相对于所述端口...
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