缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置制造方法及图纸

提供一种缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置，该缝喷嘴能够减小存在于涂布膜的宽度方向两端部的膜厚不良部的长度而扩大膜厚均匀的产品区域。本发明专利技术的缝喷嘴(10)具有：供给口(16)，其供给涂布液；集流腔(13)，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(14)，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口(17)，该缝喷嘴还具有：喷出口面(20)，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面(21L、21R)，它们分别与喷出口面的长度方向两端的缘部相连并向集流腔侧延伸，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于从缝状的喷出口喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的缝喷嘴、使用该缝喷嘴在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法以及使用该缝喷嘴在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置。
技术介绍
作为在玻璃基板及膜等被涂布部件上涂布涂布液而形成涂布膜的涂布器，公知有从缝状的喷出口喷出涂布液的缝喷嘴。缝喷嘴具有：供给口，其供给涂布液；集流腔，其与供给口流体性连通而将涂布液在缝喷嘴的长度方向上扩宽；喷出缝(流路部)，其与集流腔连接而供涂布液流过；以及喷出口，其是喷出缝的出口且喷出涂布液。从供给口流入到集流腔的涂布液被集流腔在长度方向上扩宽，一旦在集流腔内成为充满的状态，则流过喷出缝而从喷出口喷出到离开一定的间隔(间隙)的被涂布部件上。此时，当使缝喷嘴与被涂布部件相对地移动时，由于涂布液在喷出口的长度方向全长范围内均匀地喷出，所以能够在被涂布部件上形成均匀的膜厚的涂布膜。在专利文献1中公开了如下的缝喷嘴：对上述的集流腔的截面形状或喷出缝的缝宽度进行最适化，从而在缝喷嘴的长度方向即涂布膜宽度方向上形成均匀的涂布膜。但是，根据涂布液的特性(粘性和润湿性等)和涂布条件(涂布速度、间隙、喷出压力等)，如图6的(a)所示，从长度方向的长度为Wd的喷出口17喷出到被涂布部件W上的涂布液从喷出口17的两端向长度方向两侧扩展，涂布宽度成为比长度Wd大的长度Wc而在被涂布部件W上形成涂布膜。关于这样形成的涂布膜的膜厚，如图6的(b)所示，虽然中央部形成为规定的膜厚t0且均匀，但在涂布膜宽度方向两端部由于受到上述的涂布液的局部的扩展的影响，膜厚变得比膜厚t0小。其结果是，在与涂布膜宽度方向两端部相当的长度范围内产生膜厚不处于一定的基准内的膜厚不良部，使能够作为产品使用的均匀膜厚的区域显著地减少。专利文献1：日本特开2010-5616号公报对于作为上述的问题的根本原因的涂布液的局部性扩展，凭借专利文献1所示的对集流腔的截面形状和喷出缝的缝宽度进行最适化而整体地均匀地喷出涂布液的方法完全无法抑制，所以不能消除涂布膜宽度方向两端部的膜厚减少。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供缝喷嘴、涂布方法和涂布装置，该缝喷嘴即使在任何特性的涂布液及涂布条件下，也能够减小在涂布膜宽度方向两端部比规定的膜厚减少的膜厚不良部的区域，而扩大以规定的膜厚达到均匀的产品区域，该涂布方法和涂布装置能够使用该缝喷嘴在整个区域内形成膜厚均匀且高品质的涂布膜。本专利技术的缝喷嘴从缝状的喷出口喷出涂布液，其特征在于，该缝喷嘴具有：供给口，其供给涂布液；集流腔，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口，该缝喷嘴还具有：喷出口面，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面，它们分别与该喷出口面的长度方向两端的缘部相连而向集流腔侧延伸，并且，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。本专利技术的涂布方法的特征在于，该涂布方法一边使上述缝喷嘴相对于被涂布部件相对地移动，一边从喷出口喷出涂布液，从而在被涂布部件的表面上涂布涂布液而形成涂布膜。本专利技术的涂布装置的特征在于，具有：上述缝喷嘴；供给构件，其对缝喷嘴供给涂布液；支承构件，其对被涂布部件进行支承；以及移动构件，其使缝喷嘴相对于被支承构件支承的被涂布部件相对地移动。根据本专利技术的缝喷嘴，虽然在喷出口的长度方向两端部产生涂布液的局部性扩展，而以比喷出口的长度方向长度大的涂布宽度来涂布，但由于在喷出口的长度方向两端部根据涂布液的扩展而局部性地增加涂布液而喷出，所以能够大幅降低涂布膜宽度方向两端部的膜厚减少。其结果是，由于能够在涂布膜宽度方向两端部极力减小比规定的膜厚减少的膜厚不良部的区域，所以能够显著地扩大以规定的膜厚达到均匀的产品区域。根据本专利技术的涂布方法和涂布装置，通过使用上述的优良的缝喷嘴来在被涂布部
