用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置，该方法包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点；判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级；以及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。通过本发明专利技术，解决了具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及产品制造领域，具体而言，涉及一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置。
技术介绍
在产品制造工艺中，为了制造出高质量的产品，某些制造工序之间有严格的时间间隔要求，当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序，上述时间间隔要求即时间间隔限制，例如，在晶圆制造工艺中，为了严格管控时间间隔限制，会在时间间隔限制区间开始的站点之前设定一个虚拟站点(虚拟工艺步骤)作为缓冲站点，随着制造流程越来越先进，时间间隔限制的要求也越来越严。如表1所示，工艺步骤2光刻完成后一定要在72小时内完成工艺步骤8蚀刻，蚀刻完成后24小时必须完成工艺步骤10光阻去除，为了严格满足这种时间要求，操作员在处理工艺步骤1和工艺步骤7的时候，要了解工艺步骤7的产能和工艺步骤2到工艺步骤7的在制品状况，以及工艺步骤10的产能和工艺步骤7到工艺步骤10的在制品状况，在确信工艺步骤7的产能在72小时之内能完成工艺步骤2到工艺步骤7之间的在制品，以及工艺步骤10的产能在24小时之内能完成工艺步骤7到工艺步骤10之间的在制品后，操作员在生产制造执行系统中手动派工(Manual Dispatch)工艺步骤1的虚拟站点，当产品到达工艺步骤7时，手动派工工艺步骤7的虚拟站点，对于这种时间间隔限制1的结束站点同时又是时间间隔限制2的开始站点的情况，称之为连环时间间隔限制，其中，上述在制品是指处于制造流程中的产品。表1晶圆制造流程表并不是每个操作员都能及时的做出正确判断，导致产品生产周期(cycle time)变长，同时虚拟站点的手动派工也带来一定程度的误操作风险，通常在整个晶圆制造流程中，还有很多这样的虚拟站点，总体而言大约12％的站点移动量是虚拟站点移动。以上面的例子，当工艺步骤10由于某种不可预知原因(突然停机或工程师临时借机等)产能不能保证在24小时内完成工艺步骤7到工艺步骤10之间的在制品，显然这时工艺步骤7应该停止向下派货，但是又不能无限制停下来，因为它还处在时间间隔限制1(QT1)的区间内，此时，工艺步骤7需不需要停止派货，工艺步骤2到工艺步骤6需不需要放慢下来，甚至工艺步骤1要不要停止派货(例如，工艺步骤10会无限期停线时，显然工艺步骤1应当会停止派货)，其中，上述的派货是指将在制品派送到下一个站点进行处理。总体而言，技术越先进的产品，连环时间间隔限制越多，40/45纳米的晶圆产品生产流程中有40％的站点处于连环时间间隔限制中，操作人员来判断时往往不能做到及时正确。在现在的300毫米的晶圆厂中，已经在使用实时派工(Real Time Dispatch，简称为RTD)，实时派工可以根据事先定义好的规则给出派货结果，操作人员仅需要依据该系统推荐的产品顺序生产产品即可，通过合理的设定RTD规则可以实现虚拟站点的自动跳过，调整产品优先级(lot priority)，这样总体的生产产品效率便会大大提高。目前工厂管控虚拟站点以及时间间隔限制区间内的派货方法存在如下问题：1.当前工厂基于经验根据后续时间间隔限制站点在制品水位的方式来管控之前的虚拟站点的派工，但这种方法的在处理连环时间间隔限制时，由于生产流程跨度大，需要耗费大量的手动派货，以及大量的沟通时间，出现异常状况不能及时反应，其中，在制品水位是指在制品的数量。2.当机台产能由于停机或者借机出现产能变小时，当前工厂基于经验根据在制品水位来通知前站产品的速度以避免超出时间间隔限制，无法做到及时反应，也往往由于紧张过度导致机台空置，或者由于过于乐观导致超出时间间隔限制。3.当前实时派工的派货考虑到了产品的剩余时间间隔(Remain Q Time，简称为RQT)时间的长短来派货，对于剩余时间间隔比较紧急的产品会优先派货，但是这种过于简单，无法针对产品剩余时间间隔的大小与产品真正到达时间间隔限制结束站点时的时间以及各站点机台的负载和状态做出判断。针对相关技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置，以解决相关技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法。根据本专利技术的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点，第一对象是处于预设流程中的对象；判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级，其中，第一对象的紧急程度等级用于确定第一对象的优先级和确定是否跳过第一对象所到达的站点；以及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。进一步地，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级之前，该方法还包括：计算第一对象的路径标记的值，其中，路径标记用于表示第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机台，当路径标记的值为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台，当路径标记的值不为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机台；以及判断第一对象的路径标记的值是否为第一值，其中，在判断出第一对象的路径标记的值为第一值时，计算第一对象的紧急程度等级。进一步地，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级包括：计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间；计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得到第二时间；获取预设安全系数；以及根据第一时间、第二时间和预设安全系
