端口门定位装置及相关的方法制造方法及图纸

技术编号:13834968 阅读:63 留言:0更新日期:2016-10-15 14:26
一种装载端口具有端口门和带开口的框体,所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中,活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中,静止的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在另一个实施例中,静止的关闭机构连接到端口门,并且活动的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在该两个实施例中,活动的关闭机构限定成与静止的关闭机构进行接合,使得活动的关闭机构与静止的关闭机构进行接合的运动在端口门与容器门之间施加闭合力。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2011年6月29日、申请号为201180041909.6、专利技术名称为“端口门定位装置及相关的方法”的专利技术专利申请的分案申请。
技术介绍
在半导体制造过程中,半导体晶片经过多个处理步骤,每个步骤由专用处理工具(process tool)执行。传送盒(pod)用于将半导体晶片从一个工具传送到另一个工具。一种示例类型的传送盒称为前开口式通用传送盒(front-opening unified pod,FOUP)。各传送盒能够传输具有特定直径的多个晶片。例如,对于300mm的晶片,传统的FOUP具有传输25个晶片的能力,并且因此可一次携载25个或以下的300mm晶片。对于450mm的晶片,也可以使用具有25个晶片传输能力的FOUP,但此FOUP尺寸可能更大以适应该更大的晶片直径/厚度和对应的在FOUP内的更大的晶片堆叠高度。所述传送盒设计成维持受保护的内部环境,以保持所述晶片免于污染,例如免于被传送盒外空气中的微粒污染。也已知的是用传送盒传送其它类型的基片,例如液晶面板、用于硬盘驱动器的刚性(rigid)磁媒体、太阳能电池等。图1示出一种传统装载端口10,该传统装载端口10配置成与标准的传送25个300mm晶片的传送盒70交接(interface)。装载端口10附接到处理工具的前端,所述处理工具例如参考2003年1月7日颁发给Rosenquist等人的美国专利No.6,502,869的图1和图2所描述的。为描述的目的,装载端口10的\前侧\是装载端口10的面向如坐标轴21所指示的正Y方向的一侧。传送盒70的\前侧\是面向装载端口10的前侧的一侧。装载端口10包括工具接口20。在半导体工业中,工具接口20通常符合称为\传送盒开启器/装载器-工具标准接口\(Box Opener/Loader-to-Tool Standard Interface,BOLTS)的工业标准,通常称为BOLTS接口或BOLTS板。工具接口20包括开孔22,即开口。开孔22大致由端口门30封闭。端口门30利用开孔22的边界形成近似密封(proximity seal),以防止污染物迁移到处理工具的内部40。近似密封提供少量的例如大约1mm的余隙(clearance),
从而在部件之间形成近似密封。所述近似密封的小的余隙容许高压空气从处理工具的内部40逸出并且从该近似密封的密封表面扫除任何微粒。装载端口10还包括具有推进板(advance plate)52的推进板组件50。在一个实施例中,配准销(未示出)与传送盒70的底部支撑72中的对应的槽或凹部配合,以帮助传送盒70在推进板52上对齐。传送盒70可符合针对前开口式通用传送盒(FOUP)的工业标准或不同标准。推进板组件50具有致动器(未示出),该致动器使推进板52在图1所示的缩回位置与其中使传送盒70与工具接口20紧密接近的推进位置之间沿Y方向滑动。端口门30的前表面34包括一对闩锁匙60。闩锁匙60包括延伸离开端口门30且大致垂直于端口门30的支柱、和位于所述支柱远端处的横杆(crossbar)。横杆垂直于支柱延伸以与所述支柱形成\T\形。端口门30包括与闩锁匙60相互作用的致动器,从而引起闩锁匙60在所述支柱的轴线上旋转。当传送盒70运动到所述推进位置并且端口门30运动到开孔22中时,闩锁匙60插入传送盒门74的对应的闩锁匙插孔61中。闩锁匙60然后在所述支柱的轴线上旋转,由此与传送盒门74内部的机构相互作用,使传送盒门74闩锁以与传送盒70的凸缘75脱开。适用于接收闩锁匙和利用闩锁匙操作的传送盒门内的门闩锁组件的示例,在标题为\具有改进的闩锁机构的可密封的可传输容器(Sealable Transportable Container Having Improved Latch Mechanism)\的美国专利No.4,995,430中公开。另一个示例在2003年1月7日颁布给Rosenquist等人的美国专利No.6,502,869中提出。除使传送盒门74与传送盒70脱开(disengage)之外,闩锁匙60的旋转将闩锁匙60锁止在它们相应的闩锁匙插孔中,由此将传送盒门74联接到端口门30。传统的装载端口包括两个闩锁匙60,该两个闩锁匙60在结构和操作上彼此相同。另外,对齐销36被提供用来帮助端口门30与传送盒门74之间的对齐,使得传送盒门74充分对齐以能够朝向处理工具内部40穿过开孔22。在传统的装载端口10中,端口门30连接到臂32。臂32的位置由运动机构控制,所述运动机构提供:臂32及其连接的端口门30如箭头35所指示的沿竖直方向的运动以及如箭头33所指示的沿水平方向朝向/远离工具接口20的运动。借由臂32的运动,端口门30可运动经过开孔22以与传送盒门74接合/脱开。此外,当端口门30与传送盒门74接合时,臂32可被移动
以将端口门30/传送盒门74组合水平送入处理工具内部40,并且竖直向下越过(clear)开孔22、以便在传送盒70内取用工件25。以互补方式,臂32可被移动以使端口门30/传送盒门74组合运动经过开孔22,以便将传送盒门74重新放置(replace)在传送盒70的凸缘75内。
技术实现思路
在一个实施例中,公开一种装载端口。该装载端口包括具有前表面、后表面、以及第一和第二竖直侧表面的端口门。所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器时,与该容器的容器门进行交接。所述装载端口包括框体,其限定成具有开口,而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接。所述装载端口还包括定位设备,其连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动。活动的关闭机构连接到所述端口门的后表面,以向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个。所述活动的关闭机构限定成相对于所述端口门和所述框体两者能够以受控的方式活动。静止的关闭机构设置在所述框体上接近于所述框体的开口,并且限定成与所述活动的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动,在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。在另一个实施例中,公开一种装载端口。该装载端口包括具有前表面、后表面、以及第一和第二竖直侧表面的端口门。所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器时,与该容器的容器门进行交接。所述装载端口包括框体,其限定成具有开口,而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接。所述装载端口还包括定位设备,其连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动。静止的关闭机构连接到所述端口门的后表面,以向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个。活动的关闭机构设置在所述框体上接近于所述框体的开口、并且限定成与所述静止的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构限定成相对于所述框体和所述端口门两者能够以受控的方式活动。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动,在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。在另一个实施例中,公开一种用于操作装载端口的方法。该方法包括在框体的开口内定位端口门的操作。用于保持半导体工件的容器的容器门固定
到所述端口门的前表面。在所述框体的开口内所述端口门的定位对应于在所述本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种装置,包括:端口门;框体,该框体被限定成具有开口,所述端口门通过所述开口与容器门进行交接,该容器门与容器连接,所述容器被构造为携载在半导体制造设施内的至少一个工件;第一静止板形凸轮,该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体,所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道;第二静止板形凸轮,该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体,所述第二侧相对于所述框体的开口基本上与所述第一侧相反,所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道;第一活动关闭机构,该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动;以及第二活动关闭机构,该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第二静止板形凸轮的第二通道内并且沿着所述第二静止板形凸轮的第二通道运动。...