件上涂布涂布液，能够在涂布膜的大致整个区域内形成膜厚均匀且高品质的涂布膜。附图说明图1是示意性地示出了本专利技术的一实施方式中的缝喷嘴的构成的侧视剖视图。图2是示意性地示出了具有本专利技术的一实施方式中的缝喷嘴的涂布装置的构成的立体图。图3是本专利技术的一实施方式中的缝喷嘴的分解立体图。图4是本专利技术的一实施方式中的缝喷嘴的沿着长度方向的主视剖视图。图5的(a)是示出缝喷嘴的涂布状况的主视剖视图，图5的(b)是沿着缝喷嘴的长度方向的涂布膜的膜厚分布图。图6的(a)是示出现有的缝喷嘴的涂布状况的主视剖视图，图6的(b)是沿着缝喷嘴的长度方向的涂布膜的膜厚分布图。图7是作为使用本专利技术的缝喷嘴进行涂布时的一例的、沿着长度方向的涂布膜的膜厚分布图。图8的(a)是本专利技术的其他实施方式中的缝喷嘴的沿着长度方向的主视剖视图，图8的(b)是同一缝喷嘴的侧视剖视图。标号说明1：涂布装置；2：载台(支承构件)；3：移动构件；4：配管；5：泵(供给构件)；6：容器；10：缝喷嘴；11：第1块；12：第2块；13：集流腔；14：流路部(喷出缝)；15：垫片；15aL、15aR：第1内壁；15bL、15bR：第2内壁；16：供给口；17：喷出口；20：喷出口面；21L、21R：上升面；31：内面；32：内面；33L、33R：缘部。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细地说明。另外，本专利技术并不限定于以下的实施方式。并且，能够在不脱离实现本专利技术的效果的范围内进行适当变更。图1是示意性地示出了本专利技术的一实施方式中的缝喷嘴10的构成的侧视剖视图，图2是示意性地示出了具有本实施方式中的缝喷嘴10的涂布装置1的构成的立体图。如图1所示，本实施方式中的缝喷嘴10具有：供给口16，其供给涂布液；集流
腔13，其使从供给口16供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(喷出缝)14，其与集流腔13连接而将涂布液引导至喷出口17。供给口16和集流腔13设置在第1块11内。并且，将垫片15夹入第1块11的内面31与第2块12的内面32之间，并使第1块11与第2块12彼此结合为一体。由此，设置于流路部14的内面31与内面32之间的X方向的间隔为缝间隔Lp。因此，垫片15的厚度与缝间隔Lp相等。并且，与喷出口17大致同一平面的第1块11和第2块12的最下端面成为喷出口面20。喷出口面20在与纸面垂直的长度方向(Y方向)上延伸。使用该缝喷嘴10来进行涂布时，将流路部14的出口即喷出口17与被涂布部件W之间保持为一定的间隔(间隙)G，并一边使缝喷嘴10在X方向上移动，一边从缝状的喷出口17喷出涂布液。由此，涂布液从喷出口17沿着喷出口面20在X方向上扩展然后到达被涂布部件W，并在被涂布部件W上形成涂布膜M。如图2所示，本实施方式中的涂布装置1具有：载台(支承构件)2，其支承玻璃基板等被涂布部件W；缝喷嘴10，其对该载台2上的被涂布部件W喷出涂布液；容器6，其贮存涂布液；泵(供给构件)5，其将容器6内的涂布液供给到缝喷嘴10；以及移动构件3，其使缝喷嘴10相对于被载台2支承的被涂布部件W在X方向上相对地移动。通过泵5并借助配管4将容器6内的涂布液供给到缝喷嘴10。并且，涂布装置1还具有未图示的、使缝喷嘴10在上下方向即Z方向上自由地移动的Z方向移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缝喷嘴，从缝状的喷出口喷出涂布液，其中，该缝喷嘴具有：供给口，其供给涂布液；集流腔，其使从所述供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部，其与所述集流腔连接而将涂布液引导至所述喷出口，该缝喷嘴还具有：喷出口面，其与所述喷出口大致同一平面；以及一对上升面，它们分别与该喷出口面的长度方向两端的缘部相连而向所述集流腔侧延伸，并且，当所述流路部与所述集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、所述喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。

【技术特征摘要】
2015.03.26 JP 2015-0651201.一种缝喷嘴，从缝状的喷出口喷出涂布液，其中，该缝喷嘴具有：供给口，其供给涂布液；集流腔，其使从所述供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部，其与所述集流腔连接而将涂布液引导至所述喷出口，该缝喷嘴还具有：喷出口面，其与所述喷出口大致同一平面；以及一对上升面，它们分别与该喷出口面的长度方向两端的缘部相连而向所述集流腔侧延伸，并且，当所述流路部与所述集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、所述喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。2.根据权利要求1所述的缝喷嘴，其中，当所述喷出口面的处于长度方向两端的缘部之间的长度方向长度为Wp时，We≥Wp。3.根据权利要求1或2所述的缝喷嘴，其中，当所述集流腔的长度方向长度为Wm时，Wm≥...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木晓雄，谷义则，北村义之，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP