具缓冲区的非线性式镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，包含有一入料室、一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置与多个溅镀室，其中该入料室供置入一载具，该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构，该溅镀室于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置，并设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧；本实用新型专利技术可以缩减该第一方向的长度，同时可以因应工艺需要，自由选择需要的溅镀室进行镀膜，而增加溅镀室的利用效率，以增加产能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种镀膜设备，尤指一种具缓冲区的非线性式镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜技术是利用物理或化学手段，于一抽真空的环境中，将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、导电和绝缘等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命等作用，并已应用于航空、电子、机械、化工、军事等领域。不同的产品，因应工艺条件的不同，如要达到最佳的镀膜质量，其所需要的镀膜时间会不同，甚至需要不同的镀膜材料；而如现有中国台湾新型专利公告第M426600号的“连续式真空镀膜设备输送装置”所述的镀膜设备，其为连续式与循环输送设计，其一次送入进行镀膜的产品，只能给予相同的镀膜材料与镀膜时间，因此为了确保镀膜质量，其只能适用于需要相同镀膜材料与镀膜时间的产品，因此当有多批产品需要进行镀膜时，其必须等待前一批产品的镀膜程序完全处理完毕之后，才能调整工艺参数，如更换靶材，调整镀膜时间与参数等等之后，才能进行下一批产品的镀膜作业，显然其溅镀室无法有效充分利用，会减损利用效率，而减损产能。另，上述现有的镀膜设备，其虽然可以不须额外设置一循环输送设备于镀膜设备之外，以减少占地空间，然而此类设计的镀膜设备，虽然将循环输送设备整合于镀膜设备内可以减少循环输送设备的占地空间，然而，相较于循环输送设备来说，镀膜设备因包含多个大型机台，且随着镀膜技术、材料的演进与应用领域的增加，使镀膜设备所占的长度会随着为不同工艺的需求而有所变化；此外为了增加镀膜设备的通用性，一般会倾向设计为具有较久镀膜时间(较长的溅镀室)或可使用镀膜材料(较多的溅镀室)，也就是说通用性的镀膜设备，其镀膜设备的长度通常都相当的长，其长度对于厂房来说，往往是一大考验。现有厂房在没有改建的前提下，通常难以满足新工艺镀膜设备的长度需求。
技术实现思路
本技术的主要目的，在于提供一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，解决现有镀膜设备要增加镀膜时间与镀膜材料而导致长度增加，无法直接设置于现有厂房的问题。本技术的次要目的，在于解决现有镀膜设备的时间利用效率不高，无法增加产能的问题。为达上述目的，本技术提供一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，对一载具上的一基材进行镀膜，其包含有一入料室、一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置与多个溅镀室，其中该入料室供置入该载具，而该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构，而该些溅镀室于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置，并该些溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。其中，更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的缓冲输送室，该缓冲输送室为串联排列于该第一方向，且该缓冲输送室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。其中，更包含一供置放该载具的载具置放台，该载具置放台邻近该入料室设置。其中，该镀膜缓冲转向装置具有一降压腔体，该传送机构设置于该降压腔体内，该传送机构具有一第一方向传动轮与一可升降的第二方向传动轮，该第二方向传动轮具有一让该载具进出该溅镀室的升起位置，与一让该载具接触该第一方向传动轮的下降位置。其中，该第二方向传动轮设置于一升降板上，该升降板设置于该镀膜缓冲转向装置上。其中，更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的出料室，该出料室为串联排列于该第一方向，且该出料室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。其中，该入料室具有一传送该载具至该镀膜缓冲转向装置的入料传送轮，而该出料室具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具的出料传送轮。其中，该出料室具有一供放置该载具的出料升降台，该镀膜缓冲转向装置具有位于下方的一回传输送轮，该入料室具有一供放置该载具的入料升降台，该出料升降台、该回传输送轮与该入料升降台构成一将该载具自该出料室传送至该入料室的回传装置。其中，该镀膜缓冲转向装置更具有一降压泵与一加热元件。其中，该至少一溅镀室分别设置一具一移动自由度的溅镀源。综上所述，本技术让该些溅镀室设置于该第二方向，因此可以缩减于第一方向的长度，满足现有厂房的规格，而不需大规模改建。