【技术特征摘要】
2010.06.30 US 12/828,2361.一种装置,包括:端口门;框体,该框体被限定成具有开口,所述端口门通过所述开口与容器门进行交接,该容器门与容器连接,所述容器被构造为携载在半导体制造设施内的至少一个工件;第一静止板形凸轮,该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体,所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道;第二静止板形凸轮,该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体,所述第二侧相对于所述框体的开口基本上与所述第一侧相反,所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道;第一活动关闭机构,该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动;以及第二活动关闭机构,该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动,所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第二静止板形凸轮的第二通道内并且沿着所述第二静止板形凸轮的第二通道运动。2.如权利要求1中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构被固定到所述端口门的后表面,以及其中所述第二活动关闭机构被固定到所述端口门的后表面。3.如权利要求2中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构被定位成紧挨着所述端口门的左侧,以及其中所述第二活动关闭机构被定位成紧挨着所述端口门的右侧。4.如权利要求3中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分延伸
\t超出所述端口门的后表面的周边并且在基本上平行于所述端口门的后表面的方向上,以及其中所述第二活动关闭机构的部分延伸超出所述端口门的后表面的周边并且在基本上平行于所述端口门的后表面的方向上。5.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一辊,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二辊。6.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一刚性引导销,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二刚性引导销。7.如权利要求4中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构的部分是第一可旋转引导销,以及其中所述第二活动关闭机构的部分是第二可旋转引导销。8.如权利要求2中所述的装置,其中所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者在基本上竖直的方向上运动,以及其中所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者在基本上竖直的方向上运动。9.如权利要求2中所述的装置,进一步包括:驱动源,该驱动源被附着到所述端口门的后表面,所述驱动源被限定成控制所述第一和第二活动关闭机构的运动。10.如权利要求9中所述的装置,进一步包括:定位设备,该定位设备被连接到所述端口门,所述定位设备被限定成使所述端口门运动到一位置:其中1)所述第一活动关闭机构的部分被定位成当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时开始沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动,以及2)所述第二活动关闭机构的部分被定位成当所述第二活动关闭机构相对于所述端口...

【专利技术属性】
技术研发人员:AC波诺拉
申请(专利权)人:布鲁克斯自动化公司
类型:发明
国别省市:美国;US

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