对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置制造方法及图纸

技术编号:13797060 阅读:133 留言:0更新日期:2016-10-06 17:24
本发明专利技术公开了一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置。其中,该处理方法包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若操作的操作权限被锁定,则拒绝操作请求;若操作的操作权限未被锁定,则执行操作请求,并锁定半导体对象对应操作的操作权限。通过本发明专利技术,解决了现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作,执行操作的对象不能全被操作成功,导致系统与实际帐料不符的问题,提高了同时对Lot/FOUP执行操作的成功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及数据处理领域,具体而言,涉及一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置
技术介绍
现在的晶圆生产基本达到了100%的自动化生产,为了保证线上的自动化生产的顺利进行,需要保证MES系统业务记录高可靠性的成功率,否则就会打断线上的自动化生产,并需要人为干预才能恢复自动化生产,若打断了线上的自动化生产,轻则会影响Lot(即批次,同一批次生产的一批晶圆属于一个Lot)的生产周期,重则会影响机台的产能,给FAB的效益带来重大影响。其中,MES为Manufacturing Execution System,即制造执行系统,是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统;FAB为Fabrication,即晶圆加工厂。300mm MES是在FactoryWorks 200mm的产品基础上开发了许多In-house Solution(即内部解决方案)而逐步发展成为一个成熟的300mm MES系统,在FW2.X产品(即FactoryWorks 200mm的产品)的基础上开发了FOUP(Front Open Unified Pod,即前开式晶圆盒)系统和Multi-Lot in one FOUP功能,以满足300mm晶圆制造的基本要求。如何确保Lot/FOUP同时做帐成功已经成为了MES要解决的首要问题,也是决定300mm MES系统成败的关键所在,因为Lot和FOUP分别属于FW2.X和In-house Solution两个不同的系统,因此经常会出现Lot和FOUP不能同时做帐成功的情况。例如,如图1所示的FOUP A中有两个Lot:AA和BB,其中AA有两片晶圆,分别是AA#01和AA#02;Lot BB也有两片晶圆:BB#01和BB#02。如果操作员甲对Lot AA做in-FOUP分批的动作,将AA#02分批成Lot AA.01;与此同时,操作员乙对Lot BB做in-FOUP分批的动作,将BB#02分批成Lot BB.01。因为Lot AA和Lot BB属于不同的对象,因此对两者执行的分批动作不存在冲突,所以Lot对象的分批动作都会成功;但是,因为两个分批动作都要操作同一个FOUP A对象,因此上述的两个分批动作会发生冲突,可能只有一个分批动作会成功,而另一个分批动作会失败,如,对FOUP A的Lot AA分批操作成功,而对FOUP A的Lot BB分批操作失败。在现有技术中,对同一个FOUP A中的不同对象同时执行分批操作,将导致系统与实体帐料不符,因此会导致FOUP A中的所有Lot都不能被操作,直至操作员手动
将系统与实体的帐料恢复一致。这样就会大大增加Lot的生产周期,严重影响FAB的效益。针对现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作,执行操作的对象不能全被操作成功,导致系统与实际帐料不符的问题,目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种对半导体对象执行操作的处理方法、系统及装置,以解决现有技术中对同一个FOUP中的不同Lot同时执行操作,执行操作的对象不能全被操作成功,导致系统与实际帐料不符的问题。为了实现上述目的,根据本专利技术实施例的一个方面,提供了一种对半导体对象执行操作的处理方法。根据本专利技术的处理方法包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若操作的操作权限被锁定,则拒绝操作请求;若操作的操作权限未被锁定,则执行操作请求,并锁定半导体对象对应操作的操作权限。进一步地,判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括:判断操作的权限标识是否为预设值;若操作的权限标识为预设值,则判断出操作的操作权限被锁定;若操作的权限标识不为预设值,则判断出操作的操作权限未被锁定。进一步地,在拒绝操作请求之后,处理方法包括:在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定,则执行操作请求;若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定,则生成拒绝操作请求的异常信息。进一步地,在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括:判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔,其中,预先设置的重复判断的时间间隔为第二预设时间段;若当前时刻达到预先设置的重复判断的时间间隔,则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定,获取判断结果;若判断结果指示操作的操作权限未被锁定,则确定在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定;若判断结果指示操作的操作权限被锁定,则判断当前时刻距离接收到操作请求的时间是否达到第一预设时间段;若当前时刻距离接收到操作请求的时间达到第一预设时间段,则确定在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定;若当前时刻距离接收到操作请求的时间未达到第一预设时间段,则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤。进一步地,在执行操作请求之后,处理方法还包括:释放操作请求所指示对半导体对象执行的操作的操作权限。进一步地,判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定包括:获取操作请求所请求执行的操作的操作类型;若操作的操作类型为获取操作权的操作,则判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若操作的操作类型为释放操作权的操作,则设置操作请求所指向的半导体对象的操作权限为未被锁定。为了实现上述目的,根据本专利技术实施例的另一方面,提供了一种对半导体对象执行操作的处理系统。根据本专利技术的处理系统包括:调度子系统,用于接收对半导体对象执行操作的操作请求,并将操作请求发送至锁定子系统;锁定子系统,与调度子系统连接,用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若操作的操作权限被锁定,则拒绝操作请求;若操作的操作权限未被锁定,则将操作请求通过调度子系统发送至操作子系统,并锁定半导体对象的操作的操作权限;操作子系统,与调度子系统连接,用于执行操作请求。进一步地,锁定子系统包括:第一处理单元,用于判断操作的权限标识是否为预设值;若操作的权限标识为预设值,则判断出操作的操作权限被锁定;若操作的权限标识不为预设值,则判断出操作的操作权限未被锁定。进一步地,处理系统还包括:重试子系统,与调度子系统连接,用于在锁定子系统拒绝操作请求之后,通过调度子系统获取操作请求,并在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;若在第一预设时间段内判断出操作的操作权限未被锁定,则将操作请求返回至调度子系统;若在第一预设时间段内未判断出操作的操作权限未被锁定,则将拒绝操作请求的异常信息返回至调度子系统。进一步地,处理系统还包括:调度子系统接收到重试子系统返回的操作请求之后,还用于将操作请求发送至操作子系统,以执行操作请求;调度子系统接收到重试子系统返回的异常信息之后,还用于将异常信息返回至用户。为了实现上述目的,根据本专利技术实施例的另一方面,提供了一种对半导体对象执行操作的处理装置。根据本专利技术的处理装置包括:接收模块,用于接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断模块,用于判断操作请求所指示的操作的操作权限是否被锁定;拒绝模块,用于若操作的操作本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种对半导体对象执行操作的处理方法,其特征在于,包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定;若所述操作的所述操作权限被锁定,则拒绝所述操作请求;若所述操作的所述操作权限未被锁定,则执行所述操作请求,并锁定所述半导体对象对应所述操作的操作权限。