另，该镀膜缓冲转向装置的传送机构可以因应工艺需要，将需要镀膜的基材的载具选择送入特定的溅镀室进行镀膜，亦即不同的载具可以自由选择需要的溅镀室进行镀膜，因此溅镀室不会有空闲时间，可增加溅镀室的利用效率，进而增加产能。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1为本技术的设备配置前视示意图。图2为本技术的设备配置俯视示意图。图3为本技术镀膜缓冲转向装置结构图。图4A～图4C为本技术使用示意图。图5为本技术另一实施的设备配置俯视示意图。其中，附图标记：10、10A、10B、10C、10D、10E载具11基材20载具置放台30入料室31入料传送轮32入料升降台40镀膜缓冲转向装置401降压腔体41缓冲区42传送机构421第一方向传动轮422第二方向传动轮43升降板44回传输送轮45降压泵46加热元件50出料室51出料传送轮52出料升降台60A、60B、60C、60D溅镀室61溅镀源70回传装置80清洁室90缓冲输送室91缓冲传送轮具体实施方式有关本技术的详细说明及
技术实现思路
，现就配合图式说明如下：请参阅图1、图2与图3所示，本技术为一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，对一载具10上的一基材11(为求图面的简洁，仅绘制于部分的载具10)进行镀膜，其包含有一供置放该载具10的载具置放台20、一入料室30、一紧邻该入料室30的镀膜缓冲转向装置40、一紧邻该镀膜缓冲转向装置40的出料室50与多个紧邻该镀膜缓冲转向装置40的溅镀室60A、60B、60C、60D，其中该入料室30供置入该载具10，该载具置放台20邻近该入料室30设置，以方便让该载具10移载至该入料室30，而该镀膜缓冲转向装置40承接来自该入料室30的该载具10，该出料室50则承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10，该入料室30可以具有一传送该载具10至该镀膜缓冲转向装置40的入料传送轮31，而该出料室50可以具有一承接来自该镀膜缓冲转向装置40的该载具10的出料传送轮51。该入料室30、该镀膜缓冲转向装置40与该出料室50为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置40具有至少一缓冲区41与一设置于该缓冲区41且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构42，而该些溅镀室60A、60B、60C、60D于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置40设置，该些溅镀室60A、60B、60C、60D设置于该镀膜缓冲转向装置40的该至少一缓冲区41的两侧，较佳的，该至少一溅镀室60A、60B、60C、60D可以分别设置于该镀膜缓冲转向装置40的上下两侧，且可并排设置，如图所示，为四个溅镀室60A、60B、60C、60D的实施样态；并该传送机构42为于该镀膜缓冲转向装置40及该溅镀室60A、60B、60C、60D之间传送该载具10，且值得一提的是，该至少一缓冲区41与该至少一溅镀室60A、60本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，对一载具上的一基材进行镀膜，其特征在于，包含有：一入料室，该入料室供置入该载具；一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置，该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构；以及多个于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置的溅镀室，该溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。

【技术特征摘要】
1.一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，对一载具上的一基材进行镀膜，其特征在于，包含有：一入料室，该入料室供置入该载具；一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置，该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构；以及多个于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置的溅镀室，该溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。2.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备，其特征在于，更包含一紧邻该镀膜缓冲转向装置的缓冲输送室，该缓冲输送室为串联排列于该第一方向，且该缓冲输送室承接来自该镀膜缓冲转向装置的该载具。3.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备，其特征在于，更包含一供置放该载具的载具置放台，该载具置放台邻近该入料室设置。4.根据权利要求1所述的具缓冲区的非线性式镀膜设备，其特征在于，该镀膜缓冲转向装置具有一降压腔体，该传送机构设置于该降压腔体内，该传送机构具有一第一方向传动轮与一能升降的第二方向传动轮，该第二方向传动轮具有一让该载具进出该溅镀室的升...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨智仁，林忠炫，余端仁，
申请(专利权)人：友威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71