数确定第一对象的紧急程度等级。进一步地，计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间包括：计算剩余站点的生产时间，其中，剩余站点为第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点之间的所有站点和时间间隔限制的终止站点；计算剩余站点的等待时间；以及由剩余站点的生产时间和剩余站点的等待时间相加得到第一时间。进一步地，计算剩余站点的生产时间包括：获取剩余站点在历史第一预设天数的生产时间；以及根据剩余站点在历史第一预设天数的生产时间计算剩余站点生产时间。进一步地，计算剩余站点的等待时间包括：计算剩余站点在历史第二预设天数的等待时间；计算第一对象的下一次处理时间，其中，第一对象的下一次处理时间基于第一对象和机台的状态进行计算；以及由剩余站点在历史第二预设天数的等待时间和第一对象的下一次处理时间计算剩余站点等待时间。进一步地，根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对象的紧急程度等级包括：计算第一时间和第二时间的比值，得到第一比值；将第一比值与预设安全系数相乘，得到第二比值；获取预设的多个紧急程度区间，其中，紧急程度区间与第一对象的紧急程度等级一一对应；以及根据第二比值所处的紧急程度区间确定第一对象的紧急程度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点，所述第一对象是处于所述预设流程中的对象；判断所述第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出所述第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断所述第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出所述第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断所述时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级，其中，所述第一对象的紧急程度等级用于确定所述第一对象的优先级和确定是否跳过所述第一对象所到达的站点；以及根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理。

【技术特征摘要】
1.一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点，所述第一对象是处于所述预设流程中的对象；判断所述第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出所述第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断所述第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出所述第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断所述时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级，其中，所述第一对象的紧急程度等级用于确定所述第一对象的优先级和确定是否跳过所述第一对象所到达的站点；以及根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理。2.根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级之前，所述方法还包括：计算所述第一对象的路径标记的值，其中，所述路径标记用于表示所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机台，当所述路径标记的值为第一值时，所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台，当所述路径标记的值不为第一值时，所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机台；以及判断所述第一对象的路径标记的值是否为第一值，其中，在判断出所述第一对象的路径标记的值为第一值时，计算所述第一对象的紧急程度等级。3.根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级包括：计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间；计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得到第二时间；获取预设安全系数；以及根据所述第一时间、所述第二时间和所述预设安全系数确定所述第一对象的紧急程度等级。4.根据权利要求3所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间包括：计算剩余站点的生产时间，其中，所述剩余站点为所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点之间的所有站点和所述时间间隔限制的终止站点；计算所述剩余站点的等待时间；以及由所述剩余站点的生产时间和所述剩余站点的等待时间相加得到所述第一时间。5.根据权利要求4所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，计算剩余站点的生产时间包括：获取所述剩余站点在历史第一预设天数的生产时间；以及根据所述剩余站点在历史第一预设天数的生产时间计算所述剩余站点生产时间。6.根据权利要求4所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，计算所述剩余站点的等待时间包括：计算所述剩余站点在历史第二预设天数的等待时间；计算所述第一对象的下一次处理时间，其中，所述第一对象的下一次处理时间基于所述第一对象和机台的状态进行计算；以及由所述剩余站点在历史第二预设天数的等待时间和所述第一对象的下一次处理时间计算所述剩余站点等待时间。7.根据权利要求3所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，根据所述第一时间、所述第二时间和所述预设安全系数确定所述第一对象的紧急程度等级包括：计算所述第一时间和所述第二时间的比值，得到第一比值；将所述第一比值与所述预设安全系数相乘，得到第二比值；获取预设的多个紧急程度区间，其中，所述紧急程度区间与所述第一对象的紧急程度等级一一对应；以及根据所述第二比值所处的紧急程度区间确定所述第一对象的紧急程度等级。8.根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，根据所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭小兵，王晓东，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31