【技术特征摘要】
1.一种对半导体对象执行操作的处理方法,其特征在于,包括:接收对半导体对象执行操作的操作请求;判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定;若所述操作的所述操作权限被锁定,则拒绝所述操作请求;若所述操作的所述操作权限未被锁定,则执行所述操作请求,并锁定所述半导体对象对应所述操作的操作权限。2.根据权利要求1所述的处理方法,其特征在于,判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括:判断所述操作的权限标识是否为预设值;若所述操作的权限标识为所述预设值,则判断出所述操作的所述操作权限被锁定;若所述操作的权限标识不为所述预设值,则判断出所述操作的所述操作权限未被锁定。3.根据权利要求1所述的处理方法,其特征在于,在拒绝所述操作请求之后,所述处理方法包括:在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断所述操作请求所指示的所述操作的所述操作权限是否被锁定;若在所述第一预设时间段内判断出所述操作的操作权限未被锁定,则执行所述操作请求;若在所述第一预设时间段内未判断出所述操作的操作权限未被锁定,则生成拒绝所述操作请求的异常信息。4.根据权利要求3所述的处理方法,其特征在于,在第一预设时间段内每隔第二预设时间段重新判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括:判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔,其中,所述预先设置的重复判断的时间间隔为所述第二预设时间段;若所述当前时刻达到所述预先设置的重复判断的时间间隔,则判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定,获取判断结果;若所述判断结果指示所述操作的所述操作权限未被锁定,则确定在所述第一
\t预设时间段内判断出所述操作的操作权限未被锁定;若所述判断结果指示所述操作的所述操作权限被锁定,则判断所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间是否达到所述第一预设时间段;若所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间达到所述第一预设时间段,则确定在所述第一预设时间段内未判断出所述操作的操作权限未被锁定;若所述当前时刻距离接收到所述操作请求的时间未达到所述第一预设时间段,则返回执行判断当前时刻是否达到预先设置的重复判断的时间间隔的步骤。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的处理方法,其特征在于,在执行所述操作请求之后,所述处理方法还包括:释放所述操作请求所指示对所述半导体对象执行的所述操作的所述操作权限。6.根据权利要求1至4中任意一项所述的处理方法,其特征在于,判断所述操作请求所指示的所述操作的操作权限是否被锁定包括:获取...

【专利技术属性】
技术研发人员:史晓霖王伦国隋云飞
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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