【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体设备
,尤其是涉及一种线切机上下料AGV车。
技术介绍
现有的半导体硅片线切机上料方式都是需要人工来操作的,由于硅单晶晶棒体积大,质量重,人工搬运费时、费力、易损坏晶体,搬运速度低,搬运操作人员劳动强度大,安全保障性低,这就需要一种用于搬运晶棒的上下料装置。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种线切机上下料AGV车,以解决现有人工搬运费时费力,搬运速度低,搬运操作人员劳动强度大的问题。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种线切机上下料AGV车,包括车体,所述车体前端设置有激光传感器,所述车体上端设置有沿所述车体长度方向延伸的平移导轨,所述平移导轨的轨道内设置有平移滑块,所述平移导轨一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机,所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨的提升导轨,所述提升导轨的轨道内设置有提升滑块,所述提升导轨上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机,所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨且沿车体前进方向延伸的上料导轨,所述上料导轨的轨道内设置有上料滑块,所述上料导轨一端设置有驱动所述上料滑块移动的上料电机,所述上料滑块上设置有料座。进一步的,所述提升导轨的两相对侧面分别设置有加强筋。进一步的,所述上料导轨上与设置轨道的面相对的另一面上设置有加强板。相对于现有技术,本技术所述的线切机上下料AGV车具有以下优势:结构新颖,设计合理,可提升上料速度和线切机的稼动率,降低线切机上料的错误率,提升产品的良率,同时降低了人工作业强度和操作人员数量,增加了产值。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的 ...
【技术保护点】
一种线切机上下料AGV车,其特征在于:包括车体(1),所述车体(1)前端设置有激光传感器,所述车体(1)上端设置有沿所述车体(1)长度方向延伸的平移导轨(2),所述平移导轨(2)的轨道内设置有平移滑块,所述平移导轨(2)一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机(3),所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨(2)的提升导轨(4),所述提升导轨(4)的轨道内设置有提升滑块,所述提升导轨(4)上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机(5),所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨(4)且沿车体(1)前进方向延伸的上料导轨(7),所述上料导轨(7)的轨道内设置有上料滑块,所述上料导轨(7)一端设置有驱动所述上料滑块移动的上料电机(8),所述上料滑块上设置有料座(10)。
【技术特征摘要】
1.一种线切机上下料AGV车,其特征在于:包括车体(1),所述车体(1)前端设置有激光传感器,所述车体(1)上端设置有沿所述车体(1)长度方向延伸的平移导轨(2),所述平移导轨(2)的轨道内设置有平移滑块,所述平移导轨(2)一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机(3),所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨(2)的提升导轨(4),所述提升导轨(4)的轨道内设置有提升滑块,所述提升导轨(4)上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机(5),所述提...
【专利技术属性】
技术研发人员:张学强,靳立辉,周晓英,白聪轩,尹擎,赵晓光,姚长娟,
申请(专利权)人:天津中环半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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